ОАПСОС 1-3 лр+Практична / Завдання лаб 1-3
.pdfВхідні дані До Лабораторних робіт №№ 1-3
по курсу «ОАП СОС»
В технологічному реакторі проводиться операція вирощування епітакісйної
плівки кремнію |
із газової |
фази для формування мікроелектронних пристроїв. |
В реактор, де |
розміщені |
нагріті до певної температури (Т) кремневі |
пластини (Si), подаються такі газоподібні реагенти: SiCl4 , H2 , Ph3 . Під дією високої темпратури в епітаксійному реакторі відбуваються наступні хімічні реакції, в результаті яких утворюється легований епітаксійний шар кремнію (Si-P):
SiCl4 + 2H2 => Si (тв.) + 4HCl .
2PH3 +H2 + Si(тв.) => Si(тв.) + 2P + 7H2 .
При проведенні цієї операції, вимірювались наступні технологічні параметри процесу:
1.Температура процесу – Т {Co} ;
2.Швидкість подачі фосфіну (PH3) – VPH3 {л/год} ;
3.Швидкість подачі водню (H2) – VH2 {л/год} ;
4.Розхід легуючої суміші (PH3+H2) – VPH3+H2 {л/год} ;
5.Розхід тетра-хлорид кремнію (SiCl4) – VSiCl4 {л/год} .
Після того, як було отримано легований епітаксійний шар, в ньому контролювались такі параметри, як:
1.Швидкість росту кремнієвого шару – R {мкм/хв} ;
2.Поверхнева концентрація легуючого фосфору – No {см-3 х 1014}.
НЕОБХІДНО:
1.Провести аналіз отриманих статистичних даних – ЛР № 1.
2.Побудувати модель процесу на основі експериментальних даних – ЛР № 2.
3.Провести ідентифікацію і побудувати модель для управління системою – ЛР № 3.
ВХІДНІ МАСИВИ Х / Y.
№ |
T |
PH3 |
H2 |
PH3+H2 |
SiCl4 |
Vp |
RoS |
No |
|
(град С) |
(л/год) |
(л/год) |
(л/год) |
(л/год) |
мкм/хв |
Ом/кв. |
(см-3)*Е14 |
1. |
0.1269E04 |
0.1000E01 |
0.4000E01 |
0.1600E01 |
0.1006E01 |
0.6120E00 |
0.6150E01 |
0.6670E01 |
2. |
0.1269E04 |
0.1000E01 |
0.4000E01 |
0.2000E01 |
0.1600E01 |
0.6760E00 |
0.4100E01 |
0.1060E02 |
3. |
0.1250E04 |
0.1600E01 |
0.3000E01 |
0.1800E01 |
0.1500E01 |
0.4667E00 |
0.4200E01 |
0.1040E02 |
4. |
0.1269E04 |
0.1200E01 |
0.3000E01 |
0.8000E00 |
0.2000E01 |
0.6633E00 |
0.6400E01 |
0.6960E01 |
5. |
0.1269E04 |
0.1200E01 |
0.3000E01 |
0.1000E01 |
0.2000E01 |
0.6000E00 |
0.4100E01 |
0.1080E02 |
6. |
0.1269E04 |
0.1200E01 |
0.3000E01 |
0.1000E01 |
0.2200E01 |
0.6636E00 |
0.6100E01 |
0.6660E01 |
7. |
0.1269E04 |
0.1200E01 |
0.3000E01 |
0.1400E01 |
0.2000E01 |
0.6600E00 |
0.6700E01 |
0.7700E01 |
8. |
0.1259E04 |
0.1600E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1500E01 |
0.6000E00 |
0.4200E01 |
0.1040E02 |
9. |
0.1259E04 |
0.1600E01 |
0.3000E01 |
0.2000E01 |
0.1400E01 |
0.6611E00 |
0.3000E01 |
0.1460E02 |
10. |
0.1259E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.2600E01 |
0.1000E01 |
0.5716E00 |
0.3450E01 |
0.1260E02 |
11. |
0.1269E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.2600E01 |
0.2200E01 |
0.5650E00 |
0.3900E01 |
0.1120E02 |
12. |
0.1261E04 |
0.1000E01 |
0.3000E01 |
0.1000E01 |
0.2000E01 |
0.5340E00 |
0.5400E01 |
0.8100E01 |
13. |
0.1260E04 |
0.1000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.2200E01 |
0.6600E00 |
0.4100E01 |
0.1060E02 |
14. |
0.1261E04 |
0.1000E01 |
0.3200E01 |
0.2100E01 |
0.1600E01 |
0.6926E00 |
0.4000E01 |
0.1096E02 |
15. |
0.1261E04 |
0.1000E01 |
0.4000E01 |
0.1600E01 |
0.1600E01 |
0.6640E00 |
0.4200E01 |
0.1040E02 |
16. |
0.1261E04 |
0.1200E01 |
0.3000E01 |
0.1400E01 |
0.2000E01 |
0.6213E00 |
0.6460E01 |
0.6070E01 |
17. |
0.1260E04 |
0.1400E01 |
0.3000E01 |
0.1200E01 |
0.2000E01 |
0.6492E00 |
0.3200E01 |
0.1390E02 |
18. |
0.1261E04 |
0.1400E01 |
0.3800E01 |
0.1600E01 |
0.2000E01 |
0.6000E00 |
0.4000E01 |
