
- •Часть II
- •Содержание
- •0. Лазерный нагрев материалов 7
- •1. Лазерное разрушение поглощающих материалов 92
- •0. Современные представления об оптическом пробое прозрачных сред 136
- •Глава 0. Воздействие сверхкоротких лазерных импульсов на материалы 150
- •Введение
- •0. Лазерный нагрев материалов
- •0.1. Общая характеристика нагревания лазерным излучением
- •0.0.0. Тепловые эффекты в конденсированных средах
- •0.0.1. Основные особенности температурной кинетики при лазерном воздействии на металлы
- •0.0.2. Теплопроводностные механизмы отвода тепла. Уравнение теплопроводности, начальное и граничные условия
- •0.1. Термические эффекты, сопровождающие лазерный нагрев
- •0.1.0. Термомеханические эффекты
- •0.1.1. Фазовые переходы в твердом состоянии (лазерное упрочнение)
- •0.1.2. Эмиссионные процессы
- •0.1.3. Основные особенности лазерной активации процессов аррениусовского типа. Лазерное окисление
- •0.1.4. Диффузионно-химические явления
- •0.1.5. Экзотермические эффекты при импульсном лазерном воздействии на металлы
- •0.2. Линейные режимы лазерного нагрева
- •0.2.0. Понятие температуры электронной и решеточной подсистем
- •0.2.1. Нагрев полупространства экспоненциально спадающим с глубиной тепловым источником
- •0.2.2. Нагрев металла импульсным излучением постоянной мощности
- •0.2.3. Нагрев материала лазерным пучком с гауссовым профилем
- •0.2.4. Нагрев материала постоянным лазерным излучением, луч сфокусирован в пятно круглого сечения
- •0.2.5. Влияние временной зависимости интенсивности лазерного излучения
- •0.2.6. Лазерный нагрев тонких слоев и пленок
- •0.2.7. Нагрев материалов в интерференционном лазерном поле
- •0.2.8. Особенности нагрева материала движущимся световым пятном.
- •0.3. Нелинейные режимы лазерного нагрева
- •0.3.0. Нагрев с учетом температурной зависимости поглощательной способности
- •0.3.1. Изменение поглощательной способности окисляющихся материалов при лазерном нагревании. Тепловая неустойчивость
- •0.3.2. Интерференционные явления в окисном слое
- •0.4. Лазерное плавление поверхности
- •0.4.0. Вакансионная модель плавления
- •Контрольные вопросы к разделу 1
- •1. Лазерное разрушение поглощающих материалов
- •1.0. Общая характеристика механизмов лазерного разрушения
- •1.0. Механическое низкотемпературное разрушение хрупких материалов
- •1.0.0. Разрушение упругими напряжениями
- •1.0.1. Разрушение остаточными напряжениями
- •1.1. Химические механизмы разрушения
- •1.2. Высокотемпературные механизмы с участием испарения
- •1.3. Поляритонный механизм формирования лазерно-индуцированного поверхностного рельефа
- •1.4. Лазерное испарение
- •1.4.0. Кинетика испарения плоской поверхности
- •1.4.0.0. Испарение в вакуум и среду с противодавлением
- •1.4.0.1. Температурная граница перехода от нагрева к испарению
- •1.4.1. Теплофизика перехода от нагрева к испарению
- •1.4.2. Одномерная задача о лазерном нагреве с испарением
- •1.4.2.0. Установление стационарного режима. Определение квазистационарных параметров
- •1.4.2.1. Зависимость температуры и скорости лазерного разрушения от плотности светового потока.
- •1.4.3. Вытеснение расплава избыточным давлением паров
- •1.5. Свойства лазерного пара и плазмы, их влияние на процесс разрушения
- •Контрольные вопросы к разделу 2
- •0. Современные представления об оптическом пробое прозрачных сред
- •0.0. Физические представления об оптическом пробое идеальных диэлектриков
- •0.0.0. Оптический пробой газов
- •0.0.1. Оптический пробой идеально чистых твердых тел
- •0.1. Тепловой механизм оптического пробоя реальных сред
- •0.1.0. Основные экспериментальные закономерности и особенности оптического пробоя и разрушения оптически неоднородных сред
- •0.1.1. Тепловая неустойчивость
- •0.1.2. Статистическая концепция оптического пробоя
- •0.1.3. Размерная зависимость порога пробоя
- •Контрольные вопросы к разделу 3
- •Глава 0. Воздействие сверхкоротких лазерных импульсов на материалы
- •0.0. Двухтемпературная модель при сверхкоротком воздействии
- •0.1. Особенности экспериментального изучения воздействия фемтосекундных лазерных импульсов на материалы
- •0.2. Особенности разлета вещества при фемтосекундном лазерном воздействии
- •0.3. Плавление при воздействии сверхкоротких лазерных импульсов
- •0.3.0. Термическое плавление с высокими скоростями
- •0.3.1. Нетермическое плавление
- •0.4. Фотофизическая абляция
- •0.5. Уплотнение электронного газа и кулоновский взрыв в поверхностном слое проводника
- •0.6. Формирование лазерно-индуцированного поверхностного рельефа при воздействии сверхкоротких лазерных импульсов
- •0.6.0. Механизм образования поверхностных периодических структур при воздействии сверхкоротких импульсов
- •0.6.1. Резонансная дифракция на плоской поверхности с периодической модуляцией оптических свойств
- •0.6.2. Формирование периодического профиля поля температур
- •0.6.3. Эволюция периодических поверхностных структур в расплавленном поверхностном слое
- •0.7. Силовое действие сверхкоротких импульсов на прозрачные диэлектрики
- •Контрольные вопросы к разделу 4
- •Список рекомендуемой литературы
- •Кафедра лазерных технологий и экологического приборостроения
- •История кафедры лт и эп делится на
- •4 Разных периода:
- •1) Лазерное формирование многофункциональных зондов (мз) для зондовой микроскопии с целью создания универсальных зондовых микроскопов.
