Технологический процесс изготовления тиристора т-142

Наименование операции

Параметры

Режимы

Материалы

Шлифование кремния по образующей

(станок кругло-шлифовальный 36161)

 45_-2.0

Кремний марки

Б-45/45.5 б

n

Приклеивание графитовой планки.

Наклеивание на оправку.

Резка монокристаллов на пластины

(полуавтомат

TS-23)

Отмывка от замазки

h_резки=0.53_-0.03 мм

Скорость подачи

25-30 мм/мин

Кипячение

Промывка водой

T = (60 – 70) ⁰C

Эпоксидный компаунд

Электрокорунд 14А

5 мл на 1л Н₂О

моющее средство

"Каштан"

r ³ 2 МОм

Двухстороннее шлифование

(АL-2)

h_шлиф =

0.38_-0.03 мм

непараллельн. – 0.03 мм

Скорость вращения 40 об/мин

Микропорошок F400

УЗМ (ультразвуковая мойка)

(ванна ультразвуковая УЗВ-17м,

генератор УЗГ-10У)

Сушка

Визуальный контроль

затиры

царапины

T = (70-80)⁰C

t = 5 мин.

2 раза

Моющее средство "Каштан"

5 мл на 1 л H₂О

  2 МОм

Рисунок

Наименование операции

Параметры

Режимы

Материалы

n

Подготовка пластин к диффузии

t = 20 – 30 мин

отмывка до

нейтр. реакции

Кипение

t = 10 мин.

отмывка до

нейтр. реакции

Кипение

t = 10 мин.

отмывка до

нейтр. реакции

УЗМ(после травлений)

T_воды = (70-80)⁰C

t = 5 мин. 5 раз

HF

H₂О₂:NH₄OH: H₂О = 1:1:7

H₂О

r ³ 18 МОм

H₂О₂:HCl: H₂О = 1:1:6

H₂О

r ³ 18 МОм

Нанесение источника

(Установка нанесения

ОН.1384.00.00)

V =

(3000500)об/мин.

t = 3 – 5 c

n = 3 – 5 капель

Источник

С₂Н₅ОН – 94 мл

H₂О – 2 мл

Al(NO₃)₃ – 14 г

1% р-р Н₃ВО₃ 12мл

ТЭОС – 27 мл

p

Диффузия

В+Аl

(электропечь СУОМ

1.2 6.1/13.5-И1)

х = 773 мкм

_=(36-60) Ом/

Продувка печи

T_загр = (62525) ⁰C

T_диф = (12502) ⁰C

T_охл = (62525) ⁰C

t = 18 – 21 ч

Травление борсиликатного стекла(Б-С.С)

(бокс 5БП2-ОС

t_{травления} = 20 мин.

отмывка до

нейтр. реакции

УЗМ

T_воды = (70-80)⁰C

t = 5 мин. 5 раз

НF

расход 3.5 л на 182 шт

исп. HF трижды

H₂О

r ³ 18 МОм

Рисунок

Наименование операции

Параметры

Режимы

Материалы

Подготовка к окислению

t = 7 мин.

отмывка до

нейтр. реакции

УЗМ

T_воды = (70-80)⁰C

t = 5 мин. 5 раз

HCL:HNO₃ = 3:1

H₂О

r ³ 18 МОм

Окисление (электропечь СУОМ

1.2 6.1/13.5-И1)

h_ok­ = 1.4 мкм

T = (11505) ⁰C

t в парах H₂О – 6 ч

t без H₂О 1.5 ч

T_ост = (62525) ⁰C