Добавил:
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

МЭТ-2

.pdf
Скачиваний:
34
Добавлен:
15.02.2016
Размер:
773.04 Кб
Скачать

Рекомбинация электронов через ловушки более вероятна, чем непосредственная, по следующей причине: энергия рекомбинации при этом разбивается на две части, каждая из которых меньше, чем при непосредственной рекомбинации.

Концентрация неравновесных носителей заряда за счет рекомбинации убывает по закону:

n-n0=(nн-n0-t/τ,

где nн – неравновесная концентрация в момент введения избыточных носи-

телей заряда, t - текущее время, τ - время жизни, то есть время, в течение которого концентрация неравновесных носителей заряда убывает в е раз.

Время жизни зависит от концентрации примесей, температуры, структуры полупроводника. Если полупроводник поликристаллический, то грани его микрокристаллов образуют своеобразные дефекты решетки, что ведет к уменьше-

нию τ. Для изготовления транзисторов используются монокристаллы. С увели-

чением концентрации примесей в полупроводнике τ уменьшается, так как примесные атомы играют роль ловушки, вместе с полезной примесью попадают и вредные, атомы которых дают ловушки.

Таким образом, чем больше γ (больше Na или Nд), тем меньше τ (рис.6).

τ, отн ед

103

102

10

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Na/ni

 

102 10

1

 

 

 

 

 

102

 

 

103

 

 

 

 

 

Ng/ni

 

 

 

 

10

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Рис. 6

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

(рис.6)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

10

 

 

τ, отн ед

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

10-1

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

t,°С

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

0

 

20

40

60

80

 

 

 

Собствен-

 

 

 

 

 

 

(рис.7)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ный

полу-

 

 

 

Рис. 7

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

проводник

об-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ладает

ми-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

нимальным

τ. Компенсированный

полупроводник

(Na=Nд, n=p) обладает

меньшим τ, чем собственный.

При повышении температуры τ возрастает (рис.7), так как ловушки более интенсивно заполняются носителями заряда, ожидающими рекомбинации, в связи с чем ловушки значительную долю времени оказываются занятыми.

Поверхностная рекомбинация происходит на поверхности образца, где имеется большое количество дефектов решетки, адсорбированных атомов газов, влага, окислы и т. д. Поэтому на поверхности полупроводника создается большое количество ловушек, приводящих к усиленной рекомбинации. Поверхностная рекомбинация характерезуется скоростью поверхностной реком-

бинации S, измеряемой в см/с. Она является сложной функцией геометрии образца, состояния его поверхности, подвижности носителей. Физически скорость поверхностной рекомбинации представляет собой среднюю скорость носителей заряда, с которой они движутся к поверхности, где рекомбинируют.

Химически обработанные образцы германия и кремния имеют S = (10-100)

см/с, при механической обработке S = (104-105)см/с.

Плотность тока неосновных носителей заряда в образце n-типа, связанная с поверхностной рекомбинацией

jp = q·S(p-p0).

Для образца р-типа

jn = q·S(n-n0).

Если поверхностная рекомбинация существенна, то эффективное время жизни находится из соотношения

1/τэф=1/ τv+1/τS,

где τv – время жизни в объеме полупроводника; τS - время жизни вблизи поверхности полупроводника.

Роль поверхностной рекомбинации возрастает с уменьшением объема образца.

Таким образом, концентрация неравновесных носителей заряда убывает по закону

n-n0=(nн-n0-t/τэф.

Скорость убывания неравновесных носителей заряда dn/dt=-1/τэф · (nн-n0-t/τэф= -( n-n0)/τэф.

Здесь n / τэф – скорость рекомбинации, n0/ τэф - скорость генерации.

