Виготовлення шаблону
Гальванопокриття нікелем
Формування шаблону
LIGA сенсора прискорення
PMMA структура |
Ni- структури висота 120 ?m |
деталь |
Надмірна сенсорна система |
Струменева мікро-техніка
Струменева мікро-техніка та процес контролю:
Мікро-насоси високого тиску;
Мікро-змішувачі.
Недоліки LIGA процесу
«Істинні» недоліки процесу LIGA:
Складний процес з багатьма кроками;
Необхідність в наявності джерела X- випромінювання
=> ”відносно” довгий процес і вимагає великі затрати.
«Дешевизна» LIGA процесу полягає в наступному:
Оптична літографія на дуже великому від’ємному опорі(Su-8);
використовує тільки «встановлено» і «прийнято» процесу обладнання;
Простий процес створення багаторівневої мікроструктури
=> може бути великій коефіцієнт стиснення в мікроструктурі за короткий час виробництва.
Зразок мікроструктур з Su-8
Висота
структури 2.1 мм
Товщина зубців
ведучої шестерні
Виготовленні по
шаблону лінії з Su-8, з коефіцієнтом стиснення 14.5
Зразок
багаторівневої
структури
3-D джерела
Елементи палива:
мембрани протона;
пристрій зв’язку з мікро
генератором
Процес розвитку:
Su-8;
Формування шаблону гальванопластики;
Викарбування;
Напилювання;
З’єднання
Мікро-сепаратор та концентратор
Dry Etching
Сухе гравіювання
Короткий зміст
•Що таке сухе гравіювання?
•Типи сухого гравіювання.
-Плазменне
-Не плазменне
•Чому саме сухе гравіювання?
•Розвиток сухого гравіювання.
Сухе гравіювання
Це метод селиктивного видання не маскованих ділянок поверхні.
Особливості цього процесу полягають в тому, що його можна комбінувати з технологією тонких плівок і техноголією КМОП(CMOS).
КМОП - комплементарня логіка на транзисторах металл-оксид- напівпровідник.