
- •Часть II
- •Содержание
- •0. Лазерный нагрев материалов 7
- •1. Лазерное разрушение поглощающих материалов 92
- •0. Современные представления об оптическом пробое прозрачных сред 136
- •Глава 0. Воздействие сверхкоротких лазерных импульсов на материалы 150
- •Введение
- •0. Лазерный нагрев материалов
- •0.1. Общая характеристика нагревания лазерным излучением
- •0.0.0. Тепловые эффекты в конденсированных средах
- •0.0.1. Основные особенности температурной кинетики при лазерном воздействии на металлы
- •0.0.2. Теплопроводностные механизмы отвода тепла. Уравнение теплопроводности, начальное и граничные условия
- •0.1. Термические эффекты, сопровождающие лазерный нагрев
- •0.1.0. Термомеханические эффекты
- •0.1.1. Фазовые переходы в твердом состоянии (лазерное упрочнение)
- •0.1.2. Эмиссионные процессы
- •0.1.3. Основные особенности лазерной активации процессов аррениусовского типа. Лазерное окисление
- •0.1.4. Диффузионно-химические явления
- •0.1.5. Экзотермические эффекты при импульсном лазерном воздействии на металлы
- •0.2. Линейные режимы лазерного нагрева
- •0.2.0. Понятие температуры электронной и решеточной подсистем
- •0.2.1. Нагрев полупространства экспоненциально спадающим с глубиной тепловым источником
- •0.2.2. Нагрев металла импульсным излучением постоянной мощности
- •0.2.3. Нагрев материала лазерным пучком с гауссовым профилем
- •0.2.4. Нагрев материала постоянным лазерным излучением, луч сфокусирован в пятно круглого сечения
- •0.2.5. Влияние временной зависимости интенсивности лазерного излучения
- •0.2.6. Лазерный нагрев тонких слоев и пленок
- •0.2.7. Нагрев материалов в интерференционном лазерном поле
- •0.2.8. Особенности нагрева материала движущимся световым пятном.
- •0.3. Нелинейные режимы лазерного нагрева
- •0.3.0. Нагрев с учетом температурной зависимости поглощательной способности
- •0.3.1. Изменение поглощательной способности окисляющихся материалов при лазерном нагревании. Тепловая неустойчивость
- •0.3.2. Интерференционные явления в окисном слое
- •0.4. Лазерное плавление поверхности
- •0.4.0. Вакансионная модель плавления
- •Контрольные вопросы к разделу 1
- •1. Лазерное разрушение поглощающих материалов
- •1.0. Общая характеристика механизмов лазерного разрушения
- •1.0. Механическое низкотемпературное разрушение хрупких материалов
- •1.0.0. Разрушение упругими напряжениями
- •1.0.1. Разрушение остаточными напряжениями
- •1.1. Химические механизмы разрушения
- •1.2. Высокотемпературные механизмы с участием испарения
- •1.3. Поляритонный механизм формирования лазерно-индуцированного поверхностного рельефа
- •1.4. Лазерное испарение
- •1.4.0. Кинетика испарения плоской поверхности
- •1.4.0.0. Испарение в вакуум и среду с противодавлением
- •1.4.0.1. Температурная граница перехода от нагрева к испарению
- •1.4.1. Теплофизика перехода от нагрева к испарению
- •1.4.2. Одномерная задача о лазерном нагреве с испарением
- •1.4.2.0. Установление стационарного режима. Определение квазистационарных параметров
- •1.4.2.1. Зависимость температуры и скорости лазерного разрушения от плотности светового потока.
