Визначення САПР* для МЕМС
САПР* для МЕМС - це набір взаємодіючих програм, що дає змогу інженеру змоделювати процес виробництва, функції окремих складових пристрою і поведінку повністю готової МЕМС.
САПР – Системи Автоматизованого Проектування
Комерційне програмне забезпечення
Coventor Suite/MEMCAD by Coventor Inc. http://www.coventor.com
Intellisuite by Intellisense Inc.
http://www.Intellisense.com
MEMScap from MEMScap Inc.
http://www.memscap.com
SOLIDIS from ISE Inc.
http://www.ise.com
Можливості САПР
• |
Вибір технології виготовлення; |
• |
- |
Фотолітографія і інші методи |
|
|
- |
|
створення топології; |
• |
-; |
Властивості матеріалів; |
|
• |
; |
- |
|
• |
Розбиття цілої МЕМС на пристрої; |
Моделювання роботи пристроїв; |
|
• |
Моделювання МЕМС в цілому на |
|
системному рівні. |
Вибір технології виготовлення;
•Вибір структури і послідовності процесу виготовлення;
•Покрокове моделювання процесу виготовлення (Може бути виконаний за допомогою: CADENCE, http://www.cadence.com, або MEMSCAP
•Відношення кожного пункту моделювання до відповідного фотолітографічного шару;
•Оптимізація технологічних операцій і процесу виготовлення в цілому.
Топологія
Мета: Розробити реальну топологію модельованого пристрою
Реалістичне представлення 2D та 3D (Може бути реалізованим за допомогою:)
•IntelliCAD від Intellisense Inc.
•ACES від University of Illinois at Urbana
•MenBuilder від Coventor Inc.
Властивості матеріалів
•Опис матеріалів, які повинні бути використанні;
•Пошарове розподілення;
•Покращення властивостей матеріалів.
Розбиття цілої МЕМС на пристрої
•Евристичні методи
•Методи на основі нейронних мереж
Моделювання окремих пристроїв
•Розрахунок параметрів МЕМС пристроїв використовуючи числові і в деяких випадках аналітичні методи;
•Моделювання явищ і процесів на основі яких працює МЕМС (електро-, термо- механічні, і т. п.);
•Представлення моделей поведінки, моделювання на системному рівні.
Моделювання на системному рівні
• Перетворення і зведення результатів моделювання до узагальненої системи,
•вибір моделі для системного рівня;
• Створення поведінки системи з врахуванням технології, матеріалів, пристроїв, фізичних явищ в пристроях і інше
САПР для керування МЕМС
• Розробка автоматизованих алгоритмічних методів для моделювання та керування групами МЕМС• пристроїв;
•Розробка мікро-маніпулюючих комірок для розкладання МЕМС на іерархічні частини.