
- •Список основных обозначений
- •ДИНАМИКА ГЕНЕРАЦИИ ИНЖЕКЦИОННЫХ ЛАЗЕРОВ
- •Спектральные свойства полупроводниковых кристаллов
- •Модель с выполнением правила отбора по волновому вектору
- •Модель без выполнения правила отбора по волновому вектору
- •Одномодовый инжекционный лазер
- •Зонные диаграммы лазерных гетероструктур
- •Волноводные свойства гетероструктур
- •Скоростные уравнения
- •Анализ переходных процессов
- •Выгорание спектральных провалов
- •Выгорание пространственных провалов
- •Инжекционный лазер с насыщающимся поглотителем
- •Разрезной диод
- •Многомодовый инжекционный лазер
- •ОСНОВЫ ФИЗИКИ КВАНТОВОРАЗМЕРНЫХ ГЕТЕРОЛАЗЕРОВ
- •Основные квантоворазмерные эффекты
- •Уровни энергии подзон и частота генерации
- •Инверсная заселенность
- •Порог генерации
- •Оптимизация структуры квантоворазмерных лазеров
- •Новые типы квантоворазмерных лазеров
- •Лазеры с поверхностным излучением и вертикальным резонатором
- •Лазеры с асимметричной гетероструктурой

8
лях на одномодовых гетеролазерах, ориентированные на исследование особенностей установления режима стационарной генерации в них, выяснение условий формирования предельно коротких оптических сигналов.
Для сложной динамики излучения инжекционных лазеров характерны следующие явления: жесткое самовозбуждение; гистерезис ватт-амперной характеристики; автомодуляция интенсивности излучения; генерирование одиночных импульсов когерентного излучения с временами нарастания и затухания не более 0.1 нс; испускание регулярной последовательности коротких импульсов излучения при синхронизации жесткого возбуждения лазера малым по величине периодическим сигналом; самосинхронизация продольных мод; конкуренция типов колебаний.
1.1.Спектральные свойства полупроводниковых кристаллов
Плотность квантовых состояний электронов в зоне проводимости в приближении изотропного параболического закона дисперсии записывается в виде
ρc(E) = 2 Z Z Z |
d3ke |
δ Ec0 |
|
~2ke2 |
−E = |
(2mc)3/2 |
1/2 |
|
|
|
|
+ |
|
|
(E −Ec0) |
|
. |
(1.1) |
|||
(2π)3 |
2mc |
2π2~3 |
|
Здесь E – энергия электронов, Ec0 – энергия дна зоны проводимости, ke
– волновой вектор электрона, mc – эффективная масса электрона, d3ke ≡ dkexdkeydkez. Множитель 2 учитывает две возможные ориентации спина. Интегрирование (1.1) по всем энергиям электронов с учетом заполнения квантовых состояний в приближении квазиравновесия дает для полной плотности электронов значение
|
ZEc0 |
|
c |
e |
|
|
c |
|
1/2 |
|
|
kT |
|
|
n = |
∞ |
ρ |
(E) f |
(E)dE = N |
Φ |
|
|
Fe −Ec0 |
. |
(1.2) |
||||
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|||||||||||
Здесь |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
−1 |
|
|
|
|
f |
|
(E) = 1 + exp |
|
E −Fe |
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
e |
|
|
|
kT |
|
|
|
– функция Ферми-Дирака для электронов, Fe – квазиуровень Ферми для электронов, T – температура, k – постоянная Больцмана,
Nc = 2 |
(2π~)2 |
|
3/2 |
|
2πmckT |
|
|
– эффективная плотность состояний в зоне проводимости,
2 |
∞ |
x1/2dx |
||
Φ1/2(ξ) = √ |
|
Z0 |
|
|
π |
1 + exp(x −ξ) |

