Основні переваги і недоліки
• Тензометричний
Висока ступінь захисту |
нестабільність |
|
|
від агресивного |
характеристики |
|
|
середовища |
|
|
|
Висока межа робочої |
Високі |
гістерезисні |
|
температури |
ефекти |
від тиску |
й |
|
температури |
|
|
Налагоджено серійне |
Низька |
стійкість |
при |
виробництво |
впливі |
ударних |
|
|
навантажень і вібрацій |
||
Низька вартість
Осязательный датчик с piezoresistive элементами
Шаттла(Челнока)
Поверхност |
Алюми |
|
|
|
ниевый |
|
Соедин |
|
ительн |
|
ый |
|
Много |
|
провод |
|
кремни |
|
евый |
|
Шабло |
|
н |
|
|
Secrion A |
Напряж |
ения(П |
ороды)
Piezoresistive осязательное измерение датчика |
|
|
стригут и нормальный |
15 |
|
силы. |
||
|
Ємнісні сенсори тиску
Переваги (в порівнянні з п’єзорезистивними сенсорами):
•вища чутливість
•чудова температурна
стійкість
•просте виробництво
•немає гістерезису
•краща стабільность
•Cmos ступінь інтеграції
Ємкісні сенсори тиску
1.Зміна ємності нелінійна щодо деформації або тиску (але взаємодія між ними є репродуктивна)
2.Структура сенсора відносно проста і витрати на виробництво виконуються, використовуючи обумовлені методи мікрообробки.
3.Недоліки: маленька ємність (загалом 1...3pF) => вимірювальна схема повинна бути інтегрована у чіп або спеціальну проектовану
форму для обнулення конструктивної місткості.
4.Для досягнення високої чутливості і широкого діапазону дії => використовується ультратонка діафрагма з центральною контактною областю.
Ємкісні сенсори тиску
Приклад:
Диференціальний пластинчатий сенсор тиску
Інші види сенсорів тиску
Сенсори тиску
Сенсори тиску
Деякі майбутні тенденції розвитку:
1.зменшення вартості
2.зеншення розміру кристалу
3.збільшення інтеграції
4.розробка сенсорів, які будуть працювати при більшій температурі.
5.збільшення діапазону дії існуючих сенсорів
6.поліпшена точність
7.поліпшене застосування і виробництво
Акселерометри
1.Ємкісні акселерометри. 2.П’єзорезистивні акселерометри. 3.Акселерометри врівноваженої сили. 4.Тунельні пристрої 5.Термічні пристрої 6.Інші типи акселерометрів