- •Учреждение образования «Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники»
- •Пояснительная записка
- •Содержание дисциплины
- •1. Название тем лекционных занятий, их содержание, объем в часах.
- •4. Курсовая работа, ее характеристика
- •Перечень тем курсовых проектов (работ)
- •5. Литература основная
- •6. Перечень компьютерных программ, наглядных и других пособий, методических указаний и материалов и технических средств обучения
- •4. Учебно-методическая карта дисциплины
- •Протокол согласования учЕбной программы по изучаемой учебной дисциплине с другими дисциплинами специальности
- •1. Общие вопросы технологии интегральных схем
- •1.1. Классификация ис и их базовых элементов
- •1.2. Материалы, применяемые для производства ис, и физико-химические основы их выбора
- •Химическая связь и строение твёрдых тел
- •Гибридизация атомных орбиталей. Геометрическая форма частиц
- •Дефекты кристаллической решётки. Их влияние на свойства материалов
- •Диаграмма состояния и термодинамические функции состояний
- •Механические свойства материалов
- •Механические свойства, определяемые при динамических и циклических испытаниях
4. Курсовая работа, ее характеристика
Данный вид занятий учебным планом не предусмотрен
Перечень тем курсовых проектов (работ)
Данный вид занятий учебным планом не предусмотрен
5. Литература основная
Лахтин Ю.М., Леонтьева В.В. Материаловедение: Учебник для вузов. – М.: Машиностроение. 1990. – 528 с.
Технология изделий интегральной электроники: учеб. пособие для студентов радиотехн. спец. вузов / Л.П. Ануфриев [и др.]; под общей ред. А.П. Достанко и Л.И. Гурского. – Минск: Амалфея, 2010. – 536с.: ил.
Материаловедение и конструкционные материалы: Уч. пособие для вузов / Под ред. В.А. Белого. – Мн.: Выш. шк. 1989. – 461 с.
В.Н. Черняев. Физико-химические процессы в технологии РЭА / В.Н. Черняев. – М: Высш.шк., 1987. – 376с.
Дополнительная
Материаловедение. Учебник для вузов / Б.Н. Арзамасов и др.: Под общ. ред. Б.Н. Арзамасова. – М.: Машиностроение. 1986. – 384 с.
Горелик С.С., Дашевский М.Я. Материаловедение полупроводников и диэлектриков: Учебник для вузов. – М.: Металлурги. 1988. – 574 с.
Гуляев А.П. Металловедение: Учебник для вузов. - М.: Металлургия. 1986. – 647 с.
Пасынков В.В., Сорокин В.С. Материалы электронной техники. – СПб.: Лань. 2001. – 368 с
Материаловедение микроэлектронной техники: Учеб. пособие для вузов / Под ред. В.М. Андреева. – М.: Радио и связь. 1989. – 349 с.
Справочник по электротехническим материалам. В 3‑х томах / Ю.В. Корицкий и др. – М.: Энергоатомиздат. 1986. – 836с.
Благородные металлы. Справ.изд. / Под ред. Савицкого Е.М. – М.: Металлургия, 1984. 592с.
Гаврилов С.А. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники / С.А. Гаврилов, А.Н. Белов – М.: Высшее образование 2209. – 257 с.
Достанко А.П. Технология интегральных схем: учеб. пособие для радиотехн. спец. вузов / А.П. Достанко. – Минск: Высш.шк., 1982. – 206с.
Интенсификация процессов формирование твердотельных структур концентрированными потоками энергии: монография / А.П. Достанко [и др.]; под общ.ред. А.П. Достанко и Н.К. Толочко. – Минск: Бестпринт. 2005 – 682с.
Плазменные процессы в производстве изделий электронной техники. В 3-х т. / А.П. Достанко, С.М. Завадский, С.В. Бордусов и др.; под общ.ред. А.П. Достанко. – Минск: ФУАинформ, 2000-2001., - 960с.
Журавлева Л.В. Электроматериаловедение: Учеб. пособие для сред. проф. образования – М.: ПрофОбрИздат, 2001. – 312с.
Дж.Фрайден /Современные датчики. Справочник. 2006-592 с.
Пасынков В.В., Сорокин В.С. Материалы электронной техники: Учеб. для студ. вузов по спец. электронной техники. 3-е изд. – СПб.: Издательство «Лань», 2001. – 368., ил.
Материаловедение. Технология конструкционных материалов: Учеб. пособие для студ. вузов / под ред. В.С. Чередниченко. – 4-е изд., стер. – Москва: Издательство «Омега-Л», 2008. – 752с., ил., табл.
Витязь П.А., Свидунович Н.А. Основы нанотехнологий и наноматериалов. 2010
Точицкий Э.И. / Кристаллизация и термообработка тонких плёнок. 1976
Достанко А.П. /Электрофизические процессы и оборудование в технологии микро-и наноструктур. 2011
А.Ф. Ильющенко, А.П. Достанко / Процессы плазменного нанесенпя покрытий. 1999
Достанко А.П./ Технологические процессы и системы в микроэлектронике. 2009
Ланин В.Л./ Формирование токопроводящих контактных соединений в изделиях электроники. 2007
В.В. Василевич/ Фотоэлектрическое преобразование солнечной энергии. 2008