- •1.4.3. Вытеснение расплава избыточным давлением паров
- •1.5. Свойства лазерного пара и плазмы, их влияние на процесс разрушения
- •Контрольные вопросы к разделу 2
- •0. Современные представления об оптическом пробое прозрачных сред
- •0.0. Физические представления об оптическом пробое идеальных диэлектриков
- •0.0.0. Оптический пробой газов
- •0.0.1. Оптический пробой идеально чистых твердых тел
- •0.1. Тепловой механизм оптического пробоя реальных сред
- •0.1.0. Основные экспериментальные закономерности и особенности оптического пробоя и разрушения оптически неоднородных сред
- •0.1.1. Тепловая неустойчивость
- •0.1.2. Статистическая концепция оптического пробоя
- •0.1.3. Размерная зависимость порога пробоя
- •Контрольные вопросы к разделу 3
- •Глава 0. Воздействие сверхкоротких лазерных импульсов на материалы
- •0.0. Двухтемпературная модель при сверхкоротком воздействии
- •0.1. Особенности экспериментального изучения воздействия фемтосекундных лазерных импульсов на материалы
- •0.2. Особенности разлета вещества при фемтосекундном лазерном воздействии
- •0.3. Плавление при воздействии сверхкоротких лазерных импульсов
- •0.3.0. Термическое плавление с высокими скоростями
- •0.3.1. Нетермическое плавление
- •0.4. Фотофизическая абляция
- •0.5. Уплотнение электронного газа и кулоновский взрыв в поверхностном слое проводника
- •0.6. Формирование лазерно-индуцированного поверхностного рельефа при воздействии сверхкоротких лазерных импульсов
- •0.6.0. Механизм образования поверхностных периодических структур при воздействии сверхкоротких импульсов
- •0.6.1. Резонансная дифракция на плоской поверхности с периодической модуляцией оптических свойств
- •0.6.2. Формирование периодического профиля поля температур
- •0.6.3. Эволюция периодических поверхностных структур в расплавленном поверхностном слое
- •0.7. Силовое действие сверхкоротких импульсов на прозрачные диэлектрики
- •Контрольные вопросы к разделу 4
- •Список рекомендуемой литературы
- •Кафедра лазерных технологий и экологического приборостроения
- •История кафедры лт и эп делится на
- •4 Разных периода:
- •1) Лазерное формирование многофункциональных зондов (мз) для зондовой микроскопии с целью создания универсальных зондовых микроскопов.
- •3) Наноструктурирование тонких металлических и полупроводниковых слоев.
- •4) Управление микрогеометрией, наношероховатостью и физико–химичекими свойствами поверхности материалов
- •2. Лаборатория лазерной очистки и реставрации произведений культуры и искусства (пкин) организована совместно с фирмой ооо «Мобильные лазерные системы».
- •Взаимодействие лазерного излучения с веществом (силовая оптика).
0.5. Уплотнение электронного газа и кулоновский взрыв в поверхностном слое проводника
Как
уже было отмечено, обычно эксперименты
проводят при плотностях энергии
нагревающего излучения – не выше 10
мДж/см2 (пиковая температура
электронного газа
порядка 104 К значительно ниже
характерной температуры Ферми
105
К). В случае более высоких значений
0,1
Дж/см2 (пиковые
)
получены экспериментальные результаты,
свидетельствующие о возможности
реализации другого типа электрон-решеточного
взаимодействия при субпикосекундном
разупорядочивании кристаллической
решетки металлов ("электронное
плавление").
Приведем
результаты экспериментов, проведенных
по методике, использованной для
обнаружения нетермического плавления,
но при плотностях энергии значительно
выше порога нетермического плавления
(
0,25
Дж/см2).
В
качестве мишеней использовались пленки
и
(толщиной 30 40 нм)
на стекле, а также оптически "толстые"
металлические пленки расплава
или
толщиной до 20 нм, получаемые на поверхности
объемных нелегированных образцов этих
материалов (
)
под действием и в течение того же импульса
накачки с эффективной плотностью энергии
на образце выше порога нетермического
плавления (
0,25
Дж/см2 и 0,15 Дж/см2, соответственно).
Для
всех указанных образцов экспериментально
исследованы зависимости коэффициента
самоотражения
-поляризованного
излучения накачки (для
и
также
-поляризованного)
от его энергии. Полученные зависимости
коэффициента самоотражения излучения
накачки
(для
и
-
и
)
от энергии импульса накачки были
обработаны по методике, использованной
при обработке данных в эксперименте по
нетермическому плавлению. Напомним,
что в основе упомянутой процедуры лежит
предположение о зависимости величин
и
от
вложенной в течение лазерного импульса
мгновенной эффективной плотности
,
а не интенсивности
,
что достаточно справедливо при воздействии
на металлы сверхкоротких импульсов с
умеренными значениями
10
Дж/см2. Результирующие зависимости
и
представлены на рис. 0.19 (вертикальная
пунктирная линия показывает положение
порога плавления
и
в течение импульса накачки, стрелка -
начало аномалии оптических свойств
(плато
и
)
для всех образцов).
