
3 Материалы звукопроводов
В настоящее время известно более 1500 веществ, обладающих пьезоэлектрическими свойствами. Охарактеризуем только некоторые из них.
Пьезоэлектрические монокристаллы являются классическими материалами пьезоэлектроники (табл. 2.1). Наиболее широко известный кристалл - кварц, представляющий собой кристаллическую модификацию безводной двуокиси кремния SiO2. Наряду с природными кристаллами используются и синтетические, превосходящие природные по однородности, размерам, а также по цене изготовленных изделий. Определенные срезы кварца характеризуются своими параметрами и используются в различных устройствах. Кристаллы ниобата лития (LiNbO3) и танталата лития (LiTaO3) обладают более высоким, чем кварц пьезомодулями и коэффициентами электромеханической связи. Во многих областях приборостроения эти кристаллы вытеснили кварц, особенно в СВЧ - технике.
Таблица 2.1 – Параметры пьезоэлектрических материалов
Материал |
Постоянные материалов |
K2m |
Q |
TK, ºC |
tgδ 102 |
Скорость ПАВ, м/с 103 |
|
Температ. коэффиц. задержки, αT 106c–1 |
||||||||||
Пьезо-модули, Кл/Н1012 |
Пьезо-электр., н/м2 |
Диэлект-рические |
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
Пьезо-кварц (SiO2) |
d11=2,31 d14=0,71 |
l111=0,17 l123=–0,044 |
ε1=4,52 ε3=4,63 |
0,1 |
5·104–107 |
|
<0,5 |
3,15–3,2 |
>2,0 |
(3–38) |
||||||||
Ниобат Лития (LiNbO3) |
d31=–1,3 d33=18 d22=20 d15=70 |
l222=2,5 l333=2,3 l113=3,7 L311=0,2 |
ε1=84=ε2 ε3=29 |
0,68 |
105–106 |
600 |
|
3,488–4,0 |
|
77–96 |
||||||||
Окись цинка (ZnO) |
D15=–12 d31=–4,7 d33=12 |
l33=1,32 l311=–0,57 l113=0,48 |
ε3=8,2 |
0,3 |
|
|
|
2,65–2,7 |
|
40 |
||||||||
Сульфид кадмия (CdS) |
D15=–14 d31=–5,2 d33=10,3 |
|
ε1=9,35 ε3=10,3 |
0,2 |
|
|
|
|
|
|
||||||||
Арсенид галлия (GaAs) |
|
l123=0,154 |
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
Титанат бария (BaTiO3) |
d15=400 d31=–35 d33=100 |
|
ε1=3000 ε3=180 ε=1500 |
0,2–0,5 |
|
140 |
2–3 |
4,6 |
1,3–8,0 |
|
||||||||
Дигидро-фосфат аммония (ADP) |
24,0 |
|
ε=21,8 |
0,3 |
|
|
<1 |
3,27 |
>8 |
|
Пьезополупроводники (CdS, ZnS, ZnO) используются для пленочных преобразователей электромагнитных колебаний вплоть до СВЧ - диапазона. Технология их получения довольно хорошо отработана, и можно изготовить пленки с наперед заданной симметрией.
Определенный интерес представляют такие пьезополупроводники, как селениды (CdSe), арсенид галлия (GaAs), антимонид индия (InSb), a также кристаллы иодата лития (LiJО3) и калия (KJO3), германата висмута (Bi12GeO20).
В последнее время широкое распространение получили промышленные пьезокерамические материалы, как правило, представляющие собой твердые растворы. Свойства таких материалов задаются путем подбора соотношений компонентов, введением модифицированных добавок, а также технологией их изготовления.
К пьезокерамическим материалам относятся титанат бария (ВаТiO3), титанат свинца (PbTiO3), ЦТС (Pb(Zr0,53Ti0,47)O3) и другие. Добавки, вводимые, например в ЦТС, расширяют двухфазную область составов и усиливают нужные свойства пьезокерамики. Модификацию пьезокерамики можно осуществить в широком диапазоне свойств за счет введения добавок со скомпенсированной валентностью, другими словами, набора оксидов соответствующего перовскитному соединению.
Следует особо подчеркнуть, что поверхность используемых в акустоэлектронике континуальных сред должна быть тщательно обработана. Это диктуется тем, что звукопровод расположен в приповерхностном слое и тщательная полировка поверхности позволит снизить рассеяние звука и избежать помех.
Анизотропность кристаллов приводит к резкой зависимости скорости распространения ПАВ от направления среза. Поэтому срезы необходимо выбирать так, чтобы добиться выполнения условия коллинеарности векторов фазовой и групповой скоростей.
Континуальные среды могут проявлять нелинейные свойства. Такая ситуация реализуется для достаточно больших смещений частиц в акустических волнах. В этом случае закон Гука имеет дополнительные компоненты тензора нелинейной упругости.
Главным проявлением нелинейности среды является нарушение принципа суперпозиции волн и, как следствие, появление комбинационных частот колебаний, например (ω1 ± ω2).
Нелинейность пьезоэлектрических сред порождает еще один эффект. Акустическая волна сопровождается волнами зарядовой плотности (электрического поля) и при достаточно больших амплитудах электрических полей тоже возникают нелинейные явления. Этот эффект получил название нелинейный пьезоэффект. В этом случае в уравнении для Тij компонент электрического поля не линеен. Этот эффект сопровождается диэлектрической нелинейностью, связанной с нелинейностью электрической индукцией Di относительно компонентов электрического поля Ei.
Для получения континуальных сред с заметной нелинейностью подбирают соответствующие параметры, определяемые тензорами высших порядков.