Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
dsd1-10 / dsd-05=Krupkina / Лабы по IC TCAD / Лабораторная 3.doc
Скачиваний:
112
Добавлен:
05.06.2015
Размер:
130.56 Кб
Скачать

Результаты моделирования

Nss, cm-3

Бор в подзатв. области

Nss, cm-3

Фосфор в области сток/истока

dox, мкм

Подзатворн. окисел

Xj, um

(карман)

Function=P4S <по умолч.>

Xj, um

(карман)

Function=Gauss

Xj, um

(карман)

Function=JHG

Xj, um

(карман)

Function=P4S (LEXP=5e-2)

Xj, um

(сток/исток)

Вопросы к отчету:

  1. Какие модели имплантации существуют в Dios.

  2. На каком этапе программа dios начинает работать с двумерной структурой.

  3. Какая информация хранится в файле - <имя файла>.dmp.gz.

  4. Объясните назначение команд графического окна dios.

  5. Как можно посмотреть одномерные сечения в графическом окне dios.

  6. Каковы преимущества и недостатки использования одномерных сечений в графическом редакторе dios по-сравнению с выводом профилей распределения примесей в редакторе Inspect.

  7. Как сохранить результаты моделирования в DIOS для их дальнейшего использования в программе MDRAW.

  8. Какая информация хранится в файлах: nmos_mdr.bnd, nmos_mdr.cmd, nmos_dio.grd, nmos_dio.dat.

Соседние файлы в папке Лабы по IC TCAD