Приведенные
зависимости
свидетельствуют, что при воздействии
на все типы металлических пленок
излучения с характерной
0,2
Дж/см2 наблюдается плато величины
в диапазоне значений 0,5
0,6. Аналогичный эффект ранее наблюдался
для лазерно-индуцированного расплава
пленок
и
при близких значениях
и объяснялся в рамках двухтемпературной
модели значительным уменьшением
характерного времени электрон-электронного
рассеяния
до 10-16 с
при нагреве электронной подсистемы до
105 К. Вместе с тем, отмечаемая на
рис. 0.19 особенность зависимостей
вблизи
резкое уменьшение
глубины кратера до ширины скин-слоя
указывает на более сложный характер
процессов, происходящих в скин-слое
проводника при таких высоких степенях
нагрева.
С
использованием зависимостей
и
для проводящих пленок
и
были исследованы их оптические
характеристики
и
вблизи
(рис. 0.20).
Для
указанных образцов выше порога плавления
отмечается непрерывный рост величины
при постоянстве
,
что указывает на неоднородность
оптических свойств вещества в пределах
скин-слоя. В то же время, превышение
над
при
означает, что в пределах скин-слоя
появляется диэлектрическая фаза с
положительной величиной действительной
части диэлектрической проницаемости.
С целью выяснения природы наблюдаемых
аномалий с использованием эффективных
значений
и
были получены соответствующие зависимости
эффективных значений плазменной частоты
и
от
(рис. 0.20, вертикальная пунктирная линия
показывает положение порога плавления
и
в течение импульса накачки, стрелка -
начало аномалии оптических свойств для
указанных образцов), показывающие, что
при
происходит резкий рост
и падение
.
Рис.
0.19. Зависимости коэффициента самоотражения
и
от мгновенной эффективной (поглощенной)
плотности энергии
накачки для образцов
,
,
и
и глубины (профиля) кратера
от интегральной
для образцов
,
и
Рис.
0.20. Зависимости оптических констант
и
,
а также
и
от
для образцов
и
(аналогичные оси для обоих образцов
совмещены)
Падение
при
можно объяснить в рамках теории
ферми-жидкости ростом
и
(рис. 0.20), причем последняя, как и
соответствующие постоянные
электрон-электронного рассеяния
(2,5 и 1,5 фс-1·эВ-2
для
и
,
соответственно), рассчитывались согласно
выражениям
(0.18)
(0.19)
с
использованием зависимостей
и
от
(рис. 0.20, 0.21) и подгоночного параметра
,
оцениваемого при
(то есть при
).
Поскольку
для
и
измеренная оптическая масса электрона
равняется единице, то наблюдаемый
значительный монотонный рост
можно связать с соответствующим ростом
эффективной плотности электронов
в скин-слое, а, следовательно, и эффективной
энергии Ферми
(рис. 0.21).
Зависимости
,
и
от
(рис. 0.21, стрелка показывает порог
появления аномалии
,
и
в течение импульса накачки) показывают,
что, несмотря на значительный рост
в течение импульса накачки, вырождение
электронного газа в скин-слое металлических
пленок
и
сохраняется вследствие роста его
эффективной плотности
,
который, по-видимому, имеет термоэлектрическую
природу. Так, с ростом
в скин-слое пленок
и
возникают градиенты температуры
и давления электронного газа
,
где
.
(0.20)
В
скин-слое на длине градиента
происходит дрейфовый перенос электронного
газа, причем по мере смещения распределения
от поверхности образца происходит
смещение в глубь скин-слоя "эффективной
поверхности" последнего, то есть
поверхности максимального энерговыделения,
и обострение
.
Это приводит к еще более быстрому (по
сравнению с лежащими глубже слоями
движущегося распределения
)
смещению в глубь скин-слоя его "эффективной
поверхности", обострению
и дальнейшему уменьшению реальной
ширины скин-слоя (то есть сжатию
электронного газа и соответствующему
росту локального коэффициента поглощения).
Очевидно, что задний фронт распределения
,
смещающегося в объем под действием
,
распространяется быстрее его переднего
фронта, постепенно порождая нестационарную
"ударную" волну
сжимающую электронный газ у переднего
фронта. Экспоненциальный характер
нарастания зависимостей
,
и
от мгновенной
(рис. 0.21), представляющих собой набор
мгновенных значений данных параметров
в течение лазерного импульса, подтверждает
предложенную выше нестационарную
картину явления.