0.1096E02 |
19. |
0.1261E04 |
0.1400E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.2200E01 |
0.6600E00 |
0.3200E01 |
0.1390E02 |
20. |
0.1261E04 |
0.1600E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.2200E01 |
0.6640E00 |
0.3960E01 |
0.1110E02 |
21. |
0.1261E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.2600E01 |
0.2200E01 |
0.6720E00 |
0.2600E01 |
0.1710E02 |
22. |
0.1261E04 |
0.4500E01 |
0.3000E01 |
0.3000E01 |
0.2200E01 |
0.6067E00 |
0.1300E01 |
0.3480E02 |
23. |
0.1260E04 |
0.6000E01 |
0.3000E01 |
0.3200E01 |
0.2000E01 |
0.7429E00 |
0.1490E01 |
0.3010E02 |
24. |
0.1261E04 |
0.6000E01 |
0.3000E01 |
0.3400E01 |
0.2000E01 |
0.7726E00 |
0.1600E01 |
0.2760E02 |
25. |
0.1260E04 |
0.6000E01 |
0.3000E01 |
0.3600E01 |
0.2000E01 |
0.6176E00 |
0.1360E01 |
0.3340E02 |
26. |
0.1261E04 |
0.6000E01 |
0.3000E01 |
0.3700E01 |
0.2000E01 |
0.6714E00 |
0.1410E01 |
0.3190E02 |
27. |
0.1261E03 |
0.1000E01 |
0.4000E01 |
0.1600E01 |
0.1600E01 |
0.6633E00 |
0.4300E01 |
0.1016E02 |
28. |
0.1261E04 |
0.1200E01 |
0.3000E01 |
0.1200E01 |
0.2000E01 |
0.6660E00 |
0.4000E01 |
0.1096E02 |
29. |
0.1261E04 |
0.1400E01 |
0.3000E01 |
0.1400E01 |
002000E01 |
0.6400E00 |
0.3400E01 |
0.1290E02 |
30. |
0.1261E04 |
0.1600E01 |
0.3000E01 |
0.1400E01 |
0.2000E01 |
0.6660E00 |
0.2100E01 |
0.2130E02 |
31. |
0.1262E04 |
0.1000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.2200E01 |
0.6672E00 |
0.6300E01 |
0.6300E01 |
32. |
0.1262E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.4000E01 |
0.7304E00 |
0.6700E01 |
0.7700E01 |
33. |
0.1262E04 |
0.2000E01 |
0.Э000E01 |
0.2600E01 |
0.1400E01 |
0.7130E00 |
0.4000E01 |
0.1096E02 |
34. |
0.1263E04 |
0.1000E01 |
0.3000E01 |
0.1000E01 |
0.1600E01 |
0.6600E00 |
0.4400E01 |
0.9960E01 |
35. |
0.1263E04 |
0.1000E01 |
0.3000E01 |
0.1400E01 |
0.1600E01 |
0.6367E00 |
0.3400E01 |
0.1290E02 |
36. |
0.1263E04 |
0.1000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
012200E01 |
0.5840E00 |
0.4200E01 |
0.1040E02 |
37. |
0.1263E04 |
0.1200E01 |
0.3000E01 |
0.1000E01 |
0.2200E01 |
0.6416E00 |
0.4800E01 |
0.9280E01 |
38. |
0.1265E04 |
0.1400E01 |
0.3000E01 |
0.1000E01 |
0.1600E01 |
0.6264E00 |
0.6100E01 |
0.6700E01 |
39. |
0.1263E04 |
0.1400E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1600E01 |
0.6646E00 |
0.4600E01 |
0.9760E01 |
40. |
0.1263E04 |
0.1400E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.2000E01 |
0.4960E00 |
0.4200E01 |
0.1040E02 |
41. |
0.1263E04 |
0.1600E01 |
0.3000E01 |
0.1400E01 |
012000E01 |
0.6600E00 |
0.3400E01 |
0.1290E02 |
42. |
0.1263E04 |
0.1600E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.2000E01 |
0.7617E00 |
0.3460E01 |
0.1260E02 |
43. |
0.1263E04 |
0.1600E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.2600E01 |
0.6600E00 |
0.3660E01 |
0.1240E02 |
44. |
0.1263E04 |
0.1600E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1600E01 |
0.6440E00 |
0.4300E01 |
0.1016E02 |
45. |
0.1263E04 |
0.1600E01 |
0.3000E01 |
0.1700E01 |
0.2200E01 |
0.6600E00 |
0.4300E01 |
0.1016E02 |
46. |
0.1263E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.1400E01 |
0.1600E01 |
0.7126E00 |
0.6700E01 |
0.7700E01 |
47. |
0.1263E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1000E01 |
0.6367E00 |
0.4600E01 |
0.9760E01 |
48. |
0.1263E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1600E01 |
0.6669E00 |
0.4600E01 |
0.9260E01 |
49. |
0.1263E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.2000E01 |
0.1000E01 |
0.4621E00 |
0.3700E01 |
0.1160E02 |
