- •Физика полупроводников
- •Глава 1. Физические модели полупроводников 22
- •Введение
- •В.1. Основные этапы развития физики полупроводников.
- •1) Дискретная электроника на электровакуумных приборах.
- •«Закон Мура» скоро умрет?
- •В.3. Классификация веществ по удельной электрической проводимости. Основные представления о свойствах полупроводников.
- •Глава 1. Физические модели полупроводников
- •1.1. Модельные представления о структуре твердых тел
- •1.1.1. Агрегатные состояния вещества (конспективно)
- •1) Газообразное вещество
- •2) Жидкое состояние
- •3) Твердые тела (вещества)
- •4) Особые состояния вещества:
- •1.1.2. Типы связей в кристаллах (конспективно)
- •1. Ионная связь ( рис. 1.1) :
- •2. Металлическая связь.
- •3. Связь Ван-дер-Вальса
- •4. Ковалентная связь.
- •1.1.3. Кристаллические решетки. Операции симметрии.
- •1.1.4. Положение и ориентация плоскостей и направлений в кристалле
- •1.1.5. Обратная решетка
- •1.1.6. Примеры кристаллических структур материалов электроники
- •1.1.7. Тепловые колебания атомов решетки
- •1.1.8. Дефекты кристаллического строения
- •Линейные дефекты (дислокации, стержнеобразные дефекты и др.);
- •Поликристаллические и аморфные материалы
- •1.1.9. Жидкие кристаллы
- •1.1.10. Фазовые диаграммы и твердые растворы
- •1.1.11. Выращивание кристаллов кремния
- •Получение металлургического кремния.
- •Получение трихлорсилана
- •Осаждение из парогазовой смеси поликрист. Кремния.
- •1.2. Модели электропроводности полупроводников
- •1.2.1. Электропроводность собственного полупроводника в рамках модели ковалентной связи
- •1.2.2. Электропроводность примесных полупроводников в рамках модели ковалентной связи
- •1.2.3. Элементарная теория электропроводности полупроводников
1.1.9. Жидкие кристаллы
Некоторые вещества при повышении температуры переходят из твердого состояния в жидкокристаллическое, т.е. обладают одновременно свойствами твёрдого тела (анизотропия) и жидкостей (текучесть). Открыты в конце прошлого века (1888 г. Рейнитцер). Однако нашли широкое применение лишь в 70-е годы.
Жидкие кристаллы: 1) нематические (немо – нить)
2) смектические (смегма – мыло)
3) холестерические (имеют структуру, как у холестерин)
(а)
(б)
(в)
Рис. 1.25. Схема строения различных типов жидких кристаллов: (а) - нематические, (б) – смектические, (в) - холестерические.
Молекулярная структура жидкого кристалла весьма тонко уравновешена. Любое слабое возмущение, нарушающее равновесие сил взаимодействия между молекулами, может приводить к заметным изменениям оптических свойств: отражение, пропускание, окраска и т.д.
Свойства Ж.К. зависят от направления! То же самое с электропроводностью: максимальна вдоль осей. Молекулы Ж.К. ориентируются вдоль силовых линий магнитного поля. Ориентация молекул Ж.К. и их оптические свойства могут управляться и электрическими потенциалами: например часы с Ж.К. индикатором, Ж.К. мониторы, и т.д.
1.1.10. Фазовые диаграммы и твердые растворы
Фаза - однородная часть системы, отделённая от других частей поверхностью раздела, при переходе через которую скачком изменяются структура вещества или химический состав.
Диаграммы состояния – графики, которые изображают фазовые состояния веществ в зависимости от давления, объёма и температуры.
Двойные фазовые диаграммы изображают состояния системы с двумя компонентами. Обычно представляет собой графики, изображающие состояние системы в зависимости от температуры и состава системы. Анализируя фазовые диаграммы, можно предсказывать (определять) фазовый состав и количество материала в отдельных фазах для любого соотношения А и В.
Наиболее часто встречаются 3 типа фазовых диаграмм двойных систем:
1. Эвтектические диаграммы состояния.
2. Дистектические диаграммы сост. образуются в случае, когда в системе А-В образуются химические соединения (например АВ и др.).
3. Диаграмма состояния систем с неограниченной растворимостью компонент.
Эвтектическая диаграмма состояния
|
А, В – компоненты веществ А и В, α - вещество А с растворёнными атомами В, β – вещество В с растворёнными атомами А, L – жидкая фаза, α + β – смесь фаз, Е – точка эвтектики (смесь имеющая самую низкую температуру плавления). |
Дистектическая диаграмма состояния.
|
АВ – химическое соединение Е1Е2 – точки эвтектики D – точка дистектики
|
Диаграмма состояния с неограниченной растворимостью
|
Системы с неограниченной растворимостью образуются в случаях, когда: 1.Различие в атомных радиусах не менее 15% 2.Одинаковая валентность 3.Одинаковая кристаллическая решётка 4.Одинаковая электроотрицательность |
Рис. 1.26. Наиболее часто встречаемые типы фазовых диаграмм двойных систем: |
|
Рассмотрим участок фазовой диаграммы, по которому можно определить предельную растворимость примеси в основном материале (эвтектическая фазовая диаграмма). Рассмотрим типичную фазовую диаграмму вблизи точки плавления кремния: Кривая солидус определяет растворимость примеси в кремнии при различных То. Кривая растворимости с максимумом (сначала рост растворимости а затем убывание с ростом То) называется ретроградной кривой растворимости.
Ретроградная кривая растворимости типична для таких полупроводников, как кремний и германий .
Следствия ретроградной кривой растворимости:
Имеется предел растворимости примеси в кристаллы. Выше этой концентрации примесь переходит в другое фазовое состояние – образует преципитаты.
Кристаллы могут иметь концентрацию примеси, превышающую их
растворимость при заданной температуре. Такая примесь будет находиться в междоузельных положениях кристаллической решётки.
