Литература
1. А.И Костржитский, В.Ф Карпов. Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме // М.:Машиностроение, 1991-76с.
2. Технология тонких пленок (справочник) /Под ред. Л.Майссела, Р.Глэнга. Т.1. М.: Советское радио, 1977 - 664 с.
3. Блинов И.Г., Кожитов Л.В. Оборудование полупроводникового производства // М.: Машиностроение, 1986 - 264 с., ил.
4. Аброян И.А., Андронов А.Н., Титов А.И. Физические основы электронной и ионной технологии // М.: Высшая школа, 1984 - 320 с.
5. Радциг А.А, Смирнов Б.М. Параметры атомов и атомных ионов (справочник) // М.: Энергоатомиздат, 1986 - 344 с.
6. Ларин М.П. Высоковакуумные агрегаты с криогенным и магниторазрядным насосами // Приборы и техника эксперимента, 1982, №2, с.130-133.
7. М.И. Елинсона, В.Б.Сандомирского. Физика тонких пленок // М.: Издательство «Мир», 1967 – 396 с.
Подписано к печати 20.12.05.
Формат 60х90 1/16 (А5). Гарнитура “Таймс”.
Усл. п.л. 1,0. Тираж 100. Заказ 1542.
Типография Южно- Российского государственного технического университета (Новочеркасского политехнического института)
3 46428, Г. Новочеркасск Ростовской обл., ул. Просвещения, 132.