Добавил:
Upload
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:Lekcii_Lobur / Лекція4_процеси_виготовлення_МЕМС..ppt
Дві плазменні системи
Фізичне |
Гравіювання реактиними |
гравіювання |
іонами |
Гравіювання реактивними іонами
Це те саме хімічне гравіювання, але в якому процес хімічного
гравіювання супроводжується бомбардуванням іонами.
Бомбаржування відкриває поля для реакцій.
Іонне бомбардування:
◦Сильно покращуе якість.
◦Погіршення структури.
◦Низька вибірка маск.
Глибоке реактивне гравіювання іонами
Використовується ERC система як додаток до системи реактивного гравіювання.
Мікрохвиля потужністю в 245GHz є подвоєна в ERC.
Магнітне поле використовується щоб збільшити передачу мікрохвилі до резонуючих електронів.
Система цього гравіювання використовує іони з маленькою енергією. З цьго випливає, що ми наносимо меньші пошкодження але в нас є більше вибірки.
ERC система
Electron cyclotron resonance
Глибоке реактивне гравіювання іонами
Ступені плазенного гравіювання
