
- •Экология полупроводникового производства
- •Задача 1 Материальный баланс технологического процесса
- •Задача 2 Расчет пылеосадительной камеры для осаждения твердых частиц из отходящих газов
- •Задача 3 Расчет циклона для осаждения твердых частиц из отходящих газов
- •Задача 4 Расчет рукавного фильтра для улавливания твердых частиц из отходящих газов
- •Расчет колонного абсорбера для очистки отходящих газов от газовых примесей
- •Задача 6 Расчет адсорбера для очистки отходящих газов в кипящем слое адсорбента
Задача 3 Расчет циклона для осаждения твердых частиц из отходящих газов
Циклон представляет собой вертикальную цилиндрическую камеру, в которую газ вводится тангенциально, благодаря чему газ совершает вращательное движение вокруг коаксиально расположенной трубы, по которой выводится очищенный газ (рис.3.1).
Рис. 3.1. Схема устройства циклона: 1 –
корпус, 2 – коническое днище.
Осаждение твердых частиц происходит за счет действия на них центробежной силы:
Gц = m wг2 / r,
где m- масса частицы; wг - окружная скорость движения частицы (м/с), отстоящей от оси вращения на расстоянии r (м).
Движение частиц к стенке циклона происходит с ускорением а, м/с2:
а = wг2 / r =r,
где - угловая скорость вращения частицы, с-1.
Число Архимеда при инерционном осаждении получаем заменой в уравнении (2.2) гравитационного ускорения на инерционное :
Аr = 2 r d3 ( тв - г ) / (г )2 г (3.1)
Для расчета скорости осаждения частиц воспользуемся уравнениями (2.1) и (2.3):
wос = [ 2 d2 (тв - г) / 18г ] r
Скорость осаждения твердых частиц зависит от расстояния частицы от оси вращения (r). Мгновенная скорость может быть представлена, как производная пути (радиуса) по времени - wос = dr / dt, откуда при интегрировании получим время осаждения частицы (tос) при движении ее от внутренней стенки (r1) до внешней (r2):
tос = [18 г / d2 (тв - г)] ln(r2 / r1) (3.2)
Необходимый объем циклона определяем из условия, что подаваемый в циклон газ будет находиться в нем требуемое время для осаждения:
Vц = Q tос = ( r22 - r12 ) Hp (3.3)
где Hр - рабочая высота циклона.
Полная высота циклона включает еще высоту конической части (бункера для пыли).
Варианты заданий
Исследовать влияние на рабочую высоту циклона ( HH H Hр ) одного из параметров процесса улавливания твердых частиц из газовой фазы при постоянном размере внутреннего газопровода r1=150мм. Значения других параметров приводятся в таблице вариантов заданий. Влияние исследуемого параметра представить графически по 5 его значениям
Варианты |
Параметры процесса улавливания:
|
|||||
|
Газовая фаза |
Внешний радиус циклона, r2, мм |
Диаметр улавливаемых частиц, мкм |
Скорость поступающего газа при 00С, м/с |
Температура газа, 0С |
Плотность материала твердых частиц, г/см3 |
1 |
N2 |
450 |
20 |
10 |
20 |
1,0.....2,5 |
2 |
H2 |
450 |
20 |
10 |
20 |
1,0....2,5 |
3 |
N2 |
450 |
10....50 |
10 |
20 |
1,8 |
4 |
H2 |
450 |
10....50 |
10 |
20 |
1,8 |
5 |
N2 |
450 |
20 |
5....20 |
20 |
1,8 |
6 |
H2 |
450 |
20 |
5....20 |
20 |
1,8 |
7 |
N2 |
350....600 |
20 |
10 |
20 |
1,8 |
8 |
H2 |
350....600 |
20 |
10 |
20 |
1,8 |
9 |
N2 |
450 |
20 |
10 |
0....200 |
1,8 |
10 |
H2 |
450 |
20 |
10 |
0.....200 |
1,8 |
Процедура расчета
1. Рассчитываем скорость движения газа во входном патрубке циклона при заданной температуре, м/с.
2. Рассчитываем угловую скорость вращения газа, с-1.
3. Рассчитываем время осаждения твердых частиц по уравнению (3.2), с.
4. Рассчитываем необходимый объем рабочей части циклона по уравнению (3.3), м3.
5. Рассчитываем высоту рабочей части циклона, м.
6.Строим график полученной зависимости.