Чому орієнтуємось на MEMS?
Економічні переваги:
•Паралельне виготовлення для масового виробництва
•інтеграція рівня групового виробництва
•інтеграція системного рівня
•технологія виробництва ІС Технічні переваги:
•виробнича точність
•мала вага и невеликі розміри
•нові можливості повязані з груповою технологією
•переваги матеріалів
Ріст складності інтегральних схем різних типів
Зміна розмірів нанотранзисторів в складі інтегральних мікросхем (за матеріалами фірми Intel).
Порівняння розмірів
Що таке MEMS ?
Малі:
• електромеханічні структури які містять компоненти, що вимірюються у мікрометрах
• можуть легко інтегруватися у системи надвеликої складності
Призначення MEMS ?
Контролювати і вливати на зовнішнє довкілля !!!
•контроль: прискорення, тиску, швидкості потоку, температури тощо;
•вплив: електричний, магнітний, оптичний, температурний тощо;
•швидкість 250,000 RPM, розмірність >1 mm сила >1 mN
Електростатичний актюатор
Сенсор тиску
• |
потоку; |
|
перерозподіл і обробка світлового ? |
•перерозподіл і обробка рідин;
•передача без використання дротової технології;
•у поєднанні з VLSI, MEMS можуть мінітюаризувати всю систему
Мікро-оптичні географічно незалежні передавальні пристрої Мікрорідинний
змішувач
Діаграми використання МЕМС в різних галузях народного господарства
