Введення в MEMS
Короткий перегляд
• Що таке - мікровиробництво і MEMS?
• Чому існує інтерес до MEMS?
• Інтегральна схема, процеси виробництва
• Масові процеси механічної мікрообробки
• Зовнішні процеси механічної мікрообробки
• Комбіновані процеси
• Посилання
MEMS - розвинений від мікроелектроніки
Революція Розвиток в часі інтегральних схем
1947 |
1958 |
1999 |
один транзистор |
перша інтегральна |
10 мільйонів |
|
схема |
|||
|
транзисторів |
||
|
|
Що таке є MEMS? |
|||
Мікро-електронно-механічні |
системи |
||
(MEMS) є |
- |
інтеграція |
механічних |
елементів, |
|
датчиків, приводів, і |
|
електроніки |
на загальній |
підкладці, |
|
через |
використання |
технології |
|
мікрообробки |
|
. |
|
Приклади
впливовіMEMSдатчики
акселерометри
датчики потоку
струменеві принтери
дзеркальні пристрої, що деформуються
газові датчики
мініатюрні електродвигуни
мікро механізми
системи чіпа
Лінія часу MEMS
1980
1999
Мікро-датчик виготовлений по технології механічної обробки
TI DMD
|
2030 |
(1.3 мільйонів мікро- |
? |
дзеркал) |
Загальні переваги MEMS
Виробництво партіями – зменшена собівартість
Малий розмір – чим менше, тим краще
Мала потреба в енергоресурсах
Висока точність
Нові можливості
Покращена робота
Набір Інструментів
MicroTechnology/MEMS
Чиста кімната плюс мікро обробка
Процеси MEMS
|
ІС процеси |
Процеси механічної |
||||||
|
|
|
|
|
мікрообробки |
|
||
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
окислення |
|
масова механічна |
|
|||
|
|
|
мікрообробка |
|||||
|
|
дифузія |
|
зовнішня механічна |
||||
|
|
LPCVD |
|
|
мікрообробка |
|||
|
|
офсетна |
|
водне з'єднання |
||||
|
|
глибоке кремнієве |
||||||
|
фотографія |
|||||||
|
|
епітаксія |
|
|
реактивно-іонне |
|||
|
|
|
|
травлення |
||||
|
|
|
|
LIGA |
||||
|
розпилювання |
мікро оздоблення |
||||||
|
|
і. т.п. |
|
т.п. |
||||
Процеси механічної
мікрообробки
Стандартні процеси інтегральних схем (ІС)
•ідентична тим, що використовуються в ІС виробництві
•використано для зовнішньої механічної мікрообробки
Зовнішня механічна мікрообробка
•аддитивні процеси
Масова механічна мікрообробка
•віднімаючий процес
Ділення лінії може стати самим розмиванням
