Электростатическое устройство приведения в действие: реле
Electoplated Нанесенный слой металла гальваническим способом n..
Взаимно-частная(-секционная) иллюстрация поверхности micromachined, электростатического реле, изготовленного, нанося слой металла гальваническим способом Au наталкивается контакты и лучи Никеля выше жертвенного медного слоя (не показанный). Приспособленный от Zavracky, etal. (1997).
Электростатическая привлекательность, используемая для электронных 35 заявлений(применений) переключения.
Электростатическое устройство приведения в действие: реле
Элект
|
роды |
|
Полушарие Гектограмма |
||
|
Откло |
|
|
|
|
Дви |
нения |
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
гате |
|
|
|
|
Си |
ль |
|
|
|
|
гнал |
Эле |
|
|
|
|
|
ктр |
|
|
|
|
Про |
|
|
|
|
дукц |
|
одВх- |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ия(В |
|
од |
|
|
|
NPo! ysilico! |
ыпу |
|
|
|
|
||
(В |
|
|
|
я Консоль |
ск) |
|
|
|
|
||
кл |
|
|
v |
|
|
ад |
|
|
|
||
РЕЛЕ) ПРОЧЬ
С
иг
на
РЕЛЕ НА Иллюстрация поверхности
micromachined, ртутный контакт электростатическое реле в от
Электростатическаягосударства(состояния)привлекательность,(вершина) и на
используемаягосударствдля электрон(состояныхии) (основание). 36 заявлений(применений)Приспособленныйпереключенияот Saffer, ала. (1995).
Электростатическое устройство приведения в действие: выключатель РФ
d
где,
eR = относительный диэлектрик, постоянный из изолирования слоя d s = толщина изолирования слоя d"" = высота воздушного промежутка между главной(высшей) мембраной и изолированием слоя
|
|
Гравируйте Доступ 100 Кремния |
|
Кон |
нитрометана 300 нитрометанов, Ал |
|
Хольз Азотирует Мембрану Изолятора |
|
|
т |
L |
|
а |
|
|
к |
|
|
т |
|
|
Ч |
>; |
|
|
|
|
е |
и |
|
|
|
ВЫКЛЮЧ |
р |
Основание(Подложка) |
|
||
ИТЬ |
е |
|
з |
|
Фотосопро
тивляйтесь
Посту
Поддержки ·------
Ti/Au/Cr
Проводник
ВКЛЮЧИТЬ
Иллюстрация capacitively соединилась, electrostatically приводимый в действие мембранный тип выключатель РФ. Приспособленный от Ювелира, и другие. {1996).
Электростатическая привлекательность, используемая для РФ,
переключающей заявления(применения). |
37 |
Магнитное устройство приведения в действие: реле
|
Подвижный "Хранитель" |
|
Б |
|
|
л |
|
|
о |
|
|
к |
|
|
о |
|
|
н |
|
|
т |
|
|
а |
|
|
к |
3 = |
Основание(Подложка) |
т |
||
а |
ставивший(Поставл |
|
енный) на якорь к
Иллюстрация монолитных, micromachined магнитное реле.
Основанию(Подлож
Приспособленный от Rogge, и другие. (1995).
ке)
Магнитная привлекательность, |
|
используемая для электронных |
|
заявлений(применений) переключения. |
38 |
Thermo-пневматическое устройство приведения в действие: микропоршень
poiystn con Имею
|
|
1 |
|
|
Многокремниевое |
|
Сгибание |
|
Як |
|
|
|
Основание(Подло |
|
|
|
орь |
|
|
|
|
Движение |
|
Взаимная(Грубая) Секция в Поршне
Упрощенная иллюстрация пузыря - (поверхностная напряженность) управляемый привод головок. После Sniegowsid (1993). Пузыри водного пара тепло сформированы многокремниевым нагревателем и расширяются в пределах впадины поршня, подталкивая(выдвигая) поршень направленный наружу. Когда нагревание остановлено, пузырь в крахе впадины поршня, позволяя поршень возвратиться.
Расширение поршня причин, чтобы расшириться. Структура сгибания пододвигает обратно поршень.
39
Резонаторы: Приведение в действие для ощущения и электронных заявлений(применений)
Резонансная частота консоли. |
Резонансная частота луча. |
заполниться
м., c = 4-694] 3,
Здесь E - модуль Юнга, p - плотность, технические условия(техническое испытание) и Üt-are соответственно толщина и длина консоли
r\ ^ b =2.3 65 7} 2j = 3.92 7 t] 3tb
=
5.49
8....
(a)
(b)
(c)
40
Резонаторы: резонатор ФЕДЕРАЛЬНОГО АКЦИЗНОГО СБОРА
Иллюстрация резонансного транзистора полевого эффекта ворот. Приспособленный от Nathanson, и в. (1967).
Раннее устройство резонатора, используемое для генераторов.
41
Резонаторы: Емкостный резонатор
Приостан |
Электрос |
овка |
татические Пальцы |
|
Гребенки x |
|
|
Уст |
Напряжение |
|
|
|
ано |
Уклона(Предубежд |
|
|
|
вле |
ения) |
|
|
|
нн |
Основание(Земля |
|
O |
|
-tjto1--------------v*w |
|
|
" |
ые |
)" Самолет |
|
|
- |
Яко |
в Том же самом |
||
|
рн |
Потенциале |
-oo |
|
|
ые |
как |
|
|
|
T |
Пу |
Шаттл(Челнок) |
|
|
нкт |
|
|
|
|
ы(Т |
|
|
|
Иллюстрация с двумя портами, сворачивать-луч боковой резонатор
очк
двигателя гребенки. Приспособленный от Nguyen (1995), с RLC
и)
эквивалентным кругооборотом.
Емкостное устройство, используемое для электронного фильтра.
42
Резонаторы: Емкостный резонатор
[Wang, Yu, Nguyen 1998]
92.36 92.2B Частота [МГЦ]
Емкостное устройство, используемое для электронного фильтра.
43
Резонаторы: Больше прибывать...
Вибрирующее Кольцо
Поддержка Спрингс
Начальный Образец Вибрации
|
|
|
Представление 32 |
|
|
Размеры: |
Двигатель, Pickoff, |
|
|
Контроль(Управлен |
|
|
|
Диаметр - Толщина |
|
|
|
ие) |
|
|
|
на 1 мм = 19 |
|
|
|
Электроды |
|
|
|
Ширин = 5 ^m |
|
|
|
||
|
|
|
|
Образец Вибрации после |
Промежутков |
|
|
Электрода = 7] im |
|
||
Вращения |
|
||
|
|
||
Резонаторы, используемые экстенсивно в гироскопах.
44