50. |
0.1263E04 |
0.2000E01 |
0|3000E01 |
0.2200E01 |
0.1200E01 |
0.7652E00 |
0.3600E01 |
0.1230E02 |
51. |
0.1263E04 |
0.2000E01 |
0j3000E01 |
0.2200E01 |
0.1400E01 |
0.5500E00 |
0.4700E01 |
0.9500E01 |
52. |
0.1263E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.2200E01 |
0.1400E01 |
0.7809E00 |
0.4500E01 |
0.9780E01 |
53. |
0.1263E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.2600E01 |
0.1000E01 |
0.5750E00 |
0.3800E01 |
0.1150E02 |
54. |
0.1263E04 |
0.4000E01 |
013000E01 |
0.3200E01 |
0.2200E01 |
0.4896E00 |
0.1360E01 |
0.3330E02 |
55. |
0.1263E04 |
0.6000E01 |
0.3000E01 |
0.2600E01 |
0.1800E01 |
0.6611E00 |
0.2100E01 |
0.2130E02 |
56. |
0.1263E04 |
0.6000E01 |
0.3000E01 |
0.2600E01 |
0.2300E01 |
0.6100E00 |
0.1900E01 |
0.2360E02 |
57. |
0.1263E04 |
0.6000E01 |
0.3000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.6339E00 |
0.1900E01 |
0.2360E02 |
58. |
0.1263E04 |
0.6000E01 |
0.3000E01 |
0.3200E01 |
0.2000E01 |
0.6266E00 |
0.1166E01 |
0.3660E02 |
59. |
0.1263E04 |
0.6000E01 |
0.3000E01 |
0.6600E01 |
0.2000E01 |
0.7663E00 |
0.1300E01 |
0.3460E02 |
60. |
0.1263E04 |
0.6200E01 |
0.3000E01 |
013000E01 |
0.1600E01 |
0.6692E00 |
0.1420E01 |
0.3370E02 |
61. |
0.1263E04 |
0.6200E01 |
0.3000E01 |
0.3200E01 |
0.1600E01 |
0.6643E00 |
0.1360E01 |
0.3160E02 |
62. |
0.1264E04 |
0.1000E01 |
0.Э000E01 |
0.1200E01 |
0.2000E01 |
0.6646E00 |
0.6700E01 |
0.6600E01 |
63. |
0.1264E04 |
0.1000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1500E01 |
0.6750E00 |
0.4660E01 |
0.9000E01 |
64. |
0.1264E04 |
0.1200E01 |
0.3000E01 |
0.6000E00 |
0.2000E01 |
0.6300E00 |
0.6460E01 |
0.6000E01 |
65. |
0.1264E04 |
0.1200E01 |
0.3000E01 |
0.1000E01 |
0.2000E01 |
0.6692E00 |
0.4360E04 |
0.1010E02 |
66. |
0.1264E04 |
0.1400E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1600E01 |
0.6733E00 |
0.4100E01 |
0.1060E02 |
67. |
0.1264E04 |
0.1400E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.2200E01 |
0.6600E00 |
0.3600E01 |
0.1260E02 |
68. |
0.1264E04 |
0.1600E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1600E01 |
0.6620E00 |
0.4900E01 |
0.9060E01 |
69. |
0.1264E04 |
0.1600E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.2608E01 |
0.6960E00 |
0.3000E01 |
0.1460E02 |
70. |
0.1264E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.1000E01 |
0.1300E01 |
0.6460E00 |
0.6200E01 |
0.8670E01 |
71. |
0.1264E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.1200E01 |
0.1600E01 |
0.6466E00 |
0.6660E01 |
0.6700E01 |
72. |
0.1264E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1600E01 |
0.6666E00 |
0.2700E01 |
0.1660E02 |
73. |
0.1264E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.2200E01 |
0.1200E01 |
0.7476E00 |
0.4200E01 |
0.1040E02 |
74. |
0.1264E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.2200E01 |
0.1400E01 |
0.7324E00 |
0.6200E01 |
0.6670E01 |
75. |
0.1264E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.2300E01 |
0.1600E01 |
0.6662E00 |
0.3300E01 |
0.1336E02 |
76. |
0.1264E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.2400E01 |
0.1600E01 |
0.7043E00 |
0.3600E01 |
0.1160E02 |
77. |
0.1264E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.2600E01 |
0.1600E01 |
0.6670E00 |
0.3600E01 |
0.1160E02 |
78. |
0.1264E04 |
0.2200E01 |
0.3000E01 |
0.2300E01 |
0.1600E01 |
0.6662E00 |
0.3300E01 |
0.1336E02 |
79. |
0.1264E04 |
0.4000E01 |
0.4000E01 |
0.3000E01 |
0.2200E01 |
0.6941E00 |
0.1200E01 |
0.3660E02 |
80. |
0.1264E04 |
0.4000E01 |
0.3000E01 |
0.3200E01 |
