NIUM / МИ-00

Методы исследований

1. Электрофизические методы

   1. Методы измерения удельного сопротивления

• Четырехзондовый метод.

• Метод сопротивления растекания.

• Двухзондовый метод.

• Бесконтактный метод.

1. Измерение концентрации и подвижности носителей заряда

• Трехзондовый метод.

• Метод вольт-фарадных характеристик контакта металл-полупроводник.

• Определение концентрации свободных носителей оптическим методом.

• Определение концентрации свободных носителей по плазменному резонансу.

• Метод эффекта Холла.

• Метод магнитосопротивления.

• Квантовый эффект Холла в наноразмерных структурах.

1. Измерение параметров неравновесных носителей заряда

• Стационарный метод определения диффузионной длины.

• Нестационарные методы определения времени жизни.

• Определение скорости поверхностной рекомбинации.

• Определение дрейфовой подвижности.

1. Свойства МДП-структур и методы их исследования

• Идеальная МДП-структура.

• Реальная МДП-структура.

• Экспериментальные методы исследования МДП-структур.

• Определение параметров МДП-структуры по высокочастотныой ВФХ.

• Измерение плотности подвижного заряда в диэлектрике.

• Определение плотности поверхностных состояний на границе полупроводник–диэлектрик

• Классификация зарядов в диэлектрике

• Определение плотности ловушек в диэлектрике и полупроводнике.

• Метод лавинной инжекции.

• Метод TDDB.

• Метод DLTS (РСГУ).

1. Тестовый контроль и его применение

• Методы получения и контроля омических контактов

• Тестовые элементы и тестовые модули

• Тестовый контроль полевых транзисторов Шоттки

2. Оптические методы: измерение толщины тонких слоев в полупроводниковых структурах

• Метод декорирования шлифа

• Интерферометрия в видимой области: цветовой метод измерения толщины слоев диэлектриков

• Инфракрасная интерферометрия

• Фурье-спектроскопия в ИК-области

• Эллипсометрия и ее применение для определения толщины слоев диэлектрика

• ИК эллипсометрия

3. Физико-аналитические методы

   1. Методы ионной и электронной спектроскопии для определения состава полупроводниковых структур

• Фотоэлектронная спектроскопия

• Электронная Оже-спектроскопия

• Рентгеновский микроанализ

• Масс-спектроскопия вторичных ионов

• Резерфордовское обратное рассеяние

1. Методы исследования структуры материалов

• Просвечивающая электронная микроскопия

• Растровая электронная микроскопия

• Режим отраженных электронов

• Режим вторичных электронов

• Режим потенциального контраста

• Режим наведенного тока

• Дифракционные методы

• Методы рентгеновской дифракции

• Электронография на просвет

• Дифракция электронов для исследования поверхности

Основная Литература

Е.С. Анфалова. Методы измерения параметров полупроводников и полупроводниковых структур. Учебное пособие. Москва 2005

2