Объясните назначения
процесса литографии.
Из каких операций
состоит процесс фотолитографии?
Какое различие
между позитивными и негативными
фоторезистами?
Какими параметрами
характеризуются фоторезисты?
От чего зависит
разрешающая способность фоторезиста?
Почему разрешающая
способность процесса фотолитографии
значительно хуже, чем разрешающая
способность фоторезиста?
Что такое
проекционное экспонирование? В чем его
преимущества?
Как наносят
фоторезисты?
Что такое
фотошаблоны?
Как изготовляют
фотошаблоны?
Объясните суть
процесса рентгенолитографии.
Как проводится
электронно-лучевая литография?
Охарактеризуйте
свойства ионной литографии.
