Рівні моделювання МЕМС

-Рівень технології: Описує кроки виготовлення та їх вплив на форму пристрою і параметри матеріалів.

-Фізичний рівень: Описує фізичну модель пристрою.

-Рівень пристрою: Описує макро-модель або низько-рівневу модель відповідно до фізичної моделі.

-Системний рівень: Описує поведінку системи відповідно до механічної або електричної моделі поведінки,що може бути змодельована в Simulink і т. п.