9
– интеграл Ферми с индексом 1/2.
Рассматривая подзоны легких и тяжелых дырок в валентной зоне, получаем аналогичные выражения для плотности квантовых состояний:
ρvi(E) = |
(2mvi)3/2 |
|
2π2~3 (Ev0 −E)1/2 , |
(1.3) |
где индекс i = h,l относится к тяжелым и легким дыркам, Ev0 – энергия потолка валентной зоны. Плотность дырок p записывается в виде
p = å |
Ev0 ρv(E) fh(E)dE = å NviΦ1/2 |
Ev0 −Fh |
. |
(1.4) |
||||||
kT |
||||||||||
i=h,l |
Z−∞ |
|
i=h,l |
|
|
|
|
|||
Здесь |
|
|
|
|
|
−1 |
|
|
|
|
|
f |
(E) = 1 + exp |
|
Fh −E |
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
kT |
|
|
|
|
|
||||
|
h |
|
|
|
|
|
– функция Ферми-Дирака для дырок, Fh – квазиуровень Ферми для дырок,
Nvi = 2 |
2πmvikT |
|
3/2 |
|
|||
|
|
||
(2π~)2 |
|
– эффективная плотность состояний в валентной зоне.
Взаимодействие электрона с электромагнитным полем описывается
оператором |
e |
|
|
|
ˆ |
~ |
|
||
HEM = −m0c |
(Apˆ ). |
(1.5) |
||
~ |
|
|
|
– оператор им- |
Здесь A – векторный потенциал электромагнитного поля, pˆ |
пульса. Рассмотрим плоскую электромагнитную волну, распространяющу-
~ |
~ |
~ |
~ |
юся в полупроводнике: E = ξEm sin(wt −kp~r), где Em – амплитуда, kp – вол-
новой вектор, ~ξ – единичный вектор поляризации излучения, ~r – радиусвектор, задающий координаты. Тогда имеет место следующее соотношение:
~ |
~ |
~ |
A = (c/w)ξEm cos(wt − kp~r). Согласно "золотому"правилу Ферми, вероят-
ность перехода электрона из состояния i в зоне проводимости в состояние f в валентной зоне в единицу времени ω f i под действием периодического
возмущения ˆ −iwt равна
V e
ω f i = |
2π |
<ψ f |Vˆ |ψi > 2 δ(Ei −E f −~w), |
(1.6) |
|||
~ |
|
|||||
где Ei и E f – энергии состояний |
зоны проводимости |
и валентной зоны со- |
ответственно. Представляя векторный потенциал электромагнитного поля как
|
1 |
ei(wt−k~p~r) + e−i(wt−k~p~r) , |
~A = |
2w~ξEm |

10
получаем
|
|
|
πe2E2 |
|
|
|
~ |
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
ω |
f i |
= |
|
<ψ |
f | |
e−ikp~r~ξpˆ |
| |
|
δ(Ei |
− |
E |
f −~ |
w). |
(1.7) |
||
2~m02w2 |
|
|||||||||||||||
|
m |
|
|
|
ψi > |
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Вероятность обратных ωi f переходов из валентной зоны в зону проводимости отличается знаком перед ~w в дельта-функции.
1.1.1.Модель с выполнением правила отбора по волновому вектору
Используя блоховское представление волновых функций
ψ = r |
V0 |
eikr~~ u(~r), |
(1.8) |
|
V |
|
где функция u(~r) нормирована на 1 в объеме элементарной ячейки V0, V – объем полупроводника, преобразуем матричный элемент в (1.7):
<ψ f |e−ik~p~r~ξpˆ |ψi > 2 |
= |
|
|
|
2 |
|
|
|
|
= |
|
|
|
|
V |
|
|
|
|
|
|
|
|
V |
|
|
|
|
|
≈ |
||||
|
|
|
rV0 e−ik~ h~ru f |
(~r) ·e−ik~p~r~ξpˆ ·rV0 eik~ e~rui(~r) dV |
|||||||||||||||||||||
|
|
|
Z |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
V |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
(1.9) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
~ |
|
|
·Z |
1 |
|
i(~ke ~kh ~kp)~r |
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
≈ |
u f (~r)ξpuˆ |
i(~r) dV |
|
|
e |
− − |
dV |
|
≈ |
|
|||||||||||
|
|
|
|
V |
|
|
|||||||||||||||||||
|
|
|
|
Z |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
V0 |
|
|
|
|
|
V |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(2π) |
3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
≈ |M~ cv| · |
|
|
|
δ(~ke −~kh −~kp). |
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
V |
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
~ |
2 |
= |
1 |
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Здесь |Mcv| |
|
3 |
|~pcv| – усредненный квадрат матричного элемента зона- |
зонных переходов. Для активного слоя из GaAs — типичного соединения AIII BV , значение |~pcv|2 приблизительно рассчитывается как
2 |
|
m02Eg |
|
|~pcv| |
≈ |
|
, |
2mc |
где Eg = Ec0 −Ev0 – ширина запрещенной зоны, m0 – масса электрона. Вви-
ду малости величины волнового вектора фотона~ по сравнению с вектором kp
обратной решетки и со средними значениями волновых векторов электро-
~ |
~ |
нов ke и дырок kh, вероятность переходов практически отлична от нуля толь- |
|
~ |
~ |
ко в случае ke = kh, т.е. выполняется правило отбора по волновому вектору.

