Порядок выполнения работы

1. Включить питание осветителя, вывести светофильтр СФ, установив на пути светового пучка пустое отверстие (рис. 5). Снять с тубуса Т окулярный микрометр ОМ и, перемещая патрон с лампочкой в осветителе Л, с помощью юстировочных винтов установить четкое изображение нити накала в центре зрачка объектива.

2. Установить окулярный микрометр обратно на тубус, поместить на предметный столик СТ исследуемый объект (стеклянную пластинку с металлическим напылением) металлизированная поверхность должна быть обращена вниз. Закрыть шторкой РК интерференционную картину (стрелка вверх) и с помощью микрометрического винта В₃ получить резкое изображение исследуемой поверхности.

3. Открыть шторку (стрелка горизонтально) и, плавно поворачивая винт В₃, добиться одновременно резкого изображения поверхности и интерференционных полос. Для получения большего контраста интерференционной картины уменьшить апертурную диафрагму вращением кольца КЛ. Перемещение исследуемой поверхности в поле зрения микроскопа осуществляется с помощью микрометрических винтов В₁ и В₂.

4. Вращая винт В₄ вокруг оси головки интерферометра, установить интерференционные полосы перпендикулярно царапинам на исследуемой поверхности, вращая винт В₄ вокруг собственной оси, установить оптимальный для измерений интервал между полосами, затем с помощью винта В₅ сместить интерференционные полосы к центру поля зрения.

5. Ослабить винт крепления окулярного микрометра ОМ на тубусе Т и повернуть окулярный микрометр так, чтобы деления шкалы окуляра и двойной штрих были параллельны интерференционным полосам (рис. 4). Ввести зеленый светофильтр СФ. Измерить расстояние d между полосами, для чего установить центр видимого в окуляр перекрестия на середину темной полосы, затем, вращая барабан окулярного микрометра, переместить перекрестие на середину соседней темной полосы. Расстояние между полосами d будет равно разности отсчетов, снятых по шкале барабана. Аналогично произвести измерения величины изгиба полосы s. (В этом случае в качестве маркера удобнее использовать не перекрестие, а двойной штрих: одну из нитей штриха совмещают сначала с серединой полосы, а затем с серединой той же полосы в месте изгиба и по разности отсчетов окулярного микрометра определяют s.)

6. Вычислить высоту неровности в мкм по формуле (4), считая, что зеленому светофильтру соответствует λ = 0,53 мкм. Повторить измерения для трех различных линий интерференционной картины.

7. Измерить высоту неровностей не менее чем трех различных дефектных участков поверхности по описанной схеме. Оценить погрешность измерений. Результаты измерений занести в таблицу.

Таблица

№ п/п	d, отн. ед.	s, отн. ед.	h, мкм	hср, мкм	Δh/hср× ×100%
1
2
3