МЭТ-2
.pdfРекомбинация электронов через ловушки более вероятна, чем непосредственная, по следующей причине: энергия рекомбинации при этом разбивается на две части, каждая из которых меньше, чем при непосредственной рекомбинации.
Концентрация неравновесных носителей заряда за счет рекомбинации убывает по закону:
n-n0=(nн-n0)е-t/τ,
где nн – неравновесная концентрация в момент введения избыточных носи-
телей заряда, t - текущее время, τ - время жизни, то есть время, в течение которого концентрация неравновесных носителей заряда убывает в е раз.
Время жизни зависит от концентрации примесей, температуры, структуры полупроводника. Если полупроводник поликристаллический, то грани его микрокристаллов образуют своеобразные дефекты решетки, что ведет к уменьше-
нию τ. Для изготовления транзисторов используются монокристаллы. С увели-
чением концентрации примесей в полупроводнике τ уменьшается, так как примесные атомы играют роль ловушки, вместе с полезной примесью попадают и вредные, атомы которых дают ловушки.
Таким образом, чем больше γ (больше Na или Nд), тем меньше τ (рис.6).
τ, отн ед
103
102
10
1
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Na/ni |
|
102 10 |
1 |
|
|
|
|
|
102 |
|
|
103 |
|
|
|
|
|
Ng/ni |
|
|||||||||||||
|
|
|
10 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
Рис. 6 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(рис.6) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10 |
|
|
τ, отн ед |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
10-1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
t,°С |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
|
20 |
40 |
60 |
80 |
|
|
|
|||||||||||||||
Собствен- |
|
|
|
|
|
|
(рис.7) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ный |
полу- |
||||||
|
|
|
Рис. 7 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
проводник |
об- |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ладает |
ми- |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
нимальным |
τ. Компенсированный |
полупроводник |
(Na=Nд, n=p) обладает |
меньшим τ, чем собственный.
При повышении температуры τ возрастает (рис.7), так как ловушки более интенсивно заполняются носителями заряда, ожидающими рекомбинации, в связи с чем ловушки значительную долю времени оказываются занятыми.
Поверхностная рекомбинация происходит на поверхности образца, где имеется большое количество дефектов решетки, адсорбированных атомов газов, влага, окислы и т. д. Поэтому на поверхности полупроводника создается большое количество ловушек, приводящих к усиленной рекомбинации. Поверхностная рекомбинация характерезуется скоростью поверхностной реком-
бинации S, измеряемой в см/с. Она является сложной функцией геометрии образца, состояния его поверхности, подвижности носителей. Физически скорость поверхностной рекомбинации представляет собой среднюю скорость носителей заряда, с которой они движутся к поверхности, где рекомбинируют.
Химически обработанные образцы германия и кремния имеют S = (10-100)
см/с, при механической обработке S = (104-105)см/с.
Плотность тока неосновных носителей заряда в образце n-типа, связанная с поверхностной рекомбинацией
jp = q·S(p-p0).
Для образца р-типа
jn = q·S(n-n0).
Если поверхностная рекомбинация существенна, то эффективное время жизни находится из соотношения
1/τэф=1/ τv+1/τS,
где τv – время жизни в объеме полупроводника; τS - время жизни вблизи поверхности полупроводника.
Роль поверхностной рекомбинации возрастает с уменьшением объема образца.
Таким образом, концентрация неравновесных носителей заряда убывает по закону
n-n0=(nн-n0)е-t/τэф.
Скорость убывания неравновесных носителей заряда dn/dt=-1/τэф · (nн-n0)е-t/τэф= -( n-n0)/τэф.
Здесь n / τэф – скорость рекомбинации, n0/ τэф - скорость генерации.
16.4.Законы движения носителей заряда
вполупроводнике
При изучении |
свойств полупроводниковых приборов важно знать зако- |
||
ны |
распределения плотности тока в пространстве и |
во времени. Рассмот- |
|
рим |
простейший |
одномерный случай, то есть когда |
носители заряда дви- |
жутся вдоль одной оси (рис.8). В общем случае движение носителей заряда в полупроводнике обусловлено двумя процессами: диффузий под действием градиента концентрации и дрейфом под действием градиента потенциала электрического поля. Полная плотность тока:
X
Рис. 8
j=jр диф+jр др+jn диф +jn др+jсм
Согласно закону Фика диффузионные плотности тока:
J p = − qDp ∂∂ px ; и Jn = + qDn ∂∂ nx ;
Знак «–» в jp диф означает, что направление тока противоположно градиенту. В jn диф стоит знак «+», так как заряд электронов q отрицателен. Ток смещения jсм не связан с движением носителей заряда, а только с поля-
ризацией материала в электрическом поле jсм = ε ∂∂Et , он значим только
на сверхвысоких частотах, потому им обычно пренебрегают.
