Миграция вакансий

Приперемещениивсоседнийузелатоматом преодолеваетэнергетическийбарьерер

Энергия миграции вакансиинсии

Самодиффузия

Миграция собственных атомов по узлам кристаллической структуры (вакансионный механизм)

D=D0exp(- Eсд/kT),

Eсд= Evf +Evm

Eсд ≈ 2 эВ

При облучении Eсд= Evm, радиационно – стимулированная диффузия