1.2.2. Поляризационные свойства мдз
При падении на зеркало линейного поляризованного света (если свет падает не по нормали) в общем случае вид поляризации не сохраняется (рис. 1.10). Отраженное излучение может приобрести эллиптическую поляризацию (поляризация, однако останется линейной, если на данной длине волны и при данном угле падения оптические толщины всех слоев равны /4.
Рис. 1.10
Характеристика, определяющая поляризационные свойства МДЗ, называется фазовой анизотропией. Как видно из рис. 1.10, фазовая анизотропия представляет собой фазовый сдвиг между мгновенными положениями ортогональных компонент вектора напряженности электрического поля . Параметры поляризованного света, а следовательно, и свойства отражающих поверхностей измеряют с помощью оптического прибора - эллипсометра.
1.2.3. Измерение спектральных характеристик мдз
Большинство современных спектрофотометров обеспечивают автоматическое измерение спектральной зависимости коэффициента пропускания исследуемых образцов. Для проведения измерений необходимо установить желаемую скорость развертки спектра, скорость движения бумажного бланка и диапазоны длин волн. При проведении измерений на однолучевых приборах (в том числе УМ-2) спектральная характеристика строится по точкам.
1.3. Оборудование и измерительные приборы
Монохроматор УМ-2.
Осветитель с лампой накаливания.
Конденсатор.
Подставка для исследуемых деталей.
Кремниевый фотодиод.
Микроамперметр М95 с шунтом.
Источник питания лампы.
Диэлектрическое зеркало.
1.4. Описание установки
Данная установка предназначена для исследования спектральной зависимости коэффициента пропускания оптических деталей, в частности диэлектрических зеркал. Установка (рис. 1.11; 1 - монохроматор; 2 - осветитель; 3 - конденсатор; 4 - подставка для деталей; 5 - фотодиод; 6 - микроамперметр; 7 - источник питания лампы; 8 - диэлектрическое зеркало) работает следующим образом: источник света 2 проецируется конденсатором на входную щель монохроматора 1. Монохроматор выделяет узкие спектральные линии, длина волны которых устанавливается с помощью измерительного барабана. Его градуировка связана нелинейной зависимостью с выделяемой длиной волны, поэтому для ее установки следует пользоваться табл. 1.1. Ширина выделяемого спектрального интервала зависит от ширины щелей монохроматора (чем уже щель, тем меньше ширина спектра линии и ниже ее интенсивность). В данной работе измерения рекомендуется производить при ширине входной щели 3 мм и выходной - 4 мм (цена деления барабанчика щели 0,01 мм, пределы раскрытия- 4 мм). Свет из выходной щели попадает на фотодиод 5, ток фотодиода измеряется микроамперметром 6. Если показание его равны b, а после установки исследуемой детали –с, то относительный коэффициент пропускания на данной длине волны
(1.17)
Рис. 1.11
Таблица I.I
Длина волны, нм |
Отсчет по измерительному барабану, деления |
540 |
2230 |
550 |
2300 |
560 |
2360 |
570 |
2420 |
580 |
2470 |
590 |
2510 |
600 |
2555 |
610 |
2600 |
620 |
2635 |
630 |
2675 |
640 |
2720 |
650 |
2750 |
660 |
2790 |
670 |
2820 |
680 |
2855 |
690 |
2885 |
700 |
2920 |
710 |
2950 |
720 |
2975 |
730 |
3005 |
740 |
3030 |
750 |
3060 |
760 |
3085 |
770 |
3110 |
780 |
3135 |
790 |
3160 |
800 |
3180 |
Построив на основе измеренных значений () график, получим искомую спектральную зависимость коэффициента пропускания. По оси ординат принято откладывать R=1-, для чего точку =100% располагают в начале координат.