0.2200E01 |
0.5515E00 |
0.1262E01 |
0.3860E02 |
81. |
0.1264E04 |
0.5200E01 |
0.3000E01 |
0.5000E01 |
0.1900E01 |
0.6215E00 |
0.1560E01 |
0.3370E02 |
82. |
0.1266E04 |
0.1000E01 |
0.3000E01 |
0.1400E01 |
0.2000E01 |
0.6886E00 |
0.6000E01 |
0.6900E01 |
83. |
0.1266E04 |
0.1000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.2000E01 |
0.7120E00 |
0.3200E01 |
0.1390E02 |
84. |
0.1266E04 |
0.1000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1600E01 |
0.6074E00 |
0.4360E01 |
0.1002E02 |
85. |
0.1266E04 |
0.1600E01 |
0.3000E01 |
0.1200E01 |
0.1500E01 |
0.6620E00 |
0.4430E01 |
0.9600E01 |
86. |
0.1266E04 |
0.1600E01 |
0.3000E01 |
0.1400E01 |
0.1600E01 |
0.6429E00 |
0.3400E01 |
0.1290E02 |
87. |
0.1266E04 |
0.1600E01 |
0.3000E01 |
011600E01 |
0.1600E01 |
0.6400E00 |
0.3400E01 |
0.1290E02 |
88. |
0.1266E04 |
0.1600E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1500E01 |
0.6967E00 |
0.3900E01 |
0.1120E02 |
89. |
0.1266E04 |
0.1600E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1600E01 |
0.6439E00 |
0.3660E01 |
0.1200E02 |
90. |
0.1266E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.1400E01 |
0.1300E01 |
0.6577E00 |
0.6600E01 |
0.6360E01 |
91. |
0.1266E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1400E01 |
0.7147E00 |
0.4377E01 |
0.1006E02 |
92. |
0.1266E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1500E01 |
0.7333E00 |
0.4560E01 |
0.9650E01 |
93. |
0.1266E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1300E01 |
0.7600E00 |
0.6900E01 |
0.7470E01 |
94. |
0.1266E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.2200E01 |
0.1200E01 |
0.7466E00 |
0.4600E01 |
0.9260E01 |
95. |
0.1266E04 |
0.2000E01 |
0.5000E01 |
0.2400E01 |
0.1000E01 |
0.6034E00 |
0.6600E01 |
0.7990E01 |
96. |
0.1266E04 |
0.2000E01 |
0.5000E01 |
0.2600E01 |
0.1600E01 |
0.1960E01 |
0.4670E01 |
0.9400E01 |
97. |
0.1266E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.2600E01 |
0.1000E01 |
0.6929E00 |
0.8600E01 |
0.7900E01 |
98. |
0.1266E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.5200E01 |
0.1300E01 |
0.6600E00 |
0.4700E01 |
0.9600E01 |
99. |
0.1266E04 |
0.6000E01 |
0.5000E01 |
0.5400E01 |
0.1008E01 |
0.7603E00 |
0.1146E01 |
0.3970E02 |
100. |
0.1269E04 |
0.1600E01 |
0.5000E01 |
8.1800E01 |
0.1600E01 |
0.6143E00 |
0.4000E01 |
0.1096E02 |
101. |
0.1269E04 |
0.1200E01 |
0.3000E01 |
0.1000E01 |
0.1460E01 |
0.1000E00 |
0.2320E01 |
0.1920E02 |
102. |
0.1269E04 |
0.1200E01 |
0.3000E01 |
0.1080E01 |
0.1871E01 |
0.1000E00 |
0.2660E01 |
0.1760E02 |
103. |
0.1269E04 |
0.1200E01 |
0.3000E01 |
0.1000E01 |
0.6780E01 |
0.2000E00 |
0.2740E01 |
0.1630E02 |
104. |
0.1269E04 |
0.1200E01 |
0.3000E01 |
0.1000E01 |
0.1770E01 |
0.3000E00 |
0.2690E01 |
0.1640E02 |
105. |
0.1269E04 |
0.1200E01 |
0.3000E01 |
0.1000E01 |
0.1189E01 |
0.4000E00 |
0.3050E01 |
0.1440E02 |
106. |
0.1259E04 |
0.1200E01 |
0.3000E01 |
0.1000E01 |
0.1980E01 |
0.6000E00 |
0.3300E01 |
0.1330E02 |
107. |
0.1269E04 |
0.1200E01 |
0.3000E01 |
0.1000E01 |
0.2100E01 |
0.6000E00 |
0.3500E01 |
0.1250E02 |
108. |
0.1259E04 |
0.1200E01 |
0.3000E01 |
0.1000E01 |
0.2205E01 |
0.7000E00 |
0.3760E01 |
0.1160E02 |
109. |
0.1259E04 |
0.1200E01 |
0.3000E01 |
0.1000E01 |
0.2510E01 |
0.8000E00 |
0.4000E01 |
0.1100E02 |
110. |
0.1269E04 |
0.1200E01 |
0.3000E01 |
0.1000E01 |
0.2420E01 |
0.9000E00 |
0.4350E01 |
0.1040E02 |
111. |
0.1269E04 |
0.1200E01 |
0.3000E01 |
0.1000E01 |
0.3040E01 |
0.1400E01 |
0.8960E01 |
0.7400E01 |
112. |
0.1269E04 |
0.1200E01 |
0.3000E01 |
