Характеристики різних методів травлення

Метод травлення	, нм/с	Анізотропія	Селективність
Рідкісне травлення		~ 1	10…100
Іонне травлення	0,1…1	~ 100	1…10
Плазмохімічне травлення	2…10	2…5	10…50
Іонно-хімічне травлення	0,3…3	20…100	5…20

У таблиці не представлені значення швидкості рідинного травлення, оскільки вони можуть змінюватися в дуже широкому інтервалі залежно від використовуваного травильника, матеріалу об'єкта травлення, технологічних режимів і так далі. З таблиці 3.1 видно, що рідинне травлення має мінімальні властивості анізотропії, тобто матеріал травиться приблизно з однаковою швидкістю у всіх напрямках (якщо не враховувати залежність швидкості травлення від кристалографічного напрямку). Максимальна анізотропія (а виходить, і максимально можлива роздільна здатність) властива іонному травленню, однак воно має слабку вибірковість (селективність). По сукупності властивостей найбільш кращими є методи плазмохімічного й іонно-хімічного травлення.