- •Общая технология производства полупроводниковых приборов и имс
- •Урок Основы эвг.
- •Урок Микроскопы.
- •Тема: Общая характеристика полупроводникового
- •Производства.
- •Общая характеристика полупроводникового производства.
- •Тема: Механическая обработка. Урок Требования, предъявляемые к полупроводниковым пластинам.
- •Непараллельность
- •Урок Резка слитков на пластины.
- •Шлифовка и полировка.
- •Тема: Химическая обработка. Урок Виды загрязнений. Обезжиривание.
- •Урок Травление. Очистка в h2o
- •Очистка в н2о.
- •Отмывка струей
- •Гидромеханическая отмывка
- •Тема: Эпитаксия. Урок Общие сведения об эпитаксии.
- •Подложка
- •Хлоридный метод эпитаксии.
- •Силановый метод эпитаксии.
- •Тема: Окисление Урок Термическое окисление.
- •Урок Осаждение пленок SiO2.
- •Тема Осаждение пленок Si3n4 и поликремния. Урок Осаждение пленок нитрида кремния.
- •Тема Фотолитография Урок Фотолитография. Назначение основных операций.
- •Урок Подготовка поверхности подложки. Нанесение фоторезиста. Сушка фоторезиста.
- •2. Хорошо смачивается фоторезистом, т.Е. Поверхность гидрофильна к фоторезисту ( θфоторезиста →0° )
- •Нанесение слоя фоторезиста.
- •Метод центрифугирования:
- •Сушка слоя фоторезиста.
- •Урок Совмещение и экспонирование
- •Урок Проявление фоторезиста
- •Задубливание фоторезиста
- •Урок Травление технологического слоя
- •Удаление фоторезиста
- •Тема: Изготовление фотошаблонов Урок Изготовление фотошаблонов
- •1. Изготовление первичного оригинала.
- •2. Изготовление промежуточного фотооригинала (пфо).
- •3. Изготовление эталонного фотошаблона.
- •4. Изготовление рабочих фотошаблонов.
- •Основные механизмы диффузии.
- •1. Вакансионный механизм.
- •2. Межузельный механизм.
- •2. Диффузия из ограниченного источника примеси -
- •Двухстадийная диффузия.
- •Способы проведения диффузии.
- •Тема: Ионное легирование Урок Механизм ионного легирования. Схема установки ионного легирования.
- •Урок Основные параметры ионного легирования. Особенности ионного легирования. Основные параметры процесса ионного легирования.
- •2. Плотность тока ионного пучка j
- •3. Доза облучения q
- •Угол наклона ионного пучка к направлению главной кристаллографической
- •Особенности ионного легирования.
- •Тема: Плазмохимические процессы. Урок Общие сведения о вакууме, ионизации газа, плазме.
- •Урок Плазмохимическое осаждение SiO2
- •Урок Плазмохимическое травление ( пхт )
- •Плазмохимическое удаление фоторезиста ( пхуф )
- •Тема: Металлизация Урок Общие сведения о металлизации
- •Урок Термическое испарение в вакууме
- •Ионное распыление
- •Тема: Общие сведения о технологии сборочных работ. Урок Разделение пластин на кристаллы.
- •Урок Методы сборки.
- •Сварка.
- •Склеивание.
- •Урок Этапы сборки.
- •I. Монтаж кристаллов.
- •II. Подсоединение электродных выводов.
- •III. Герметизация.
- •Тема: Испытания. Заключительные операции. Урок Испытания. Заключительные операции.
- •Список рекомендуемой литературы по курсу "Общая технология производства полупроводниковых приборов".
- •По темам курса:
- •Содержание
Тема: Испытания. Заключительные операции. Урок Испытания. Заключительные операции.
После герметизации ИМС проводят электрические, механические, климатические и радиационные испытания. Необходимость этих испытаний обусловлена наличием скрытых дефектов в ИМС из-за использования материалов или технологических режимов, не отвечающих нужным требованиям, из-за несовершенства конструкции ИМС и т.п.
В процессе испытаний ИМС со скрытыми дефектами отбраковываются, и тем самым гарантируется надежность ИМС в условиях эксплуатации.
Надежность любого устройства характеризуется свойством этого устройства сохранять значения установленных параметров функционирования в определенных пределах, соответствующих заданным условиям эксплуатации, хранения и транспортировки.
Показатели надежности - безотказность, долговечность, сохраняемость, срок службы.
Электрические испытания служат для проверки работоспособности ИМС, стабильности параметров ИМС в различных режимах. ИМС включают в электрическую схему, подавая на выводы ИМС максимальные напряжения и пропуская максимально допустимые токи, а затем выдерживают заданное время. Электрические испытания проводят на специальных стендах, обеспечивающих контроль и регистрацию параметров по заданной программе.
При механических испытаниях ИМС проверяют на вибропрочность, ударную прочность, воздействие линейных нагрузок. Электрические параметры ИМС контролируют после испытаний.
Климатические испытания включают проверку на теплоустойчивость, холодоустойчивость при эксплуатации и транспортировке, влагоустойчивость, устойчивость к пониженному и повышенному атмосферному давлению, воздействию морского тумана.
Радиационные испытания проводят для определения радиационной стойкости изделий, для чего ИМС подвергают воздействию заданной дозы рентгеновского или гамма - излучения, а также потока нейтронов. Электрические параметры ИМС контролируют после испытаний.
Для контроля качества ИМС проводят:
а) приемо-сдаточные испытания, контролируя качество каждой предъявляемой к сдаче партии изделий и по результатам контроля принимая решение о возмож-ности ее приемки и поставки;
б) периодические испытания, служащие для периодического (в определенные сроки) контроля качества изделий и подтверждения стабильности технологического процесса их изготовления за контролируемый период;
в) типовые испытания, проводимые при изменении конструкции, технологии, материалов, оборудования, используемых при изготовлении данных изделий.
Особое значение имеют технологические испытания, целью которых является своевременная отбраковка потенциально ненадежных ИМС на всех этапах технологического процесса их изготовления. Технологические испытания проводят в процессе изготовления ИМС (входной контроль, межоперационный контроль) и на готовых изделиях (финишный контроль).
После прохождения всех этапов испытаний и измерений параметров выполняются заключительные технологические операции, и ИМС могут быть отправлены потребителям.
Заключительные технологические операции - это операции внешнего оформления, обеспечивающие защиту ИМС от внешних воздействий, удобство подсоединения в аппаратуру, а также дающие информацию о типе ИМС и внешнее эстетическое оформление.
К заключительным операциям относятся:
нанесение гальванического покрытия, окраска, маркировка, лакировка, облуживание, упаковка.