Внешний вид программы “Ellips”

fi0		n0	n2	nbegin	nend
		Re	Im	Re	Im	Re			Im	Re			Im
70		1.0000	0.0000	3.9500	0.0200	1.300			0.0000	2.0000			0.0000
lumbda	mistake		psi	delta	n			d			d0
6328.0	0.00010		121	223	1.690257			792.92476			2251.774918

5. Сравнить результаты измерений по трем методам и сделать выводы о точности измерения этих методов.

Таблица 2.1

Измерение оптических параметров диэлектрических пленок эллипсометрическим методом.

¹¹

Угол

Угол

Угол

Угол

Угол

Угол

программа

(град) PI

(град) PII

(град) AI

(град) AII

(град) y

(град) D

d (А)

n

Таблица 2.2

Сводная таблица трех методов контроля оптических параметров диэлектрических пленок.

¹¹

Эллипсометрический метод

Цветовой метод

Интерференционный метод

y

D

программа

Цвет

порядок отраж.

d (А)

N1

N2

d (А)

d (А)

n

3. СОДЕРЖАНИЕ ОТЧЕТА

1. Краткое положение физической сущности каждого из методов контроля.

2. Структурная схема эллипсометра.

3. Таблица результатов измерений.

4. Выводы.

4.КОНТРОЛЬНЫЕ ВОПРОСЫ.

1. Какие физические величины непосредственно измеряются эллипсометром?

Чем обусловлена высокая точность определения толщины мето­дом эллипсометрии?

3.Каково назначение анализатора, поляризатора и компенсатора?

4.Чем вызвана необходимость применения лазера в качестве источника света в эллипсометре?

5.В каких случаях при интерференционном методе контроля напыляют алюминий.

6.В чем сущность цветового и интерференционного методов контроля толщины диэлектрических пленок?

7.С чем связана погрешность измерения толщины пленок цветовым и интерфериционным методами?

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

1. Крылова Т. Н. Интерференционные покрытия. П.: Машинострое­ние, 1973.224 с.

2. Основы эллипсометрии / А. В. Ржанов, К. К. Свиташев, А. И. Семененко и др. Новосибирск: Наука, Сибирское отделение, 1979.423 с.

3. Технология тонких пленок. Справочник / Пер. с англ.; Под pen. Л. Майссепа, Р. Гланга. Т. 1,2. М.: Сов. радио, 1977.

4. Физика тонких пленок / Пер. с англ.; Под рея. Г. Хасса, М. Франкомба, Р. Гофмана. Т. VIII. М.: Мир, 1978, с. 7-60.

5. С.Н.Никифорова-Денисова, Е.Н. Любушкина. Термические процессы. М.: Высшая школа, 1989. 96 с.

6. Эллипсометр ЛЭФ 3М-1. Паспорт. Техническое описание и инструкция по эксплуатации.