16.4.Законы движения носителей заряда

вполупроводнике

При изучении

свойств полупроводниковых приборов важно знать зако-

ны

распределения плотности тока в пространстве и

во времени. Рассмот-

рим

простейший

одномерный случай, то есть когда

носители заряда дви-

жутся вдоль одной оси (рис.8). В общем случае движение носителей заряда в полупроводнике обусловлено двумя процессами: диффузий под действием градиента концентрации и дрейфом под действием градиента потенциала электрического поля. Полная плотность тока:

X

Рис. 8

j=jр диф+jр др+jn диф +jn др+jсм

Согласно закону Фика диффузионные плотности тока:

J p = − qDp px ; и Jn = + qDn nx ;

Знак «–» в jp диф означает, что направление тока противоположно градиенту. В jn диф стоит знак «+», так как заряд электронов q отрицателен. Ток смещения jсм не связан с движением носителей заряда, а только с поля-

ризацией материала в электрическом поле jсм = ε Et , он значим только

на сверхвысоких частотах, потому им обычно пренебрегают.

Здесь Dn и Dp - коэффициенты диффузии, зависящие от материала. Коэффициенты диффузии связаны с подвижностями носителей заряда соотношением Эйнштейна:

D

p

= kT

μ

p

,

D =

kT μ

n

 

q

 

 

n

q

 

 

 

 

 

 

 

Эти соотношения вытекают из условия равенства дрейфовых и диффузионных плотностей тока в p-n-переходе.

Коэффициенты диффузии связаны со временем жизни носителей заря-

да следующими соотношениями:

 

 

 

 

Dp

=

L2p

D =

L2

 

n

τ p

n

τ n

 

 

 

где Lp и

L n – диффузионные длины, то есть расстояния, которые успе-

вают пройти

носители, когда за счет рекомбинации их концентрация

уменьшается в е раз (то есть за время жизни).

Дрейфовые плотности тока описываются

законом Ома в дифференци-

альной форме:

 

jp др =γЕ= qpμpE ,

jn др = qnμnE

Тогда

j= − qDp

∂ p

+ qDn

∂ n

∂ x

+ qpμpE

∂ x

+ qnμnE.

Для определения плотности тока необходимо знать распределение концентраций носителей заряда и напряженности поля , которая, в свою очередь, зависит от распределения концентраций.

В одномерном случае

p и n зависят от двух переменных: координаты х

и времени t. Функции р(х,t) и

 

n (х,t) являются решениями уравнения не-

прерывности:

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

∂ p

= −

p− p0

 

1 ∂ j p

 

 

∂ n

=

n− n0

+

 

1 ∂ jn

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

∂ t

τ

 

q ∂ x ,

 

∂ t

τ

 

 

q ∂ x

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Подставляя сюда выражения для

 

jp и

jn, получим :

 

 

 

 

 

 

 

∂ p

 

 

 

p− p0

 

 

2 p

 

 

∂ E

 

 

pE

∂ p

 

 

 

 

 

 

 

 

= −

 

 

+ Dp ∂ x2

pμ p ∂ x

− μ

∂ x

 

 

 

 

 

 

∂ t

τ

 

 

 

 

 

∂ n

 

 

 

n− n0

 

 

2n

 

 

 

∂ E

 

− μ nE

∂ n

 

 

 

 

 

 

 

= −

 

 

 

 

+

Dn ∂ x2

 

 

nμ n ∂ x

 

∂ x

 

 

 

 

 

∂ t

 

 

τ

 

 

 

 

 

Влияние внешних факторов в этих выражениях не учтено. Если электрическое поле отсутствует, то

∂ p

= −

p− p0

+ D

2 p

∂ n

= −

n− n0

+ D

2n

 

 

 

∂ t

 

τ

p ∂ x2 ,

∂ t

 

τ

n ∂ x2

Эти уравнения называются диффузионными уравнениями непрерывности. Уравнения непрерывности используются при анализе движения неосновных носителей заряда в полупроводнике. Если движение неосновных носителей заряда в полупроводнике отсутствует, но в нем есть заряды, со-

здающие электрическую индукцию D, то divD=Q,

где Q - объёмная плотность зарядов. Так как D=εабс E, то

divE =

Q

, ε абс = ε отн × ε 0

 

 

ε абс

здесь Q = qN , где N - число зарядов в единице объема,

N = (p + Nd - n - Na).

Тогда

Ex = ε εq0 ( p + Nd n Na )

Это уравнение называется уравнением Пуассона. При Ex = 0 оно переходит в уравнение Лапласа.

