- •Лабораторная работа №3 бесконтактный метод измерения удельного сопротивления полупроводников
- •Москва 2009 г. Бесконтактный метод определения удельного сопротивления
- •Расчет потерь электромагнитной энергии при использовании бесконтактного метода измерений
- •Влияние скин - эффекта на распределение электромагнитного поля в пластине
- •Расчет потока вектора Умова-Пойтинга
- •Методика измерения проводимости q-метром
- •Порядок выполнения работы
- •Контрольные вопросы
Влияние скин - эффекта на распределение электромагнитного поля в пластине
После введения в зазор полупроводниковой пластины, вследствие непрерывности вектора магнитной индукции, его среднее значение (формула (3)) в пластине останется таким же, как в зазоре без пластины. Тангенциальные составляющие электрического поля также непрерывны на поверхности пластины. Однако, формулы (5) перестают быть справедливыми для описания распределения электрического поля внутри пластины. Они не учитывает влияние скин-эффекта, который заключается в том, что глубина проникновения переменного электромагнитного поля в пластину зависит от её проводимости, магнитной проницаемости и частоты приложенного поля.
Для описания скин-эффекта обратимся к уравнениям Максвелла (1). В первом уравнении можно пренебречь токами смещения в полупроводнике по сравнению с токами проводимости, т.е. написать
.
С
помощью этого уравнения можно исключить
вектор
из второго уравнения Максвелла (1)
.
В левой части воспользуемся тождеством
![]()
и
учтем, что, согласно
(5),
.
В результате получим уравнение
.
(6)
Если
пластина не обладает магнитными
свойствами, то в уравнении (6) нужно
считать
.
Напряженность электрического поля
зависит от времени как
,
поэтому уравнение (6) удобно записать в
виде
(7)
где
(8)
- глубина скин-слоя.
Найдем
решение уравнения (7) с вектором
в плоскости пластины
,
причем,
в силу непрерывности электрического
поля на поверхности пластины, зависимость
и
от переменных
и
быть такой же, как в формулах (5).Для
электрического поля, которое проникает
в пластину снизу, решение (6) имеет вид
.
(9)
Решение для поля, которое проникает в пластину сверху,
(10)
Выражение
(9) при
и выражение (10) при
должны быть равны напряженности
электрического поля в зазоре (5), поэтому
(11)
Преобразуем выражения для эспонент в (9) и (10), например,
![]()
и перепишем (9) и (10) в виде
.
(12)
(13)
Из
формул (12) и (13) становится ясен смысл
глубины скин-слоя:
- это глубина, на которой электрическое
поле, проникающее в пластину, убывает
в
раз.
Для
расчета джоулевых потерь в зазоре с
пластиной нужно проинтегрировать
величину
джоулевых потерь в единице объёма
пластины -
по объему той части пластины, которая
находится в зазоре.
(14)
В
формуле (14) суммируются поля, проникающие
в пластину снизу и сверху, множитель
появляется в результате усреднения
мощности джоулевых потерь за период.
Интегрируя сумму квадратов модулей
выражений (12) и (13), найдём среднюю за
период мощность джоулевых потерь
(15)
где
![]()
- функция относительных геометрических размеров тороида и зазора.
Расчет потока вектора Умова-Пойтинга
Оценим величину мощности потерь электромагнитной энергии, вытекающей через боковую поверхность той части объема пластины, которая находится внутри зазора.
Вектор
Умова - Пойтинга
параллелен плоскости пластины, поэтому

Найдём
сначала поток этого вектора через
боковые грани, перпендикулярные оси
(Рис.2)

Рис.2. К расчёту потока энергии через боковую поверхность той части объёма пластины, который находится внутри зазора.
(16)
Как
и раньше, множитель
соответствует средней мощности потерь
за период.
Электромагнитное
поле на поверхности
![]()
(17)
На
поверхности
![]()
(18)
Используя
выражения (17) и (18) в подынтегральном
выражении (17) и учитывая направления
внешних нормалей к поверхностям
и
,
в результате интегрирования получим
, (19)
где
- средний радиус тороида. Результат (19)
следует удвоить за счет электромагнитной
энергии, поступающей в пластину сверху.
Аналогично
вычислим поток вектора-Пойтинга через
боковые грани, перпендикулярные оси
,
На поверхности
(
)
![]()
(20)
Очевидно,
на поверхности
![]()
![]()
![]()
(21)
Из
соображений симметрии потоки
вектора-Пойтинга через поверхности
и
равны. Суммарный поток через эти
поверхности равен
. (22)
Этот результат следует удвоить, учитывая электромагнитную энергию, поступающую в пластину сверху.
Полная
средняя мощность
,
теряемая в той части объёма пластины,
которая находится вне зазора, оказывается
равной
(23)
Сравнивая формулу (23) с (15), оценим, какую часть эта энергия составляет от энергии джоулевых потерь внутри зазора
(24)
В
случае сильного скин-эффекта (
-
глубина скин-слоя
на много меньше толщины пластины и тем
более
)
получим
(25)
Для
слабого пьезоэффекта
и тем более
,
разлагая в ряд экспоненту в формуле
(24)
,
получим
(26)
Из
формулы (25) следует, что в случае сильного
скин-эффекта потерями в объёме пластины
вне зазора, можно пренебречь. Наоборот,
если скин-эффект отсутствует, то согласно
формуле (26), в этот объём излучается
энергия, которая на много больше энергии
джоулевых потерь внутри зазора. Поэтому
для пластин с
малой проводимостью величина
в
(26) может
соответствовать добротности, которая
окажется больше добротности
датчика без пластины, и её
будет
невозможно зафиксировать. Интервал
измерений
проводимости бесконтактным методом
снизу не связан со скин-эффектом, он
ограничен величиной добротности датчика
без пластины. Сверху этот интервал
ограничен скин-эффектом,
когда для пластин с большой проводимостью
в тонком скин-слое джоулевы потери
оказываются также настолько малыми,
что соответствующая им добротность
меньше добротности датчика без пластины.