Здесь Dn и Dp - коэффициенты диффузии, зависящие от материала. Коэффициенты диффузии связаны с подвижностями носителей заряда соотношением Эйнштейна:
D |
p |
= kT |
μ |
p |
, |
D = |
kT μ |
n |
|
q |
|
|
n |
q |
|||
|
|
|
|
|
|
|
Эти соотношения вытекают из условия равенства дрейфовых и диффузионных плотностей тока в p-n-переходе.
Коэффициенты диффузии связаны со временем жизни носителей заря-
да следующими соотношениями: |
|
|
|
|
Dp |
= |
L2p |
D = |
L2 |
|
n |
|||
τ p |
n |
τ n |
||
|
|
|
где Lp и |
L n – диффузионные длины, то есть расстояния, которые успе- |
вают пройти |
носители, когда за счет рекомбинации их концентрация |
уменьшается в е раз (то есть за время жизни).
Дрейфовые плотности тока описываются |
законом Ома в дифференци- |
альной форме: |
|
jp др =γЕ= qpμpE , |
jn др = qnμnE |
Тогда
j= − qDp |
∂ p |
+ qDn |
∂ n |
||
∂ x |
+ qpμpE |
∂ x |
+ qnμnE. |
Для определения плотности тока необходимо знать распределение концентраций носителей заряда и напряженности поля , которая, в свою очередь, зависит от распределения концентраций.
В одномерном случае |
p и n зависят от двух переменных: координаты х |
|||||||||||||||||||||||||||
и времени t. Функции р(х,t) и |
|
n (х,t) являются решениями уравнения не- |
||||||||||||||||||||||||||
прерывности: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
∂ p |
= − |
p− p0 |
− |
|
1 ∂ j p |
|
|
∂ n |
= |
− |
n− n0 |
+ |
|
1 ∂ jn |
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
∂ t |
τ |
|
q ∂ x , |
|
∂ t |
τ |
|
|
q ∂ x |
|
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||
Подставляя сюда выражения для |
|
jp и |
jn, получим : |
|
||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
∂ p |
|
|
|
p− p0 |
|
|
∂ 2 p |
|
|
∂ E |
|
|
pE |
∂ p |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
= − |
|
|
+ Dp ∂ x2 |
− pμ p ∂ x |
− μ |
∂ x |
||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
∂ t |
τ |
|
||||||||||||||||||||
|
|
|
|
∂ n |
|
|
|
n− n0 |
|
|
∂ 2n |
|
|
|
∂ E |
|
− μ nE |
∂ n |
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
= − |
|
|
|
|
+ |
Dn ∂ x2 |
|
|
− nμ n ∂ x |
|
∂ x |
|
||||||||||
|
|
|
|
∂ t |
|
|
τ |
|
|
|
|
|
Влияние внешних факторов в этих выражениях не учтено. Если электрическое поле отсутствует, то
∂ p |
= − |
p− p0 |
+ D |
∂ 2 p |
∂ n |
= − |
n− n0 |
+ D |
∂ 2n |
|
|
|
|||||||
∂ t |
|
τ |
p ∂ x2 , |
∂ t |
|
τ |
n ∂ x2 |
Эти уравнения называются диффузионными уравнениями непрерывности. Уравнения непрерывности используются при анализе движения неосновных носителей заряда в полупроводнике. Если движение неосновных носителей заряда в полупроводнике отсутствует, но в нем есть заряды, со-
здающие электрическую индукцию D, то divD=Q,
где Q - объёмная плотность зарядов. Так как D=εабс E, то
divE = |
Q |
, ε абс = ε отн × ε 0 |
|
||
|
ε абс |
здесь Q = qN , где N - число зарядов в единице объема,
N = (p + Nd - n - Na).
Тогда
∂∂ Ex = ε εq0 ( p + Nd − n − Na )
Это уравнение называется уравнением Пуассона. При ∂∂Ex = 0 оно переходит в уравнение Лапласа.