16.5. Термоэлектрический эффект Зеебека

Эффект Зеебека заключается в появлении термо-ЭДС в отрезке полупроводника, вдоль которого существует градиент температуры (рис.9)

Е

 

Е

Рис. 9 Подвижные носители в области большой температуры имеют большие

энергии и скорости, чем в области с низкой температурой. Вследствие этого преобладает диффузия носителей заряда из горячей области полупроводника в холодную. На холодном конце происходит накопление заряда одного знака, на горячем другого.

Для полупроводников n-типа горячий конец заряжается положительно, для полупроводников p-типа- отрицательно. Этот эффект используется при определении типа проводимости полупроводника. Величина возникшей тер- мо-ЭДС определяется соотношением:

E=α • ∆t,

где α - коэффициент термо-ЭДС; для

полупроводников

n-типа

α отрицателен, p-типа - положителен. Численное

значение α сильно

зависит

 

mB

 

от вида и концентрации примесей и достигает 1 град .

Рис. 10

Если подогревать p-n- переход, как показано на рис.10, общая тер- мо-ЭДС будет равна:

Е=Е12=(α12)•∆t

Такие устройства используются для преобразования тепловой энергии в электрическую. Из других термоэлектрических эффектов известны также эффект Пельтье и эффект Томпсона, но они редко используются.

16.6. Гальваномагнитный эффект Холла

Эффект Холла заключается в появлении поперечной разности потенциалов при движении носителей заряда в продольном направлении образца полупроводника, находящимся в магнитном поле (рис.11).

b

Рис. 11

Пусть в образце полупроводника n-типа в виде прямоугольного парал-ле- пипеда течет ток I вдоль образца. Перпендикулярно большой плоскости об-

разца действует магнитное поле с напряженностью Н. На каждый электрон действует сила Лоренца:

F = q[V × H ]

Под действием этой силы носители заряда будут смещаться так, что на гранях образца появится поперечная разность потенциалов Ех . Направление

отклонения носителей заряда определяется по правилу левой руки: четыре пальца руки должны быть направлены вдоль направления движения тока,

напряженность магнитного поля Н должна быть перпендикулярна ладони, тогда большой палец руки покажет направление отклонения носителей заряда. Отклонение носителей заряд продолжается до тех пор, пока возник-

шее поперечное электрическое поле Ех не уравновесит отклоняющее дей-

ствие магнитного поля, т.е.

Ех q = qVH

Умножим обе части равенства на n – концентрацию электронов, тогда:

Ех qn = nqVH

Здесь nqV = j - плотность тока, причем j =

1

 

, тогда

Exqn = IH .

 

bd

 

1

× IH , так как Ex =

Ux

 

 

 

bd

Отсюда Ex =

(Ux - напряжение), то

 

qn

 

 

bd

 

 

 

 

 

b

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Ux

=

1

 

× IH

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

qn

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

d

 

 

 

 

 

Эта формула

справедлива в

том

случае, если

все носители заряда име-

ют одинаковую скорость движения.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

С учетом распределения электронов по скоростям

 

 

 

 

 

 

Ux

=

 

A

× IH

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

qn

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

d

 

 

 

 

 

Здесь коэффициент A =

для

 

полупроводников с

атомарной решет-

 

 

 

 

 

8

и А = 1,93 при высоких

 

кой при низких

температурах,

температурах. Для

полупроводников с ионной решеткой А = 1,11.

 

 

Для германия и кремния при Т = 293К

A =

. Коэффициент

8

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

qnA = R

называют постоянной Холла. Знак R зависит от носителей заряда. Для полу-

проводников n-типа R<0, p-типа - R>0. по знаку ЭДС Холла можно определить тип проводимости полупроводника.