0.1000E01 |
0.3626E01 |
0.1600E01 |
0.7660E01 |
0.6620E01 |
113. |
0.1269E04 |
0.1200E01 |
0.3000E01 |
0.1100E01 |
0.4140E01 |
0.2000E01 |
0.9900E01 |
0.4600E01 |
114. |
0.1269E04 |
0.1200E01 |
0.3000E01 |
0.1000E01 |
0.4726E01 |
0.2600E01 |
0.1320E02 |
0.3400E01 |
115. |
0.1269E04 |
0.1200E01 |
0.3000E01 |
0.1000E01 |
0.6696E01 |
0.3000E01 |
0.2630E02 |
0.1740E01 |
116. |
0.1269E04 |
0.1200E01 |
0.3000E01 |
0.1000E01 |
0.6838E01 |
0.3600E01 |
0.6260E02 |
0.8900E00 |
117. |
0.1269E04 |
0.1200E01 |
0.3000E01 |
0.1000E01 |
0.1114E02 |
0.4000E01 |
0.1110E03 |
0.4100E00 |
118. |
0.1269E04 |
0.1200E01 |
0.3000E01 |
0.1000E01 |
0.1231E02 |
0.4200E01 |
0.1378E03 |
0.3130E00 |
119. |
0.1269E04 |
0.1200E01 |
0.3000E01 |
0.1000E01 |
001400E02 |
0.4360E01 |
0.1970E03 |
0.2220E00 |
120. |
0.1269E04 |
0.1200E01 |
0.3000E01 |
0.1000E01 |
0.1690E02 |
0.4400E01 |
0.2630E03 |
0.1600E00 |
121. |
0.1269E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.2260E01 |
0.1400E01 |
0.6620E01 |
0.7700E01 |
122. |
0.1269E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.2709E01 |
0.1600E01 |
0.7700E01 |
0.6780E01 |
123. |
0.1269E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.3646E01 |
0.2000E01 |
0.1316E02 |
0.3400E01 |
124. |
0.1269E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.4721E01 |
0.2600E01 |
0.2260E02 |
0.2100E01 |
125. |
0.1269E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.6164E01 |
0.3000E01 |
0.4060E02 |
0.1120E01 |
126. |
0.1269E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.1680E01 |
0.7921E01 |
0.3600E01 |
0.6000E02 |
0.6760E00 |
127. |
0.1269E04 |
0.2000E01 |
013000E01 |
0.1600E01 |
0.1041E02 |
0.4000E01 |
0.1600E03 |
0.2600E00 |
128. |
0.1269E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1220E02 |
0.4300E01 |
0.3060E03 |
0.1400E00 |
129. |
0.1269E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1620E02 |
0.4400E01 |
0.6990E03 |
0.7000E01 |
130. |
0.1269E04 |
0.2000E01 |
013000E01 |
0.1600E01 |
0.1670E02 |
0.4360E01 |
0.9010E01 |
0.2006E02 |
131. |
0.1269E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1670E02 |
0.4200E01 |
0.1360E04 |
0.3160E01 |
132. |
0.1269E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.2066E02 |
0.4000E01 |
0.2200E04 |
0.196E-01 |
133. |
0.1269E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.2726E02 |
0.3000E01 |
0.7660E04 |
0.640E-02 |
134. |
0.1261E04 |
0.1400E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.9792E01 |
0.3600E01 |
0.4760E02 |
0.9700E00 |
135. |
0.1261E04 |
0.1400E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1240E02 |
0.4000E01 |
0.9760E02 |
0.4760E00 |
136. |
0.1261E04 |
0.1400E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1400E02 |
0.4200E01 |
0.1606E03 |
0.2810E00 |
137. |
0.1261E04 |
0.1400E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1626E02 |
0.4400E01 |
0.2300E03 |
0.1910E00 |
138. |
0.1261E04 |
0.1400E01 |
043000E01 |
0.1600E01 |
0.1660E02 |
0.4460E01 |
0.3400E03 |
0.1270E00 |
139. |
0.1261E04 |
0.1400E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.2246D.2 |
0.4300E01 |
0.6660E03 |
0.640E-01 |
140. |
0.1261E04 |
0.1400E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.2660E02 |
0.4000E01 |
0.1370E04 |
0.312E-01 |
141. |
0.1261E04 |
0.1400E01 |
013000E01 |
0.1600E01 |
0.3460E02 |
0.3000E01 |
0.6100E04 |
0.991E-02 |
142. |
0.1261E04 |
0.1400E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.4026E01 |
0.2000E01 |
0.1220E06 |
0.370E-02 |
143. |