Вместе
с тем, очевидно, что при распространении
такой волны с ростом
увеличение степени экранирования ионов
электронным газом приведет к насыщению
поглощения на "эффективной поверхности"
скин-слоя при величине
и дальнейшая эволюция "ударной"
волны при наличии лазерного излучения
будет происходить за счет увеличения
пространственной ширины скачка уплотнения
с амплитудой
и, по-видимому, образования универсального
"плазменного зеркала", наблюдавшегося
для широкого круга материалов при
1015
Вт/см2. Заметим, что для пленки
достигается двадцатикратное уплотнение
электронного газа без каких-либо
признаков насыщения зависимости
(рис. 0.21).
Рис. 0.21. Зависимости , и от для образцов и
Очевидно,
что по мере пробега "ударной" волны
в пределах скин-слоя может образоваться
двойной электрический слой из
"поверхностного" слоя положительно
заряженных ионов и "подповерхностного"
слоя сверхплотного и "холодного"
вырожденного электронного газа. Толщина
слоя ионов с плотностью
и зарядовым состоянием
,
а также электронного слоя оценивается
из условия электронейтральности
,
где
и
21023
см-3 – равновесная плотность
электронов для пленок
и
.
Для
средней объемной плотности энергии в
скин-слое при
около 10 эВ/атом, близкой к величине
первого потенциала ионизации атомов
,
,
,
и
(8,2, 6,0, 9,8, 6,0 и 7,7 эВ), имеем
и
,
где
фактор уплотнения
слоя электронного газа.
При
достигнутых уплотнениях электронного
газа около 10 – 20 величина
составляет ~ 1 нм и уменьшается с ростом
,
тогда как
возрастает, соответственно, до
.
Для
непосредственно после окончания импульса
накачки напряженность внутреннего
электрического поля двойного электрического
слоя составляет согласно уравнению
Пуассона
1013
В/м (разность потенциалов
105
В), что качественно согласуется с
экспериментальными данными.
Для
в течение первой пикосекунды после
импульса накачки отмечается падение
величины
для пленок
и
и ее рост для пленки
(рис. 0.22, стрелки показывают положение
порога субпикосекундного расширения
двойного электрического слоя для
указанных образцов), обусловленные,
по-видимому, удалением нагретого
скин-слоя пленок металлов и расплава с
поверхности возбужденного кремния.
То
есть, благодаря внутреннему электрическому
полю разрушение двойного электрического
слоя происходит путем "разгрузки"
(кулоновского взрыва) неустойчивого
поверхностного слоя положительных
ионов, а уплотнение электронного газа
исчезает вследствие межэлектронного
отталкивания и электронной теплопроводности.
Сравнение значений
при
(рис. 0.19) и толщины скин-слоя
(8 12 нм) для пленок
,
и
показывает, что время разрушения двойного
электрического слоя, ограничивающее
продолжительность процесса переноса
энергии из скин-слоя в объем образца,
достаточно мало для сохранения практически
всей поглощенной энергии лазерного
излучения в плазме двойного электрического
слоя.
Рис.
0.22. Зависимости коэффициента отражения
(
3,12эВ,
нормальное падение) от эффективной
плотности энергии
накачки для образцов
,
и
и задержек от начала импульса накачки
соответственно 0,3, 0,5 и 0,5 пс
Таким образом, на основании полученных экспериментальных данных можно выдвинуть предположение, что при сильном неоднородном нагреве скин-слоя проводящих материалов в течение лазерного импульса накачки в нем распространяется "ударная" волна электронного давления, создающая тонкий слой сверхплотного (1023 1025см-3) вырожденного электронного газа в области границы скин-слоя под "поверхностным" слоем положительных ионов. Возникающий при этом поверхностный двойной электрический слой разрушается вследствие кулоновского взрыва и электронной теплопроводности в течение одной пикосекунды.
В заключение, говоря о механизмах лазерной абляции, следует отметить, что некоторые из них (тепловая модель, газодинамическая модель, двухтемпературная модель) получили надежное экспериментальное подтверждение. Возможность реализации других механизмов, например фотофизического, продолжает оставаться предметом теоретических и экспериментальных исследований.