11
Интегрирование (1.7) по всем состояниям зоны проводимости и валентной зоны c учетом сохранения спина для полной вероятности переходов ω дает
|
|
ω |
|
|
|
πe2Em2 |
|
|
|
1 |
|
2V |
|
Z Z Z |
|
d3ke |
|
|
|
|
Z Z Z |
d3kh |
|
δ(Ec |
|
Ev |
|
|
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
· |
|
|
· |
|
|
|
·i=h,l |
|
|
|
· |
− |
− |
× |
|||||||||||||||||
|
|
|
2~m0w |
2 |
|
2 |
(2π) |
(2π) |
|||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
= |
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3 |
|
å 2V |
3 |
|
|
|
|
~w) |
||||||||||||||
|
|
×|M~ cv| · |
|
V |
|
δ(~ke −~kh) · |
(fe |
Ec0 |
+ |
2mc !+ fh Ev0 |
− 2mvi !−1) = |
||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
2 |
(2π)3 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
~2ke2 |
|
|
|
|
|
|
~2kh2 |
|
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
V πe2Em2 |
|
|
|
|
~ |
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
= |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
å |Mcv |
| ρri(~w) {fe(Eci) + fh(Evi) −1}, |
|
|
||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
2 |
~ |
m2w2 |
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
i=h,l |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(1.10) |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(2mri)3/2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||
где ρri(~w) = |
|
|
|
1/2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
(~w −Eg) |
|
|
— приведенная плотность состояний, |
||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
2π2~3 |
|
|
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
1 |
= |
|
1 |
+ |
1 |
|
|
|
|
— приведенная эффективная масса, |
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||
mri |
|
mvi |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
mc |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
mri |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
mri |
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
Eci = Ec0 + |
|
(~w −Eg) , |
Evi = Ev0 − |
|
(~w −Eg) . |
|
|||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
mc |
mvi |
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
Так как плотность энергии плоской электромагнитной волны |
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
εε0E2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
u = |
|
|
|
m |
, |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
где ε0 – электрическая постоянная вакуума, ε – относительная диэлектрическая постоянная, то с помощью (1.10) можно найти коэффициент усиления K:
K =
vVu
Здесь v – групповая скорость света в кристалле. Используя коэффициент Эйнштейна
|
Acv = |
e2~w |
~ |
2 |
|
|
|
||||
|
|
|
|Mcv| |
|
|||||||
πε0m02~2c2v |
|
||||||||||
и плотность мод электромагнитного поля в кристалле |
|
||||||||||
ρ(~w) = 2 Z Z Z |
d3kp |
|
|
(~w)2 |
|
||||||
|
δ (v~kp −~w) = |
|
, |
|
|||||||
(2π)3 |
π2~3v3 |
|
|||||||||
получаем окончательное выражение для коэффициента усиления K [1]: |
|||||||||||
|
A |
å ρri(~w) {fe(Eci) + fh(Evi) −1}. |
|
||||||||
K(~w) = |
cv |
|
(1.11) |
||||||||
vρ( w) |
|||||||||||
~ |
|
i=h,l |
|
|
|
|
|
На рис.1.1а показана зависимость коэффициента усиления K от энергии световых квантов ~w при различных уровнях возбуждения активной области, определяемых разностью квазиуровней Ферми для электронов Fe и

12
(а) |
(б) |
Рис. 1.1. Спектр усиления K(~w) в компенсированном GaAs при различных уровнях возбуждения (а). Зависимость длины волны излучения в максимуме коэффициента усиления от концентрации неосновных носителей при различных степенях легирования (б). Na – концентрация акцепторов, Nd – концентрация доноров в активной области, n + Na = p + Nd .
дырок Fh. При выполнении равенства ~w = Fe − Fh коэффициент усиления равен нулю. Длина волны λ = 2πc/w, на которой коэффициент усиления имеет максимальное значение, уменьшается с увеличением уровня возбуждения (рис.1.1б). На фиксированной длине волны излучения коэффициент усиления испытывает насыщение, т.е. его рост с увеличением концентрации носителей n замедляется (рис.1.2а). Учет этого эффекта необходим при рассмотрении динамики генерации в сложных лазерных системах, например, в двухсекционном диоде. Зависимость усиления в максимуме спектра от концентрации носителей близка к линейной (рис.1.2б).
Как известно, между вероятностями спонтанных и вынужденных переходов существует связь
wsp f i kp |
= |
w f i |
. |
(1.12) |
|
Np |
|||||
|
|
|
|
||
Выражая число фотонов в моде как Np = Vu |
и интегрируя (1.12) по всем |
||||
|
|
~w |
|
состояниям зоны проводимости и валентной зоны с учетом их заполнения, а также по всем состояниям фотонов, находим скорость спонтанных переходов
rsp(~w) = Acv å ρri(~w) fe(Eci) fh(Evi). |
(1.13) |
i=h,l |
|
На рис.1.3а приведены спектры спонтанного испускания при различных уровнях возбуждения. Чтобы получить скорость спонтанной рекомбинации Rsp, необходимо проинтегрировать (1.13) по всем энергиям испуска-

13
(а) |
(б) |
Рис. 1.2. Зависимость коэффициента усиления в компенсированном GaAs от концентрации носителей на различных длинах волн (а). Жирной линией показана огибающая максимального усиления. Зависимость коэффициента усиления в максимуме спектра от концентрации неосновных носителей при различных степенях легирования (б).
(а) |
(б) |
Рис. 1.3. Спектр спонтанного испускания rsp при различных уровнях возбуждения в компенсированном GaAs (а). Зависимость скорости спонтанной рекомбинации Rsp от концентрации неосновных носителей (б).