- •Механічні давачі
- •Давачі сили
- •Давачі сили
- •Давачі сили - тензодавачі
- •Давачі сили - тензодавачі
- •Давачі сили - тензодавачі
- •Давачі сили - тензодавачі
- •Тензодавачі
- •Напруження та деформація
- •Напруження та деформація
- •Напруження та деформація
- •Тензодавачі
- •Металічні тензодавачі
- •Тензодавач на провіднику
- •Звичайна форма тензодавача
- •Резистивний тензодавач
- •Матеріали
- •Металічні тензодавачі
- •Двоосевий тензодавач
- •Три давачі під кутом 120
- •Під кутом 45
- •Під кутом 45, накладені один на другий
- •У вигляді мембрани
- •Тензодавачі на напівпровідниках
- •Тензодавачі на напівпровідниках
- •Тензодавачі на напівпровідниках
- •Тензодавачі на напівпровідниках
- •Тензодавачі на напівпровідниках
- •Тензодавачі - застосування
- •Тензодавачі - властивості
- •Тензодавачі - властивості
- •Тензодавачі - похибки
- •Тензодавачі - похибки
- •Тензодавачі - похибки
- •Типовий резистивний тензодавач
- •Інші тензодавачі
- •Інші тензодавачі
- •Давачі сили та дотику
- •Давачі сили та дотику
- •Давач сили
- •Давач сили
- •Давач напруження
- •Тактильні давачі
- •Тактильні давачі
- •Давач дотику
- •Тактильні давачі
- •Тактильні давачі
- •Тактильні давачі
- •Тактильній давач
- •Тактильні давачі
- •Акселерометри
- •Акселерометри
- •Акселерометри - принцип
- •Акселерометри - принципи
- •Акселерометри - принципи
- •Ємнісні акселерометри
- •Ємнісні акселерометри
- •Ємнісні акселерометри
- •Практичний підхід
- •Ємнісні акселерометри – практичний підхід
- •Ємнісні акселерометри – практичний підхід
- •Тензометричні акселерометри
- •Акселерометри на змінній індуктивності
- •Магнітні акселерометри на ефекті Хола
- •Інші типи акселерометрів
- •Інші типи акселерометрів
- •Інші типи акселерометрів
- •Акселерометри – примітки
- •Акселерометри – примітки
- •Вимірювання швидкості
- •Вимірювання швидкості
- •Вимірювання швидкості
- •Вимірювання швидкості
- •Вимірювання швидкості
- •Давачі тиску - вступ
- •Давачі тиску – вступ
- •Давачі тиску - одиниці
- •Давачі тиску - одиниці
- •Давачі тиску - одиницці
- •Одиниці тиску
- •Вимірювання тиску
- •Механічні давачі тиску
- •Манометр Бурдона
- •Механічні давачі тиску
- •Міхи та діафрагми
- •Даіфрагменний манометр
- •Міхи та діафрагми
- •Міхи та діафрагми
- •Мембрани та пластини
- •Мембрана та тонка пластинка
- •Мембрани та тонкі пластинки
- •Мембрани та тонкі пластинки
- •Давачі тиску
- •П’єзорезистивні давачі
- •П'єзорезистивні давачі тиску
- •П'єзорезистивні давачі тиску
- •П'єзорезистивні давачі тиску
- •Диференційний давач тиску
- •П'єзорезистивні давачі тиску
- •Виготовлення
- •Різні давачі тиску
- •Мініатюрні давачі тиску
- •Давачі тиску Пітрана
- •Диференційний давач тиску (150 psi)
- •Абсолютний давач тиску (100 psi)
- •Диференційні давачі тиску (15 і 30 psi)
- •Ємнісні давачі тиску
- •Ємнісні давачі тиску
- •Магнітні давачі тиску
- •Електромагнітний давач тиску
- •Магнітні давачі тиску
- •Інші давачі тиску
- •Давачі тиску – властивості
- •Давачі тиску – властивості
- •Гіроскопи
- •Гіроскопи
- •Механічні гіроскопи
- •Механічний гіроскоп
- •Механічні гіроскопи
- •Механічні гіроскопи
- •Механічні гіроскопи
- •Гіроскопи на базі сили Коріоліса
- •Прискорення Коріоліса
- •Гіроскопи, базовані на прискоренні Коріоліса
- •Гіроскопи, базовані на прискоренні Коріоліса
- •Гіроскопи, базовані на прискоренні Коріоліса
- •Оптичні гіроскопи
- •Ефект Саньяка
- •Ефект Саньяка
- •Ефект Саньяка
- •Гіроскоп на опторезонаторі
- •Гіроскоп на опторезонаторі
- •Гіроскоп на опторезонаторі
- •Оптоніроскопи на котушці
- •Оптогіроскопи на котушці
- •Оптогіроскопи на котушці
Під кутом 45
Під кутом 45, накладені один на другий
У вигляді мембрани
Тензодавачі на напівпровідниках
Operate like resistive strain gauges
Construction and properties are different.
The gauge factor for semiconductors is much higher than for metals.
The change in conductivity due to strain is much larger than in metals.
Are typically smaller than metal types
Often more sensitive to temperature variations
(require temperature compensation).
Тензодавачі на напівпровідниках
Всі напівпровідники демонструють зміну опору при деформації
Найбільш поширений матеріал – кремній, завдяки
його властивостям та простоті використання
Базовий матеріал збагачується розпиленням
збагачуючого матеріалу (звичайно бору чи
арсеніду для p- чи n-типу) для отримання
потрібного базового опору
Субстрат забезпечує деформацію пристрою,
контакти розміщені на його кінцях
Тензодавачі на напівпровідниках
Конструкція тензодавача на напівпровіднику:
Тензодавачі на напівпровідниках
Інші тензодавачів на напівпровідниках:
Тензодавачі на напівпровідниках
Однією з найбільших різниць між
тензодавачами на напівпровідниках та провідниках є те, що тензодавачі на
напівпровідниках не є лінійними, їх ПФ квадратична:
dRR = S1 + S1 2
ПТК та НТК
Тензодавачі - застосування
Тензодавач повинен реагувати на прикладену
силу
Тензодавач інтегрується в систему зазвичай за допомогою атомного зв’язування. Тому кожен використовується тільки раз
Існують різні агенти для зв’язування для різних цілей та різних матеіалів
Зазвичай потсавляються виробниками давачів ти спеціальними поставниками
Тензодавачі часто використовуються для
неформації вигинання, кручення, а також повздовжньої деформації структур