Так

как

проводимость γ = nqμ,

то μ =

γ

. Из формулы для R

nq

 

 

 

 

 

 

 

 

 

nq =

 

. Тогда μ =

8R

× γ . Таким

образом,

эффект Холла позволяет

8R

 

 

 

 

 

 

 

определить подвижность носителей заряда, которую называют Холловской. Для полупроводника со смешанной проводимостью:

R =

×

pμ 2 p - nμ n 2

8q

( pμ p + nμ n )2

Для полупроводников с собственной проводимостью:

R =

×

μ p - μ n

×

1

 

8

 

μ p + μ n

nq

Так как траектория движения носителей заряда исправляется, то длина свободного пробега их в направлении продольного электрического поля уменьшается, уменьшается и подвижность, падает проводимость, причем

γγ » H )2 .

Это явление называется эффект Гаусса.

Кроме эффекта Холла известны и другие гальваномагнитные эффекты: эффект Эттинсгаузена, эффект Нернста. Известны также термомагнитные эффекты: поперечный эффект Эттинсгаузена - Нернста, поперечный эффект Ри- ги-Ледюка, продольный эффект Эттинсгаузена - Нернста. Но эти эффекты не нашли применения в радиотехнике.

16.7. Фотомагнитный эффект.

(Фотомагнетоэлектрический, фотогальваномагнитный, эффект Кико- ина-Носкова)

Этот эффект заключается в появлении в освещенной полупроводниковой пластинке, находящейся в магнитном поле, ЭДС, перпендикуляной лучу света и напряженности магнитного поля (рис.12).

Рис. 12

Пусть свет падает на поверхность пластины параллельно оси у. Так как все атомы примеси при комнатной температуре уже ионизированы тепловой энергией, то свет будет в основном ионизировать собственные атомы полупроводника. Вблизи освещенной поверхности появляются пары носителей заряда - электроны и дырки. Они диффундируют вглубь пластины, но под действием магнитного поля отклоняются к граням, перпендикулярным оси

х. Направление отклонения определяется по правилу левой руки, при этом следует не забывать, что если электроны диффундируют вниз, то их ток направлен вверх, направление диффузии дырок совпадает с направлением

тока. Появляется разность потенциалов Ех, причем Ех=фLH, где ф - коэффициент фотомагнитного эффекта. Вследствие разности в коэффициентах диффузии электронов и дырок появится и поперечная разность потенциалов (эффект Дембера). Фотомагнитный эффект используется для определения напряженности магнитных полей.

17. СВОЙСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ

17.1. Германий

Содержится в минералах ариродине (6%), германие (10%), ренерите (7%), в отходах металлургических производств, каменных углях. Это твердый

хрупкий материал с валентной связью. При температуре t > 7000С германий пластичен, легко скручивается, изгибается и протягивается. Он устойчив к действию солей, азотной и серной кислот. Активно растворяется в смеси плавиковой и азотной кислот, в (3-10)% растворе (водном) перекиси водорода, в горячих растворах щелочей. Химически стоек по отношению к углероду и кварцу. В обычных условиях Ge не окисляется кислородом.

Окисление происходит при t > 7000С с образованием GeO2 белого цвета или GeO черного цвета при особых условиях.

Электрические свойства Ge сильно зависят от типа и концентрации примесей. Наиболее чистые кристаллы Ge содержат около 1012 примесных

атомов в см3 . Такие образцы обладают при t = 200С удельным сопротивлением ρ = (47-65) Ом•см. Диэлектрическая проницаемость ε = 15,7, ширина

запрещенной зоны ∆Е = 0.75 эВ при t=1.5K и 0.68эВ при 300К. Концентрация атомов при t=300K составляет 4.52•1022 ат/см3. температура плавления

tпл = 9500С, коэффициенты

диффузии при

t =200С Dn = 93 cм2/c,

Dp = 44

 

3

4350

 

 

2/c. Для Ge ni = pi = 9.7∙1015 T 2 e

T

см-3, при T = 300K

ni = pi =

 

8700

 

 

 

1.95∙1013 см-3, n0p0 = 9.1∙1031

T 3 eT

см-6.

 

 

Для производства приборов используется легированный Ge с ρ =

(0.04-40) Ом∙см. Зависимости ρ от концентрации акцепторных и донорных примесей приведены на рис.1, а от температуры на рис.2

Рис. 1

 

Рис. 2

 

 

 

Подвижность носителей с увеличением концентрации примеси уменьшается (рис. 3 и 4).