Мембранные шаблоны типа: Поверхность micromachined устройство
Mctul Соединительный провод
_______ ^ _ - ^-;.; *-*y! ~:. ^-·
Металлический Соединительный провод
Кремниевое
Основание(
Подложка)
.-a; ".;-. fe
Поверхность micromachined датчик давления. Впадина ниже пластины была удалена жертвенной окисью, гравируют, затем запечатанный реактивным
запечатыванием. 13
п"єзорезистивними
елементами
Многокр |
|
емний |
|
Piezoresisi |
Металлизация |
Крем
ниев
ый
Диок
сид
Варіант давача тиску для регістрації акустичних хвиль
Микрофон с пьезоэлектрическими элементами
Искусственный интеллект Верхний Электрод
Типично высокий шум, хотя некоторые (с консолями) |
|
были изготовлены с большой чувствительностью. ZnO = |
17 |
Цинковая Окись |
Микрофон с пьезоэлектрическими элементами
Ti/Pt Основание Ti/Pt Вершина Электрод и Электрод и Контакт Контакта
PZT Слои
Бор Теплово
й
SiO2
Гель Сола внес пьезоэлектрический микрофон для гидротелефонных заявлений(применений). PZT = Пьезоэлектрическое сцепление lead-zirconate-titanate.
18
Акселерометр с пьезоэлектрическими элементами
NiCr/Al |
Многокре |
|
Верхний |
|
|
- бормотал |
|
|
|
SiO; |
|
|
|
Ниже |
|
|
|
Бормотавши |
|
|
|
й SiO; |
|
|
|
Тепловой |
|
|
|
S1O2 |
|
|
|
А |
|
|
|
л |
|
|
|
ю |
|
|
|
м |
|
|
|
и |
|
|
|
н |
|
Представление(Вид) стороны пьезоэлектрического |
|||
акселерометра |
|
е |
|
|
в |
|
|
|
|
|
|
|
|
а |
19 |
|
|
я |
|
П
о
д
Емкостные датчики
E = 0.5 C = A/d
CV2 |
|
Легкий изготовлять; нечувствительный к температуре; |
|
требует схемы |
|
Зарядите чувствительные усилители, зарядите |
|
перераспределение, размеры(измерения) импеданса (с |
|
мостом), ёМКОСТНО-РЕЗИСТИВНЫЕ генераторы, |
|
прямой обвиняют сцепление в ФЕДЕРАЛЬНОМ |
20 |
АКЦИЗНОМ СБОРЕ. |
Емкостные датчики давления
Тепловой
Кремни
KOH
Гравиру
p ++ ютКремн.
Кремниевый Диоксид + Кремний Азотирует Электрический/ Слой Изолирования
3
Мелкое Распространение Бора и Диэлектрическое Смещение Слоя.
p ++ Кремниевая Диафрагма
= ^
Конденсаторн ая Металлизация Пластины
Класс (Au/Cr)
Глубокое |
Окисное Удаление, Анодное |
Распространение |
Соединение к |
Бора. |
Стакану(Стеклу) и |
|
электронной обработке |
|
|
|
|
|
|
данных Гравирует, |
|
Пример отборных бором гравирует емкостный датчик |
|
|
давления. |
|
21 |
(Chau и Мудрый (1988). |
|
|
|
|
|
Емкостные осязательные датчики
Тонкий Луч |
Преобразовате |
||||
ль Силы |
|
|
|
||
|
Поддержки |
Остр |
|
|
|
р |
|
|
|
||
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
а |
|
|
|
|
|
с |
|
|
|
|
|
п |
|
|
|
|
|
р |
|
|
|
|
|
о |
|
|
|
|
|
с |
|
|
|
|
|
т |
|
|
|
|
|
р |
|
|
|
|
|
а |
|
|
|
|
|
н |
|
|
|
|
Диэлектрический Фильм |
е |
|
|
|
|
|
н |
|
|
|
|
|
и |
|
|
|
|
|
е |
|
|
|
|
|
Конденсато |
|
Понизите Металлическую ложь Plale |
|||
б |
рный |
|
|
|
|
о |
Промежуто |
|
|
|
|
р к |
|
|
|
|
|
а |
|
|
22 |
||
) |
|
|
|||
Ворота перемещения микрофон ФЕДЕРАЛЬНОГО АКЦИЗНОГО СБОРА
Диафрагма перемещает ворота относительно источника и утечки. Сцепление нагрузки(обвинения) затрагивает работу(выполнение) транзистора.
Умный, но имеет температурный дрейф и высокие 23 шумовые уровни.
Акселерометр туннелирования
Туннелирование
Консоль |
Массовые Электроды |
|
Отклонения |
Я |
h |
|
|
v/ |
-Itilk, " "-: |
|
-\ l\ - - % |
|
|
Конта4 |
|
. |
кт |
Масса Доказательства |
|
Элект |
|
|
родов |
|
|
Тунне |
|
лирова |
|
ния |
Чрезвычайно чувствительный, но предмет, чтобы долго |
|
|
Откло |
|
нения |
назвать дрейфы от CTE |
|
|
Консо |
не соответствует. |
ли |
|
|
24