
- •Нпио. Вводная лекция.
- •Нанотехнологии в электронике.
- •Квантовая механика как основа описания нано-объектов.
- •Классификация наноразмерных структур.
- •Квантовая плоскость на основе полупроводников со слоистой структурой.
- •Движение электрона через потенциальный барьер (туннельный эффект).
- •Газо-фазная эпитаксия из металлоорганических соединений.
- •Литографические процессы в наноэлектронике.
- •Сверхрешетки (ср). Физические свойства.
- •Одноэлектроника.
- •Основы зондовой микроскопии.
- •Атомносиловая микроскопия (асм).
Нпио. Вводная лекция.
Нанотехнология– совокупность способов создания элементов и приборов из отдельных атомов и молекул (1 – 100 нм).
Нанотехнологии в электронике.
МОП транзисторы с длинной канала ~ 0,1 мкм.
Рис.1.
При переходе к размерам 0,05 мкм появились новые эффекты, которые делали нерабочими транзисторы традиционной конструкции. В этом случае, стали значительно проявляться волновые свойства электрона. Они стали доминирующими над корпускулярными.
Волновая природа электрона.
Волновое представление ввел де Бройль
в 1924 г. В любой частице с импульсом Pсоответствует волна с длинной,
где
- редуцированная постоянная Планка.
Оценим длину волны де Бройля в вакууме, металле и полупроводнике.
Рис.2.
,
гдеm0– масса
электрона в вакууме (9,1*10-31кг), е
– заряд электрона (1,6*10-19Кл).
Металл.
Рис.3.
Полупроводник.
Рис.4.
Это существенно меньше, чем энергия Фермиевских электронов в металле. Эффективная масса электрона в полупроводнике существенно меньше, чем в металле.
Для оценки возьмем
Квантовая механика как основа описания нано-объектов.
|
Микроэлектроника |
Наноэлектроника |
Электрон |
Частица |
Волна |
Ток |
Поток частиц |
Перераспределение волновой функции |
Электрон – как частица по второму з-ну
Ньютона
.
Электрон – как волна де Бройля: временное
уравнение Шредингера
,
где
–
волновая функция,
-
оператор Гамильтона,
-
потенциальная энергия.
Для стационарного состояния:
или
(стационарное уравнение Шредингера).
Физический смысл волновой функции:
- определяет плотность вероятности
нахождения электрона в точке, с
координатами
.
- полная вероятность обнаружения
электрона в объеме
.
Рассмотрим в качестве примера расчет волновой функции электрона, находящегося в нанослое.
Рис.5.
Наноразмерный - Lz.
Ищемв
виде
.
при подстановке в уравнение Шредингера
преобразуем к виду:
.
Сделаем еще одно упрощение. Будем считать, что потенциальная яма, ограничивающая положение электрона вдоль z, является бесконечно глубокой (модель БПЯ).
Ри.6.
Внутри ямы будем искать волновую функцию
в виде
,
,
гдеAиB–
константы, которые находятся из граничного
условия:
(следствие
бесконечности размера ямы).
(*)
Решение существует, если det* = 0, следовательно,(по
формуле Эйлера).
,
следовательно,
.
Таким образом, полная энергия электрона
в слое
.
Первые два слагаемых принимают непрерывный
ряд значений начиная с 0. Последнее
слагаемое дискретно и имеет не нулевое
минимальное значение, так что
,
Не нулевое значение энергии электрона в наноразмерном объекте и дискретность энергетических состояний, возникающих как следствие волнового поведения электрона в замкнутом пространстве называется эффектом квантового ограничения (quantum confinement).
Система уравнений для AиBпозволяет найти их с
точностью до множителя. Чтобы найти
абсолютные значенийAиBнужно наложить на волновую
функцию еще одно условие, помимо граничных
условий – условие нормировки, выражающее
единичную вероятность (100%) нахождения
электрона, где-либо вдоль всей осиZ:.
С этим дополнительным уравнением можно найти абсолютные значения AиB, и соответствующую им волновую функцию.
Выполнив все расчеты, получим волновые
функции 2-х типов:
,
гдеn– нечетные;
,n– четные.
Рис.7.