0.1263E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.2200E01 |
0.6660E00 |
0.100E-03 |
0.1690E01 |
0.2620E02 |
144. |
0.1263E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.2200E01 |
0.9060E00 |
0.3000E00 |
0.2200E01 |
0.2070E02 |
145. |
0.1263E04 |
0.6000E01 |
0.3000E01 |
0.2600E01 |
016426E01 |
0.2300E01 |
0.1940E02 |
0.2360E01 |
146. |
0.1263E04 |
0.6000E01 |
0.3000E01 |
0.2600E01 |
0.9429E01 |
0.3400E01 |
0.6420E02 |
0.7400E00 |
147. |
0.1263E04 |
0.6000E01 |
0.3000E01 |
0.2600E01 |
0.1140E02 |
0.4000E01 |
0.1200E03 |
0.3600E00 |
148. |
0.1263E04 |
0.5000E01 |
0.3000E01 |
0.2600E01 |
0.1423E02 |
0.4600E01 |
0.3260E03 |
0.1300E00 |
149. |
0.1263E04 |
0.6000E01 |
0.3000E01 |
0.2600E01 |
0.1636E02 |
0.4660E01 |
0.6760E03 |
0.626E-01 |
150. |
0.1263E04 |
0.6000E01 |
0.3000E01 |
0.2600E01 |
0.2160E02 |
0.4600E01 |
0.2690E04 |
0.166E-01 |
151. |
0.1263E04 |
0.6000E01 |
0.3000E01 |
0.2600E01 |
0.2430E02 |
0.4300E01 |
0.7000E04 |
0.661E-02 |
152. |
0.1264E04 |
0.1400E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1100E01 |
0.100E-03 |
0.1600E01 |
0.2300E02 |
153. |
0.1264E04 |
0.1400E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1220E02 |
0.4300E01 |
0.2200E03 |
0.1960E00 |
154. |
0.1264E04 |
0.1400E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1607E02 |
0.4600E01 |
0.5460E03 |
0.760E-01 |
155. |
0.1264E04 |
0.1400E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.2016E02 |
0.4750E01 |
0.1760E04 |
0.245E-01 |
156. |
0.1264E04 |
0.1400E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.2190E02 |
0.4700E01 |
0.2220E04 |
0.194E-01 |
157. |
0.1264E04 |
0.1400E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.2700E02 |
0.4200E01 |
0.4900E04 |
0.660E-02 |
158. |
0.1264E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.2200E01 |
0.6660E00 |
0.100E-03 |
0.1660E01 |
0.2610E02 |
159. |
0.1264E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.2200E01 |
0.7400E00 |
0.1000E00 |
0.1600E01 |
0.2300E02 |
160. |
0.1264E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.2200E01 |
0.6400E00 |
0.2000E00 |
0.2296E01 |
0.1970E02 |
161. |
0.1264E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.2200E01 |
0.1030E01 |
0.4000E00 |
0.2900E01 |
0.1640E02 |
162. |
0.1264E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.2200E01 |
0.1126E01 |
0.5000E00 |
0.3330E01 |
0.1320E02 |
163. |
0.1264E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.2200E01 |
0.1226E01 |
0.6000E00 |
0.3700E01 |
0.1190E02 |
164. |
0.1266E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1417E02 |
0.4620E01 |
0.1360E04 |
0.316E-01 |
165. |
0.1266E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1670E02 |
0.4600E01 |
0.2460E04 |
0.173E-01 |
166. |
0.1270E04 |
0.1600E01 |
0.Э000E01 |
0.1600E01 |
0.6600E00 |
0.2000E00 |
0.1970E01 |
0.2300E02 |
167. |
0.1270E04 |
0.1600E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1080E01 |
0.3000E00 |
0.2406E01 |
0.1660E02 |
168. |
0.1270E04 |
0.1600E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1320E01 |
0.4000E00 |
0.3010E01 |
0.1466E02 |
169. |
0.1270E04 |
011600E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1660E01 |
0.6000E00 |
0.6090E01 |
0.6600E01 |
170. |
0.1270E04 |
0.1600E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1220E01 |
0.7000E00 |
0.6660E01 |
0.6600E01 |
171. |
0.1270E04 |
0.1600E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.2400E01 |
0.6000E00 |
0.7660E01 |
0.6660E01 |
172. |
0.1235E04 |
0.2200E01 |
0.3000E01 |
0.2000E01 |
