мікрообробки LIGA (літографія,
гальванотехніка)
• використаовується літографія рентгенівського променя, гальванотехніка і формуюється, щоб проводити дуже високі стиснення мікроструктури, коефіцієнт (>100) аж до (1986) 
джерело: |
|
Madou |
Джерело: Kovacs |
Приклади МЕMS
Мікро-структури, що використовують LIGA
Процеси механічної
мікрообробки
LIGA вкомплектував неповним особовим складом
•використовує оптичний епоксидний негативний опір (SU-8), що розвивається, щоб проводити високі коефіцієнта стиснення мікро-структури (1995)
мікро-реакція колодязів UofL: |
Джерело: Maluf |
150 гм, всюди 120 гм, 50 гм |
|
товщина стіннки |
|
Приклади МЕMS
Мініатюрні
електродви
гуни
Джерело: MIT і Berkeley
Приклади
МЕMS
Оптичні MEMS (MOEMS)
Джерело: НІСТ, Simon Fraser, UCLA, і MCNC
Приклади МЕMS
Притискний датчик (крайньо-мініатюрн
Джерело: NovaSensor
Приклади МЕMS
Системи чіпа
розділення
розбавлення
змішувачі і розпилювачі
аналіз
Джерело: Кронциркуль
Мікро реактор
SU8 Високі структури
площі
PZT ПРОМІНЬ Консолі
Товщина 4.5m широтний 300m довжина 1000m
15m під напругу 10V
OTS, що облицьовувала перешкоджаюа система від статичного тертя