1.5.2. Оптическая схема для контроля оптической толщины пленки по изменению отражения
В оптическую схему комплекса при контроле по отражению входят оптические схемы блока отражения, элементов вакуумной установки и монохроматора (рис.1.5.б). В этом случае источник излучения стыкуется с блоком отражения.
Излучение от лампы накаливания 9, помещенной в источнике излучения, направляется плоским зеркалом 8 на линзу 6, которая формирует изображение нити лампы в плоскости образца 3. Отраженное от образца излучение попадает на линзу 7, которая вместе с плоским зеркалом 10 и линзой 11 создает изображение нити лампы на входной щели 12 монохроматора. Элементы 8-11 оптической схемы входят в блок отражения. Далее излучение попадает в монохроматор и на приемник излучения.
Аберрация хроматизма положения, вносимая линзами схемы, компенсируется смещением линзы 11 вдоль оптической оси.
Общее увеличение комплекса при контроле по отражению 0,20; размер светового пятна на входной щели - 0,5 ´ 0,5 мм, в плоскости образца -5,2 ´ 5,2 мм.
2. Практическая часть
2.1. Порядок выполнения расчета
Запустите программу “FotoMetrics” в системе Windows95, на экране появится рабочее окно программы.
Выберите в меню “Главная”w“Ввод данных”. На экране появится диалоговое окно “Ввод данных” (рис.2.1). В окно ввода Число слоев введите количество слоев Вашей конструкции. В окно ввода Номер слоя введите номер слоя, а в редактирования окна n и l/ показатель преломления, и фазовую толщину.
Для закрытия диалогового окна нажмите кнопку “Закрыть”, для ввода новой конструкции покрытия кнопку “Новая”.
Для изменения параметров настройки (lо, DG, h1, h2, l и. т. д.) выберите “Главная”w“Настройка”.
Выберите в меню “Главная”w“Расчет”. Программа произведет расчет ошибок.
Выберите в меню “Главная”w“Оптимизация”. Программа скорректирует контрольные длины волн и произведет просчет покрытия.
Выберите в меню “График”w“График зависимости от длины волны”w“Все”. На экране появятся графики зависимости от длины волны для теоретического, реального и смоделированного покрытия.
Выберите в меню “Главная”w“Разбивка”. На экране появится диалоговое окно “Разбивка” (рис.2.2). В окне ввода Номер свидетеля введите номер свидетеля. В окне Количество слоев появится число покрытий, наносимых на выбранный свидетель. В выпадающем списке Длины волн находятся контрольные длины волн для покрытий, наносимых на выбранный свидетель. Длины волн расположены в порядке нанесения покрытий на свидетель. В списке Фазовые толщины находятся фазовые толщины покрытий в порядке их нанесения.
После произведения расчета заполнить таблицы 2.1 и 2.2.
Таблица 2.1.
Вид покрытия |
Кол. слоев |
n1 |
n2 |
n3 |
n4 |
n2d2 |
n3d3 |
l0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Таблица 2.2.
Кол. свидетелей |
Кол. покрытий на свидетеле №1 |
Кол. покрытий на свидетеле №2 |
l1 |
l2 |
Смоделированная оптическая толщина n2d2 |
Смоделированная оптическая толщина n3d3 |
|
|
|
|
|
|
|