11. Устройство оборудования для измерения методом эос.

Проведение оже-анализа требует, как и другие методики электронной спектроскопии, высокого вакуума. На рис. 3 показана схема эксперимен­тальной установки. Анализатор типа цилиндрическое зеркало (АЦЗ) 7 содер­жит внутреннюю электронную пушку 6, пучок который сфокусирован в точ­ку на образце 1 в области фокуса АЦЗ. Электроны, испущенные из образца, проходят через входную апертуру, отклоняются, а затем через выходную апертуру АЦЗ направляются к электронному умножителю. Пропускаемая энергия Е пропорциональна потенциалу, приложенному к внешнему цилин­дру анализатора, а диапазон ΔЕ прошедших электронов определяется разрешением , где R обычно составляет 0,2—0,5%.

13. Аппаратура для эос. Источники электронов (устройство принцип, работы и требования).

Обычно в ЭОС единственным назначением электронов первичного пучка является ионизация внутренних уровней, чтобы иициировать оже-переход. Энергетическая ширина первичного пучка электронов определяется тепловым разбросом в соответствии с распределением Больцмана и равна 0,3-0,5 эВ ( тепловой разброс электронов) и конфигурацией полей в системе ускорения и фокусировки электронов. Для того чтобы получить наибольшую яркость при термоэммисии, для катодов используют материалы с наименьшей работой выхода, например, для LaB₆ плотность тока достигает 10^6А/см2. В данной установке используется монокристаллический острийный термоэмиттер из LaB6. Для фокусировки и управления электронным пучком используют электронную пушку. Электронная пушка с электромагнитной фокусировкой представлена на рис.5. Электронная пушка с электромагнитной фокусировкой может создавать пучок электронов с энергией до 30 кЭв. При токе пучка порядка нескольких нА оптимальный размер пятна на образце составляет приблизительно 20 нм.

14.Аппаратура для эос. Энергоанализатор электронов типа цилиндрическое зеркало ацз.

Э нергоанализатор электронов типа цилиндрическое зеркало АЦЗ.

Два цилиндра с радиусами r 1 (внутренний) и r 2 (внешний) расположены строго коаксиально. Внутренний цилиндр заземлен, а внешний находится под потенциалом V. Электроны, эмитируемые источником S, расположенным на оси, углом альфа проходят в апертуру внутреннего цилиндра, и те электроны, энергия которых F , отклоняются потенциалом внешнего цилиндра так, что, пройдя через выходную апертуру, фокусируются на оси. Изменяя отрицательный потенциал V ,приложенный к внешнему цилиндру АЦЗ, можно получить энергетическое распределение электронов, прошедших через анализатор.

15. Область применения и ограничения метода эос.

Ограничение – проводимость.Традиционные области применения ОЭС - изучение процессов адсорбции и десорбции на поверхностях твердых тел, коррозии, явлений, происходящих при поверхностном гетерогенном катализе, контроль за чистотой поверхности в различных технологических процессах.

С появлением сканирующих оже-спектрометров ОЭС широко используется и в микроэлектронике, в том числе для выявления причин отказа различных элементов микросхем.