Расчет времени откачки до стационарного режима.

t=138,2 с.

Последовательность включения и выключения системы.

1. Включаем пластинчато-роторный насос (2НВР-5Дм).

2. Открываем клапан 4. Откачиваем объем до 10^-1 Па.

3. Откачиваем во время всего процесса отжига.

4. Закрываем клапан 4.

5. Выключаем насос 2.

6. Клапан 7 необходим для сравнения давления в механическом насосе, во избежание натекания масла по вакуум проводу в систему.

Заключение.

Вакуумная техника с каждым годом все шире применяется в научных исследованиях и производстве. Одновременно увеличива­ется объем исследований, направленный на ее развитие. Расширя­ется диапазон работы вакуумных насосов и манометров, совер­шенствуются теоретические представления о самом вакууме и происходящих в нем физико-химических процессах. В последние годы большие успехи достигнуты при изучении поверхностных явлений, происходящих на границе газ — твердое тело. Разработа­ны новые приборы для анализа поверхности: Оже-спектрометры, вторично-ионные масс-спектрометры и т. д.

Дальнейшее развитие вакуумной техники будет идти по пути создания еще более эффективных средств получения вакуума, анализа состава и парциальных давлений остаточных газов, течеискания, изучения свойств поверхности, совершенствования мето­дов расчета и проектирования вакуумных систем, конструкции и технологии изготовления вакуумных установок. Неперспективные ранее принципы работы насосов, манометров и других элементов вакуумных систем после совершенствования их конструкции полу­чают широкое применение. Расширение космических исследований ставит перед вакуумной техникой новые задачи по разработке имитационного оборудования для испытания космических аппара­тов в земных условиях. Большие перспективы открываются перед вакуумной технологией при создании принципиально новых мате­риалов и особо чистых веществ. Технология производства элек­тронных приборов широко использует вакуумную технику.

Благодаря широкому применению численных методов повышается точность расчетов вакуумных систем. Многие задачи опреде­ления параметров течения разреженного газа в сложных элемен­тах вакуумных систем, которые раньше не могли быть решены, теперь вычисляются с необходимой для практики точностью.

Вычислительная техника обеспечивает возможность автомати­зации проектирования вакуумных систем. Создаются первые систе­мы автоматизированного проектирования и банки данных совре­менного вакуумного оборудования. Автоматизация инженерного труда позволяет при проектировании вакуумных систем и элемен­тов находить оптимальные решения. Развитие микроЭВМ позво­лило создать совершенные системы управления вакуумными уста­новками, выполняющими расчет и расшифровку спектров остаточ­ных газов, анализ математических моделей технологических про­цессов.

Современная вакуумная техника позволяет получать и изме­рять давления в 10¹⁸ раз меньше атмосферного, но даже такое состояние газа еще нельзя назвать идеальным вакуумом: в 1 м³ такого вакуума еще содержатся сотни молекул газа. Идеальный вакуум как среда, в которой могут распространяться гравитацион­ное, электромагнитное и другие поля, является еще предметом тщательного исследования современной теоретической физики.