
Добавил:
Upload
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:NIUM / МИ-01.ppt
X
- •Методы
- •Методы исследований наноматериалов и наноструктур
- •Методы исследований
- •Методы исследований
- •Модуль 1. Электрофизические методы измерений
- •Модуль 1. Электрофизические методы измерений
- •Модуль 1. Электрофизические методы измерений
- •Модуль 1. Электрофизические методы измерений
- •Модуль 2. Оптические методы измерений. Измерение толщины тонких слоев в полупроводниковых структурах.
- •Модуль 3. Физико-аналитические методы измерений.
- •Модуль 3. Физико-аналитические методы измерений.
- •Модуль 3. Физико-аналитические методы измерений.
- •Методы исследований
- •Методы исследований
- •Методы исследований
- •Методы исследований
- •Методы исследований
- •Методы исследований
- •Четырехзондовый метод измерения удельного сопротивления
- •Удельное сопротивление и удельное поверхностное сопротивление
- •Удельное сопротивление и удельное поверхностное сопротивление
- •Удельное сопротивление и удельное поверхностное сопротивление
- •Зависимости подвижности и удельного сопротивления кремния от концентрации легирующей примеси при комнатной температуре
- •Четырехзондовый метод
- •Полубесконечный образец
- •Полубесконечный образец
- •Полубесконечный образец
- •Тонкий образец
- •Тонкий образец
- •Тонкий образец
- •Тонкий образец
- •Двухслойные структуры
- •Двухслойные структуры
- •Двухслойные структуры
- •Метод самокомпенсации геометрических эффектов
- •Метод самокомпенсации геометрических эффектов
- •Современные установки измерения поверхностного сопротивления
- •Современные установки измерения поверхностного сопротивления
- •Современные установки измерения поверхностного сопротивления
- •Современные установки измерения поверхностного сопротивления
- •Современные установки измерения поверхностного сопротивления
- •Современные установки измерения поверхностного сопротивления
- •Современные установки измерения поверхностного сопротивления
- •Современные установки измерения поверхностного сопротивления
- •Современные установки измерения поверхностного сопротивления
- •Определение профиля удельного сопротивления полупроводникового слоя
- •Определение профиля удельного сопротивления полупроводникового слоя

Удельное сопротивление и удельное поверхностное сопротивление
21

Удельное сопротивление и удельное поверхностное сопротивление
22

Удельное сопротивление и удельное поверхностное сопротивление
23

Зависимости подвижности и удельного сопротивления кремния от концентрации легирующей примеси при комнатной температуре
24

Четырехзондовый метод
25

Полубесконечный образец
26

Полубесконечный образец
27

Полубесконечный образец
28

Тонкий образец
29

Тонкий образец
30