0.1400E01 |
0.1000E01 |
0.2590E01 |
0.1660E02 |
173. |
0.1236E04 |
0.2200E01 |
0.5000E01 |
0.2000E01 |
0.1960E01 |
0.1200E01 |
0.3660E01 |
0.1200E02 |
174. |
0.1236E04 |
0.2200E01 |
0.3000E01 |
0.2000E01 |
0.2600E01 |
0.1400E01 |
0.6610E01 |
0.6760E01 |
175. |
0.1236E04 |
0.2200E01 |
0.3000E01 |
0.2000E01 |
0.3600E01 |
0.1600E01 |
0.1010E02 |
0.4300E01 |
176. |
0.1236E04 |
0.2200E01 |
0.3000E01 |
0.2000E01 |
0.4400E01 |
0.1600E01 |
0.1600E02 |
0.3020E01 |
177. |
0.1236E04 |
0.2200E01 |
0.3000E01 |
0.2000E01 |
0.6600E01 |
0.2000E01 |
0.2606E02 |
0.1610E01 |
178. |
0.1236E04 |
0.2200E01 |
0.3000E01 |
0.2000E01 |
0.1210E02 |
0.2300E01 |
0.2600E03 |
0.1740E00 |
179. |
0.1236E04 |
0.2200E01 |
0.3000E01 |
0.2000E01 |
0.1564E02 |
0.1600E01 |
0.6630E03 |
0.646E-01 |
180. |
0.1236E04 |
0.2200E01 |
0.3000E01 |
0.2000E01 |
0.1892E01 |
0.1200E01 |
0.1620E04 |
0.2600E01 |
181. |
0.1236E04 |
0.2200E01 |
0.3000E01 |
0.2000E01 |
0.2286E01 |
0.6000E00 |
0.3700E04 |
0.1200E01 |
182. |
0.1261E04 |
0.2000E00 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.6000E01 |
0.2100E01 |
0.8600E03 |
0.6000E01 |
183. |
0.1261E04 |
0.6000E00 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.6000E01 |
0.2160E01 |
0.1420E03 |
0.3200E00 |
184. |
0.1261E04 |
0.7000E00 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.6000E01 |
0.2180E01 |
0.7460E02 |
0.6300E00 |
185. |
0.1261E04 |
0.1000E01 |
0.3000E01 |
0.1500E01 |
0.6000E01 |
0.2100E01 |
0.3090E02 |
0.1600E01 |
186. |
0.1261E04 |
0.1600E01 |
0.3000E01 |
0.1500E01 |
0.6000E01 |
0.1960E01 |
0.1360E02 |
0.3300E01 |
187. |
0.1261E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.6000E01 |
0.1600E01 |
0.7220E01 |
0.6000E01 |
188. |
0.1261E04 |
0.4000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.6000E01 |
0.7000E00 |
0.2136E01 |
0.2100E02 |
189. |
0.1261E04 |
0.6000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.6000E01 |
0.4200E00 |
0.1200E01 |
0.3760E02 |
190. |
0.1261E04 |
0.1000E02 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.6000E01 |
0.2600E00 |
0.6900E00 |
0.7360E02 |
191. |
0.1261E04 |
0.1600E02 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.6000E01 |
0.1600E00 |
0.4290E00 |
0.1200E03 |
192. |
0.1261E04 |
0.3000E00 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1000E02 |
0.4200E01 |
0.6000E04 |
0.9000E02 |
193. |
0.1261E04 |
0.7000E00 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1000E02 |
0.4400E01 |
0.3600E03 |
0.1200E00 |
194. |
0.1261E04 |
0.1000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1000E02 |
0.4300E01 |
0.1400E03 |
0.3200E00 |
195. |
0.1270E04 |
0.1000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.4400E01 |
0.1790E01 |
0.1660E02 |
0.2650E01 |
196. |
0.1270E04 |
0.2000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.4400E01 |
0.1360E01 |
0.5950E01 |
0.7400E01 |
197. |
0.1270E04 |
0.6000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.4400E01 |
0.3300E00 |
0.7200E00 |
0.6920E02 |
198. |
0.1270E04 |
0.1200E02 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.4400E01 |
0.2300E00 |
0.5450E00 |
0.9550E02 |
199. |
0.1270E04 |
0.7000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1000E02 |
0.3500E01 |
0.3650E03 |
0.1100E00 |
200. |
0.1270E04 |
0.1500E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1000E02 |
0.3300E01 |
0.3400E02 |
0.1350E01 |
201. |
0.1270E04 |
0.3000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1000E02 |
0.2750E01 |
0.7650E01 |
0.5650E01 |
202. |
0.1270E04 |