16.5. Термоэлектрический эффект Зеебека
Эффект Зеебека заключается в появлении термо-ЭДС в отрезке полупроводника, вдоль которого существует градиент температуры (рис.9)
Е |
|
Е |
Рис. 9 Подвижные носители в области большой температуры имеют большие
энергии и скорости, чем в области с низкой температурой. Вследствие этого преобладает диффузия носителей заряда из горячей области полупроводника в холодную. На холодном конце происходит накопление заряда одного знака, на горячем другого.
Для полупроводников n-типа горячий конец заряжается положительно, для полупроводников p-типа- отрицательно. Этот эффект используется при определении типа проводимости полупроводника. Величина возникшей тер- мо-ЭДС определяется соотношением:
E=α • ∆t,
где α - коэффициент термо-ЭДС; для |
полупроводников |
n-типа |
α отрицателен, p-типа - положителен. Численное |
значение α сильно |
зависит |
|
mB |
|
от вида и концентрации примесей и достигает 1 град .
Рис. 10
Если подогревать p-n- переход, как показано на рис.10, общая тер- мо-ЭДС будет равна:
Е=Е1+Е2=(α1+α2)•∆t
Такие устройства используются для преобразования тепловой энергии в электрическую. Из других термоэлектрических эффектов известны также эффект Пельтье и эффект Томпсона, но они редко используются.
16.6. Гальваномагнитный эффект Холла
Эффект Холла заключается в появлении поперечной разности потенциалов при движении носителей заряда в продольном направлении образца полупроводника, находящимся в магнитном поле (рис.11).
b
Рис. 11
Пусть в образце полупроводника n-типа в виде прямоугольного парал-ле- пипеда течет ток I вдоль образца. Перпендикулярно большой плоскости об-
разца действует магнитное поле с напряженностью Н. На каждый электрон действует сила Лоренца:
F = q[V × H ]
Под действием этой силы носители заряда будут смещаться так, что на гранях образца появится поперечная разность потенциалов Ех . Направление
отклонения носителей заряда определяется по правилу левой руки: четыре пальца руки должны быть направлены вдоль направления движения тока,
напряженность магнитного поля Н должна быть перпендикулярна ладони, тогда большой палец руки покажет направление отклонения носителей заряда. Отклонение носителей заряд продолжается до тех пор, пока возник-
шее поперечное электрическое поле Ех не уравновесит отклоняющее дей-
ствие магнитного поля, т.е.
Ех q = qVH
Умножим обе части равенства на n – концентрацию электронов, тогда:
Ех qn = nqVH
Здесь nqV = j - плотность тока, причем j = |
1 |
|
, тогда |
Exqn = IH . |
|||||||||||||
|
bd |
||||||||||||||||
|
1 |
× IH , так как Ex = |
Ux |
|
|
|
bd |
||||||||||
Отсюда Ex = |
(Ux - напряжение), то |
||||||||||||||||
|
qn |
||||||||||||||||
|
|
bd |
|
|
|
|
|
b |
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
Ux |
= |
1 |
|
× IH |
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
qn |
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
d |
|
|
|
|
|
||||
Эта формула |
справедлива в |
том |
случае, если |
все носители заряда име- |
|||||||||||||
ют одинаковую скорость движения. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
С учетом распределения электронов по скоростям |
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
Ux |
= |
|
A |
× IH |
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
qn |
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
d |
|
|
|
|
|
||||
Здесь коэффициент A = |
3π |
для |
|
полупроводников с |
атомарной решет- |
||||||||||||
|
|
||||||||||||||||
|
|
|
8 |
и А = 1,93 при высоких |
|
||||||||||||
кой при низких |
температурах, |
температурах. Для |
|||||||||||||||
полупроводников с ионной решеткой А = 1,11. |
|
|
|||||||||||||||
Для германия и кремния при Т = 293К |
A = |
3π |
. Коэффициент |
||||||||||||||
8 |
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
qnA = R
называют постоянной Холла. Знак R зависит от носителей заряда. Для полу-
проводников n-типа R<0, p-типа - R>0. по знаку ЭДС Холла можно определить тип проводимости полупроводника.