- •3) Наноструктурирование тонких металлических и полупроводниковых слоев.
- •4) Управление микрогеометрией, наношероховатостью и физико–химичекими свойствами поверхности материалов
- •2. Лаборатория лазерной очистки и реставрации произведений культуры и искусства (пкин) организована совместно с фирмой ооо «Мобильные лазерные системы».
- •Взаимодействие лазерного излучения с веществом (силовая оптика).
1.4.2. Одномерная задача о лазерном нагреве с испарением
Процесс
испарения математически описывают в
рамках краевой задачи теплопроводности
для конденсированной среды в системе
координат, связанной с подвижной
межфазной границей твердое тело - пар
или расплав - пар, на которой происходит
испарение. Если не учитывать боковой
отвод энергии лазерного излучения за
счет теплопроводности, что справедливо
при условии
,
где
– продолжительность воздействия
лазерного луча на материал,
– радиус пятна нагрева, то задача о
движении границы испарения может быть
рассмотрена в рамках одномерной модели
(1.28)
где
разность удельных энтальпий твердой и
газообразных фаз,
– скорость движения межфазной границы.
Краевая задача теплопроводности (1.28) существенно нелинейна, поэтому ее общего аналитического решения не существует. Следует отметить, что выход процесса на стационарный режим испарения определяется плотностью мощности лазерного излучения. Здесь возможны три варианта (см. рис. 1.5)
Рис.
1.5. Режимы выхода процесса испарения на
стационарный режим (
Вт/см2)
1.4.2.0. Установление стационарного режима. Определение квазистационарных параметров
Стационарный
режим испарения металла (
,
см. рис. 1.4, кривая 2) будем рассматривать
при следующих допущениях:
а) концентрация плазмы вблизи поверхности невелика, поэтому эффектами экранирования лазерного излучения можно пренебречь;
б) все подводимое тепло идет на испарение;
в)
фазовая граница движется с постоянной
скоростью
.
При этом учтем, что источник тепла в материале в общем случае является объемным, связанным с поглощением лазерного излучения в среде, а на поверхности материала все тепловые потери определяются затратами тепла на фазовый переход при испарении.
В этом случае краевая задача теплопроводности (1.28) запишется в виде
(1.29)
— коэффициент,
учитывающий тот факт, что часть испаряемых
атомов вновь конденсируется на
поверхности,
— начальная температура поверхности.
Решение системы (1.29) имеет вид
,
(1.30)
где
– стационарная температура поверхности
конденсированной фазы, которая в общем
случае отличается от температуры кипения
при нормальном давлении и зависит от
плотности поглощенного теплового потока
.
Из (1.30) следует, что характерный размер
прогретого слоя в материале при
стационарном испарении, так же, как и
при нагревании, определяется либо
глубиной поглощения световой волны
,
либо величиной
,
зависящей от теплопроводящих свойств
материала.
Важной
особенностью распределения температуры
по глубине при совместном действии в
среде объемного источника тепла и
фазового перехода является наличие
максимума на глубине
(см. рис.1.6). При значительной разности
температур
внутренний перегрев может привести к
неустойчивости в перемещении фронта
испарения.
Рис. 1.6. Изменение температуры в зависимости от глубины прогрева
Величину
найдем из условия
.
(1.31)
Обычно
для металлов и сильнопоглощающих
полупроводников
,
поэтому
.
Оценки
показывают, что
.
В этом
случае, учитывая, что глубина прогретого
слоя
,
при стационарном испарении получим
.
При
плотностях мощности световых потоков
~ 105 Вт/см2 для хорошо проводящих
тепло материалов
см. Поскольку в области
разогрев идет за счет проникновения
лазерного излучения в материал и его
поглощения, очевидно, что
,
где
-
толщина скин-слоя.
Для
металлов
мкм и
С,
т.е. поглощение потока лазерного излучения
можно считать поверхностным.