0.5000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1000E02 |
0.1950E01 |
0.3240E01 |
0.1360E02 |
203. |
0.1270E04 |
0.6000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1000E02 |
0.1060E01 |
0.1710E01 |
0.2600E02 |
204. |
0.1270E04 |
0.1000E02 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1000E02 |
0.2200E00 |
0.6360E00 |
0.6700E02 |
205. |
0.1270E04 |
0.1000E00 |
0.5000E01 |
0.1600E01 |
0.1000E01 |
0.2700E00 |
0.6490E03 |
0.660E-01 |
206. |
0.1270E04 |
0.2600E00 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1000E01 |
0.3600E00 |
0.3370E02 |
0.1360E01 |
207. |
0.1270E04 |
0.4000E00 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1000E01 |
0.4100E00 |
0.1200E02 |
0.3700E01 |
208. |
0.1270E04 |
0.6000E00 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1000E01 |
0.3900E00 |
0.4460E01 |
0.9760E01 |
209. |
0.1270E04 |
0.3000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1000E01 |
0.1670E00 |
0.7260E00 |
0.6660E02 |
210. |
0.1270E04 |
0.4000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1000E01 |
0.1600E00 |
0.6660E00 |
0.9230E02 |
211. |
0.1270E04 |
0.6000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1001E01 |
0.1460E00 |
0.4600E00 |
0.1200E03 |
212. |
0.1270E04 |
0.7000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1000E01 |
0.1320E00 |
0.3660E00 |
0.1670E03 |
213. |
0.1270E04 |
0.1000E02 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1000E01 |
0.1200E00 |
0.2740E00 |
0.2200E03 |
214. |
0.1220E04 |
0.1000E00 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.9000E00 |
0.2000E00 |
0.6600E03 |
0.760E-01 |
215. |
0.1220E04 |
0.3000E00 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.9000E00 |
0.2300E00 |
0.1690E02 |
0.2390E01 |
216. |
0.1270E04 |
0.4000E01 |
0.3000E01 |
0.3200E01 |
0.2200E01 |
0.6280E00 |
0.6600E00 |
0.7630E02 |
217. |
0.1266E04 |
0.4000E01 |
0.3000E01 |
0.3200E01 |
0.2200E01 |
0.6120E00 |
0.6600E00 |
0.7700E02 |
218. |
0.1300E04 |
0.4000E01 |
0.3000E01 |
0.3200E01 |
0.2200E01 |
0.4900E00 |
0.6260E00 |
0.6000E02 |
219. |
0.1200E04 |
0.1600E01 |
0.2000E01 |
0.1600E01 |
0.1600E01 |
0.3301E00 |
0.7460E00 |
0.6600E02 |
220. |
0.1190E04 |
0.1000E01 |
0.6000E01 |
0.1600E01 |
0.1600E01 |
0.4297E00 |
0.7660E00 |
0.6300E02 |
221. |
0.1220E04 |
0.3000E01 |
0.3600E01 |
0.1600E01 |
0.9000E00 |
0.2499E00 |
0.4660E00 |
0.1170E03 |
222. |
0.1220E04 |
0.3000E01 |
0.4000E01 |
0.1600E01 |
0.9000E00 |
0.2496E00 |
0.4700E00 |
0.1160E03 |
223. |
0.1220E04 |
0.3000E01 |
0.6000E01 |
0.1600E01 |
0.9000E00 |
0.2496E00 |
0.4760E00 |
0.1130E03 |
224. |
0.1226E04 |
0.1000E01 |
0.3000E01 |
0.1600E01 |
0.1600E01 |
0.6602E00 |
0.1600E00 |
0.4660E03 |
225. |
0.1260E04 |
0.1000E01 |
0.3600E01 |
0.1600E01 |
0.1600E01 |
0.6601E00 |
0.1610E00 |
0.4660E03 |
226. |
0.1260E04 |
0.1000E01 |
0.2000E01 |
0.1600E01 |
0.1600E01 |
0.6601E00 |
0.1620E00 |
0.4646E03 |
227. |
0.1266E04 |
0.2000E01 |
0.2000E01 |
0.2600E01 |
0.1600E01 |
0.6671E00 |
0.1670E00 |
0.4470E03 |
228. |
0.1268E04 |
0.2000E01 |
0.5000E01 |
0.2600E01 |
0.1600E01 |
0.6660E00 |
0.1692E00 |
0.4360E03 |
229. |
0.1270E04 |
0.4000E01 |
0.3600E01 |
0.1600E01 |
0.4400E01 |
0.6990E00 |
0.1740E00 |
0.3600E03 |
230. |
0.1270E04 |
0.4000E01 |
0.4000E01 |
0.1600E01 |
0.4400E01 |
0.6960E00 |
0.1786E00 |
0.3770E03 |
231. |
0.1270E04 |
0.4000E01 |
0.4600E01 |
0.1600E01 |
0.4400E01 |
0.6900E00 |
0.1766E00 |
0.3760E03 |
232. |
0.1270E04 |
0.4000E01 |
0.6000E01 |
0.1600E01 |
0.4400E01 |
0.6700E00 |
0.1796E00 |
0.3700E03 |