Так |
как |
проводимость γ = nqμ, |
то μ = |
γ |
. Из формулы для R |
|||||
nq |
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
nq = |
3π |
|
. Тогда μ = |
8R |
× γ . Таким |
образом, |
эффект Холла позволяет |
|||
8R |
3π |
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
определить подвижность носителей заряда, которую называют Холловской. Для полупроводника со смешанной проводимостью:
R = |
3π |
× |
pμ 2 p - nμ n 2 |
8q |
( pμ p + nμ n )2 |
Для полупроводников с собственной проводимостью:
R = |
3π |
× |
μ p - μ n |
× |
1 |
|
8 |
|
μ p + μ n |
nq |
Так как траектория движения носителей заряда исправляется, то длина свободного пробега их в направлении продольного электрического поля уменьшается, уменьшается и подвижность, падает проводимость, причем
γγ » (μ H )2 .
Это явление называется эффект Гаусса.
Кроме эффекта Холла известны и другие гальваномагнитные эффекты: эффект Эттинсгаузена, эффект Нернста. Известны также термомагнитные эффекты: поперечный эффект Эттинсгаузена - Нернста, поперечный эффект Ри- ги-Ледюка, продольный эффект Эттинсгаузена - Нернста. Но эти эффекты не нашли применения в радиотехнике.
16.7. Фотомагнитный эффект.
(Фотомагнетоэлектрический, фотогальваномагнитный, эффект Кико- ина-Носкова)
Этот эффект заключается в появлении в освещенной полупроводниковой пластинке, находящейся в магнитном поле, ЭДС, перпендикуляной лучу света и напряженности магнитного поля (рис.12).
Рис. 12
Пусть свет падает на поверхность пластины параллельно оси у. Так как все атомы примеси при комнатной температуре уже ионизированы тепловой энергией, то свет будет в основном ионизировать собственные атомы полупроводника. Вблизи освещенной поверхности появляются пары носителей заряда - электроны и дырки. Они диффундируют вглубь пластины, но под действием магнитного поля отклоняются к граням, перпендикулярным оси
х. Направление отклонения определяется по правилу левой руки, при этом следует не забывать, что если электроны диффундируют вниз, то их ток направлен вверх, направление диффузии дырок совпадает с направлением
тока. Появляется разность потенциалов Ех, причем Ех=фLH, где ф - коэффициент фотомагнитного эффекта. Вследствие разности в коэффициентах диффузии электронов и дырок появится и поперечная разность потенциалов (эффект Дембера). Фотомагнитный эффект используется для определения напряженности магнитных полей.
17. СВОЙСТВА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ
17.1. Германий
Содержится в минералах ариродине (6%), германие (10%), ренерите (7%), в отходах металлургических производств, каменных углях. Это твердый
хрупкий материал с валентной связью. При температуре t > 7000С германий пластичен, легко скручивается, изгибается и протягивается. Он устойчив к действию солей, азотной и серной кислот. Активно растворяется в смеси плавиковой и азотной кислот, в (3-10)% растворе (водном) перекиси водорода, в горячих растворах щелочей. Химически стоек по отношению к углероду и кварцу. В обычных условиях Ge не окисляется кислородом.
Окисление происходит при t > 7000С с образованием GeO2 белого цвета или GeO черного цвета при особых условиях.
Электрические свойства Ge сильно зависят от типа и концентрации примесей. Наиболее чистые кристаллы Ge содержат около 1012 примесных
атомов в см3 . Такие образцы обладают при t = 200С удельным сопротивлением ρ = (47-65) Ом•см. Диэлектрическая проницаемость ε = 15,7, ширина
запрещенной зоны ∆Е = 0.75 эВ при t=1.5K и 0.68эВ при 300К. Концентрация атомов при t=300K составляет 4.52•1022 ат/см3. температура плавления
tпл = 9500С, коэффициенты |
диффузии при |
t =200С Dn = 93 cм2/c, |
Dp = 44 |
|
|
3 |
4350 |
|
|
cм2/c. Для Ge ni = pi = 9.7∙1015 ∙T 2 e− |
T |
см-3, при T = 300K |
ni = pi = |
|
|
8700 |
|
|
|
1.95∙1013 см-3, n0p0 = 9.1∙1031 |
∙T 3 e− T |
см-6. |
|
|
Для производства приборов используется легированный Ge с ρ =
(0.04-40) Ом∙см. Зависимости ρ от концентрации акцепторных и донорных примесей приведены на рис.1, а от температуры на рис.2
Рис. 1 |
|
Рис. 2 |
|
|
|
Подвижность носителей с увеличением концентрации примеси уменьшается (рис. 3 и 4).