Мікроелектромеханічні Системи)- розширення технології виготовлення інтегральних схем. Технологія виготовлення плоских і об’ємних пристроїв спільно з технологією виготовлення великих інтегральних схем.

.MST (Micro Systems Technology-Мікросистемна техніка)- Гібрид MEMS і іншої технології мікромеханічної обробки, подібної до MEMS, але з дещо більшими можливостями

.Nanotechnology(Nano-механізми) дія досягається через беспосередний контроль (керування) на рівні атомів і молекул.

.NEMS (NanoElectroMechanical Systems – наноелектромеханічні системи) –системи виготовлені на основі нанотехнології

Чому орієнтуємось на MEMS?

Економічні переваги:

•Паралельне виготовлення для масового виробництва

•інтеграція рівня групового виробництва

•інтеграція системного рівня

•технологія виробництва ІС Технічні переваги:

•виробнича точність

•мала вага и невеликі розміри

•нові можливості повязані з груповою технологією

•переваги матеріалів

Порівняння розмірів

Що таке MEMS ?

Малі:

• електромеханічні структури які містять компоненти, що вимірюються у мікрометрах

• можуть легко інтегруватися у системи надвеликої складності

Призначення MEMS ?

Контролювати і вливати на зовнішнє довкілля !!!

•контроль: прискорення, тиску, швидкості потоку, температури тощо;

•вплив: електричний, магнітний, оптичний, температурний тощо;

•швидкість 250,000 RPM, розмірність >1 mm сила >1 mN

Електростатичний актюатор

Сенсор тиску