Електростатичні актюатори

Рух є малим (винятком є гучномовці)

Напруга є великою

Сила є малою

Зазвичай, точні та лінійні

Дуже поширені в MEMS

Магнітні сенсори та актюатори

Магнітні сенсори та актюатори працюють за законами та ефектами магнітного поля.

Густина магнітного потоку також називається магнітною індуктивністю. Тому ці сенсори називають індуктивними сенсорами.

Ми розглянемо індуктивність, магнітні кола та

магнітні сили.

Магнетизм - теорія

Розглянемо постійний магніт.

Він діє на інший магніт в просторі.

Можна сказати, що навколо магніту існує поле, через яке він взаємодіє.

Це силове поле є результатом магнітного поля.

Це ж можна отримати, проводячи струм через

котушку

Якщо два поля є однаковими, їхні джерела живлення

(напруга, що створює магнітні поля) є однаковими.

Еквівалентність між постійним магнітом та котушкою

Магнетизм - теорія

Магніт притягує або відштовхує інших магніт – це дає нам першу очевидну взаємодію магнітних полів, воно також діє на залізо.

Воно не діє на мідь.

Висновок: є різні типи матеріалів відносно їх магнітних властивостей.

Магнітні властивості залежать від проникності

матеріалів - [Гн/м]

Магнетизм - теорія

Сила магнітно потоку зазвичай подається як густина магнітного потоку В [Тесла]

Інтенсивність магнітного поля H [А/м].

B = 0 rH

Магнетизм - теорія

0=4 x10 [Гн/м] – проникність вакууму

r – відносна проникність,

r визначається як відношення між

проникністю поля та вакууму

Кожен матеріал має певну діелектричну проникність.

Магнетизм - теорія

Матеріали:

Діамагнетики, r < 1

Парамагнетики r > 1

Феромагнетики r >> 1 (залізо подібні)

Останні є найбільш корисними при роботі з магнітними полями.

Є інші типи матеріалів (ферити, магнітний порошок, магнітна рідина, магнітне скло)

Проникність діамагнетиків та парамагнетиків

Проникність феромагнетиків