- •Список основных обозначений
 - •ДИНАМИКА ГЕНЕРАЦИИ ИНЖЕКЦИОННЫХ ЛАЗЕРОВ
 - •Спектральные свойства полупроводниковых кристаллов
 - •Модель с выполнением правила отбора по волновому вектору
 - •Модель без выполнения правила отбора по волновому вектору
 - •Одномодовый инжекционный лазер
 - •Зонные диаграммы лазерных гетероструктур
 - •Волноводные свойства гетероструктур
 - •Скоростные уравнения
 - •Анализ переходных процессов
 - •Выгорание спектральных провалов
 - •Выгорание пространственных провалов
 - •Инжекционный лазер с насыщающимся поглотителем
 - •Разрезной диод
 - •Многомодовый инжекционный лазер
 - •ОСНОВЫ ФИЗИКИ КВАНТОВОРАЗМЕРНЫХ ГЕТЕРОЛАЗЕРОВ
 - •Основные квантоворазмерные эффекты
 - •Уровни энергии подзон и частота генерации
 - •Инверсная заселенность
 - •Порог генерации
 - •Оптимизация структуры квантоворазмерных лазеров
 - •Новые типы квантоворазмерных лазеров
 - •Лазеры с поверхностным излучением и вертикальным резонатором
 - •Лазеры с асимметричной гетероструктурой
 
14
емых фотонов (рис.1.3б). В случае больцмановского распределения носителей заряда в зонах получаем
Rsp = Acv å Nriexp  | 
	
  | 
	Fe −Fh −Eg  | 
	= Acv  | 
	Nrh + Nrl  | 
	
  | 
	np,  | 
	(1.14)  | 
|||
  | 
	
  | 
	Nc(Nvh + Nvl )  | 
||||||||
i=h,l  | 
	kT  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
|||
где  | 
	Nri = 2  | 
	2πmrikT  | 
	
  | 
	3/2  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
|||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
|||||||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
|||||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
||||
  | 
	(2π~)2  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
||||
– приведенная эффективная плотность состояний. Если распределение носителей в одной из зон вырожденное, то выражение для Rsp также упрощается. Приближенно для n-типа имеем Rsp = Acv p, а для p-типа имеем
Rsp = 2Acvn.
1.1.2. Модель без выполнения правила отбора по волновому вектору
Данное приближение используется для расчета спектров усиления и испускания в полупроводниках, содержащем примеси [2]. Полагается, что волновые функции одной из зон соответствуют волновым функциям при-
−  | 
	
  | 
	r  | 
	πa03  | 
	
  | 
	
  | 
||
месных атомов в виде s  | 
	орбиталей: ψ =  | 
	
  | 
	
  | 
	V0  | 
	e−r/a0 u(~r), где a0  | 
	– боров-  | 
|
  | 
	
  | 
	
  | 
|||||
ский радиус примеси, а волновые функции другой зоны остаются невозмущенными и описываются (1.8). Тогда квадрат матричного элемента в (1.7) принимает вид
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	<ψ f |e−ik~p~r~ξpˆ |ψi > 2 =  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
|||||||||||||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	2  | 
	
  | 
||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
|||||
=  | 
	
  | 
	
  | 
	V0  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	e−ik~p~r~ξpˆ  | 
	
  | 
	
  | 
	V  | 
	
  | 
	eik~ e~rui(~r) dV  | 
	
  | 
	
  | 
||||||||||||||
  | 
	
  | 
	e−r/a0 u f (~r)  | 
	·  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	0  | 
	
  | 
	≈  | 
||||||||||||||||||||
  | 
	
  | 
	3  | 
	
  | 
	
  | 
	V  | 
	
  | 
||||||||||||||||||||||||
  | 
	Z  | 
	sπa0  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	·r  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
||||||||||
  | 
	V  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
|
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	2  | 
	
  | 
|
  | 
	
  | 
	u f (~r)~ξpuˆ  | 
	i(~r) dV  | 
	
  | 
	
  | 
	1  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	~  | 
	
  | 
	~  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
||||||||||||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	e−r/a0+i(ke−kp)~r dV  | 
	
  | 
	
  | 
	(1.15)  | 
||||||||||||||||||||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
||
≈  | 
	Z  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	·Z  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	≈  | 
||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
|||||||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	πa3V  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
|||||||
  | 
	V0  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	V  | 
	0  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
||||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	q  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	3  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
|||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
||
  | 
	
