Преимущества ecv-Pro.

• Исключено влияние оператора на результаты измерений.

• Значительно улучшена воспроизводимость результатов.

• Новая конструкция профилометра снижает занимаемую установкой площадь.

• Система ECVision помогает контролировать процесс измерений

EcvPro в качестве альтернативы другим приборам.

CV с ртутным зондом.

Точность и воспроизводимость результатов делают ECV-Pro актуальной, надежной и безопасной для окружающей среды альтернативой ртутному зондированию. В электрохимическом CV-профилометре фирмы Nanometrics не используются каломельные электроды и полностью отсутствует ртуть. Горизонтальное расположение столика делает измерение пространственного распределения концентрационного профиля по поверхности образца простым и удобным. Используя режим измерения параметров обедненного слоя и высокую воспроизводимость площади контакта, ECV-Pro способен точно измерить изменения уровня легирования по поверхности пластины.

Измерения эффекта Холла

CV-профилирование обладает множеством преимуществ перед измерениями эффекта Холла. Среди них – возможности измерения концентрации электрически активных примесей и получение информации об отдельных слоях. В отличие от установок по измерению эффекта Холла, работающих только с полуизолирующими или специально подготовленными PN-структурами, ECV-Pro позволяет профилировать широкий ряд материалов и структур. Однако, при исследовании полупроводников методом электрохимического профилирования получаемые значения концентрации, как правило, выше чем значения, измеренные методом эффекта Холла. Различие объясняется тем, что при C–V измерениях на низких частотах происходит полная ионизация примеси в приложенном поле, а при холловских измерениях тестируется только ионизованная часть примеси. Эта доля зависит от энергии ионизации конкретной примеси и при комнатной температуре может быть в разы меньше величины легирования.

Увеличение производительности при уменьшении стоимости.

Устранение влияния оператора на результаты измерений.

Время, необходимое обучению работе с CV-профилометром ECV-Pro, значительно уменьшено, так как упрощена подготовка образца, а интерактивное программное обеспечение направляет действия измерителя на протяжении всего цикла измерений, уменьшая вероятность ошибок. Использование специальных алгоритмов для автоматизации измерений позволяет полностью исключить участие измерителя в профилировании сложных многослойных структур.

Снижение затрат.

Новый дизайн ECV-Pro увеличивает срок службы уплотняющих колец электрохимической ячейки и исключает необходимость приобретения дорогостоящих каломельных электродов. Сигнальные электроды и контакты нуждаются в замене значительно реже.

Уменьшение эксплуатационных расходов.

Дизайн новой ячейки профилометра и оптической системы существенно увеличили надежность оборудования.

Сокращение занимаемой площади.

Новый напольный вариант ECV-Pro занимает пространство примерно в два раза по сравнению с другими профилометрами. Кроме этого отпала необходимость в оборудовании специального места для хранения электролитов, воды и отработанных жидкостей, поскольку все они располагаются внутри установки.