Стандартні ІС процеси
Фотолітографія
Стандартні ІС процеси
1) Внести тонку
плівку
НапиленняВипаровуванняТеплове окислення
CVD
ЦентрифугуванняЕпітаксія
Стандартні ІС процеси
2) Зразкові тонкі плівки
Літографія
Гравюра методів (вологість, засуха, реактивно-іонне витравлювання)
Стандартні ІС процеси
3) Введіть присадки (щоб сформувати електрично-активні області для діодів, транзисторів, і т.п.)
Теплове розповсюдження
Іонне насадження
Процеси механічної
мікрообробки
Масова механічна мікрообробка
засуха проти вологості
ізотропічний проти анізотропного
віднімаючий процес
Процеси механічної
мікрообробки
Масова механічна мікрообробка
Процеси механічної
мікрообробки
Глибока реактивно-іонна гравюра (DRIE)
висока щільність плазми
високі структури коефіцієнта стиснення
вартість: $500K
Процеси механічної
мікрообробки
Пластинно-горизонтальне
Анодне з'єднання скляного Si
Si-Si плавке з'єднання
Евтектичне з'єднання
Низьке тимчасове з'єднання стакана
Приклади MEMS
Процеси механічної
мікрообробки
Зовнішня механічна мікрообробка
аддитивний процес
структурний і жертовні