  | 
	M~ cv  | 
	2  | 
	1  | 
	
  | 
	
  | 
	64πa0  | 
	
  | 
	4  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	M~ cv  | 
	2  | 
	
  | 
	64πa0  | 
	
  | 
	
  | 
||||||||||||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	3  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	.  | 
	
  | 
||||||||||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
||
  | 
	≈ | |  | 
	·  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	≈ |  | 
	|  | 
	
  | 
	·  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
|||||||||
  | 
	V  | 
	
  | 
	1 + (~ke −~kp)2a02  | 
	
  | 
	
  | 
	V  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
||||||||||||||||||||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
|||||||
Как видно, вероятность перехода практически одинакова для любой пары волновых функций зоны проводимости и валентной зоны. При использова-
15
(а)  | 
	(б)  | 
Рис. 1.4. Спектр усиления K(~w) в модели без правила отбора по волновому вектору в компенсированном GaAs при различных уровнях возбуждения
(а). Зависимость длины волны излучения в максимуме коэффициента усиления от концентрации неосновных носителей при различных степенях легирования (б). Na – концентрация акцепторов, Nd – концентрация доноров в активной области.
нии невозмущенной плотности состояний в обеих зонах получаем следующее выражение для коэффициента усиления в модели без правила отбора по волновому вектору (рис.1.4 и 1.5):
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	K(~w) =  | 
	~w  | 
	
  | 
	πe2Em2  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
||||||||||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	·  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	×  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
|||||||||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	vVu  | 
	2~m02w2  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
||||||||||||||
  | 
	×  | 
	1  | 
	·  | 
	2V  | 
	Z Z Z  | 
	d3ke  | 
	·i=h,l  | 
	Z Z Z  | 
	d3kh  | 
	·  | 
	δ(Ec  | 
	−  | 
	Ev  | 
	−  | 
	×  | 
||||||||||||
  | 
	2  | 
	(2π)  | 
	3  | 
	(2π)  | 
	
  | 
||||||||||||||||||||||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	å  | 
	2V  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	3  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	~w)  | 
||||||||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	2  | 
	
  | 
	64πa3  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
|||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	~  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	0  | 
	·{fe(Ec) + fh(Ev) −1} =  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
||||||||||||||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	×|Mcv| ·  | 
	
  | 
	
  | 
	V  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
|||||||||||||||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	Ev0+~w  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	·  | 
	
  | 
	
  | 
	−  | 
	{  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	−  | 
	− }  | 
|||||
  | 
	ρ(~w)v i=h,l ZEc0  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
|||||||||||||
=  | 
	A  | 
	
  | 
	
  | 
	å  | 
	
  | 
	
  | 
	ρc(E) ρvi(E  | 
	
  | 
	
  | 
	~w) fe(E) + fh(E ~w) 1 dE,  | 
|||||||||||||||||
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
	
  | 
|||||||||||||||||||||
(1.16) где A = 32πa30 ·Acv – вероятность оптического перехода без правила отбора. Соответственно, скорость спонтанных переходов имеет вид
rsp(~w) = A0 å  | 
	Ev0+~w ρc(E)ρvi(E  | 
	−  | 
	~w) fe(E) fh(E  | 
	−  | 
	~w) dE. (1.17)  | 
i=h,l ZEc0  | 
	
  | 
	
  | 
|||
Интегрируя (1.17) по энергиям испускаемых фотонов, получаем скорость
спонтанной рекомбинации (рис.1.6)  | 
	
  | 
Rsp = Anp.  | 
	(1.18)  | 
16
(а)  | 
	(б)  | 
Рис. 1.5. Зависимость коэффициента усиления в модели без правила отбора по волновому вектору в компенсированном GaAs от концентрации носителей на различных длинах волн (а). Жирной линией показана огибающая максимального усиления. Зависимость коэффициента усиления в максимуме спектра от концентрации неосновных носителей при различных степенях легирования (б).
(а)  | 
	(б)  | 
Рис. 1.6. Спектр спонтанного испускания rsp в модели без правила отбора по волновому вектору при различных уровнях возбуждения в компенсированном GaAs (а). Зависимость скорости спонтанной рекомбинации Rsp от концентрации носителей (б).
