
SemTE / Sem1
.docСЕМИНАР 1 Статистика электронов и дырок
Единицы измерения в системе СИ:
Основные: м кг с А К
Производные: Дж Вт Кл В Ом Ф
Дж = м*кг/с = A*B*c = 1 Вт*с
1 Вт = 1 Дж/с 1 эВ = 1.6*10-19 Дж
φt = k*T/e = 25.8 мВ (при 300 К) = 4.14*10-21 Дж
1 мкм = 10-4 см = 10-6 м 1 нм = 10-7 см = 10-9 м
Приближенные вычисления:
- ln 10 = 2.3 ln 1015 = 15*ln 10 = 15*2.3 = 34.5
- exp 1 = 2.718, exp 10 = 2.2*104, exp 20 = 4.85*108
Физические постоянные:
h = 6.62*10-34 Дж*с k = 1.38*10-23 Дж/К e = 1.6*10-19 Кл m = 9.1*10-31 кг
ε0 = 8.86*10-14 Ф/см εε0 = 1.1 пФ/см (для Si) εdε0 = 0.4 пФ/см (для SiO2)
Свойства полупроводников
п/п |
Eg, эВ |
ni, см-3 |
Подвижность n/p см2/(В*с) |
ε |
Si |
1.12 |
1.5*1010 |
1500 / 600 |
11.9 |
Ge |
0.66 |
2.5*1013 |
3900 / 1900 |
16 |
GaAs |
1.43 |
1.8*106 |
8500 / 400 |
10.9 |
Марка подложки |
Материал |
Проводимость |
Удельное сопротивление при T=300 К, ρ [Ом*см] |
Концентрация примеси при T=300 К, N [см-3] |
КДБ-10 |
Si |
дырочная |
10 |
Na = 1015 см-3 |
КЭФ-4.5 |
Si |
электронная |
4.5 |
Nd = 1015 см-3 |
Теоретические сведения
Зонная диаграмма полупроводника
Функция распределения Ферми-Дирака
g – фактор вырождения примесного уровня;
g =1 для собственного полупроводника,
g = 2 для донорного примесного уровня (электрон на одном уровне может иметь два значения спина)
В полупроводнике выделяют следующие концентрации:
- Nd – полная концентрация донорной примеси, Nd+ - концентрация ионизированных доноров
- Na – полная концентрация акцепторной примеси, Nа+ - концентрация ионизированных акцепторов
- n – концентрация электронов,
- р – концентрация дырок
Справедливо уравнение электронейтральности и формулы для концентраций:
n0 + Na- = p0 + Nd+
,
=
2.83*1019
см-3
(для Si,
300 К)
,
=
1.02*1019
см-3
(для Si,
300 К)
mc = 1.08*m, mv = 0.56*m
- Закон действия масс для невырожденных
п/п
ЗАДАЧА 1
Для собственного полупроводника найти вероятность заполнения электроном уровня на дне Ес при T=0 и 300 К. Считать что при 300 К уровень Ферми (Ef) расположен по середине Еg (E-Ef = Eg/2)
Решение:
Используем функцию распределения Ферми-Дирака
При расчете можно считать, что энергия выражается в вольтах, а вместо kT использовать φt = 25.8 мВ
=
1.86*10-10
ЗАДАЧА 2
Вычислить положение уровня Ферми (Ef) в собственном Si при T=300K
Решение: В собственном полупроводнике нет примесей. Из уравнения электронейтральности следует, что n = p. Используя формулы для концентраций:
ЗАДАЧА 3
Найти концентрацию электронов и дырок в кремнии при Т=300К, если концентрация донорной примеси Nd = 1016 cм-3, Nа = 0. Считать примесь полностью ионизованной.
Решение: Уравнение электронейтральности при полной ионизации примеси имеет вид:
n0 + Na = p0 + Nd
Из закона действия масс: p0 = ni2/n0
Составляем квадратное уравнение: n02-(Nd-Na)*n0-ni2=0
Решение:
=1016
см-3 p0
= 2.25*104
см-3
МОЖНО СЧИТАТЬ, ЧТО ПРИ Nа = 0: n0 = Nd, p0 = ni2/Nd
ЗАДАЧА 4
Рассчитать концентрацию электронов и дырок в кремнии с концентрацией примеси Nа = 1016 см-3, Nd = 3*1015 см-3, Т=300 К
Решение:
=7*1015
см-3
n0 = ni2/Na = 3.2*104 см-3
МОЖНО СЧИТАТЬ ЧТО:
ЗАДАЧА 5
Образец кремния n-типа находится в состоянии термодинамического равновесия при T=300K. Параметры образца:
-
ρ = 5 Ом*см
-
μn = 1600 μp = 600 [см2/(В*с)]
-
ni = 1.4*1010 см-3, Nc = 1019 см-3
-
Ec - Ed = 0.05 эВ
Найти:
-
Концентрацию электронов и дырок
-
Положение уровня Ферми
-
Вероятность того, что донорный уровень занят или свободен
Решение:
-
ρ = 1/σ
-
σ = e(μn n + μp p)
-
n*p = ni2
-
σ = e( μn n + μp ni2/n )
=7.81*1014
см-3
р = 2.5*105 см-3
2.
,
находим Ec-Ef
= 0.244 эВ
3. Так как Ec - Ed = 0.05 эВ, то Ed - Ef = 0.194 эВ и вероятность заполнения донорного уровня определяется функцией распределения Ферми-Дирака
8.5*10-4
ЗАДАЧА 6
Найти удельное сопротивление (ρ) собственного Si при 300 К.
Решение:
ρ = 1/σ
σ = e(μn n + μp p) = e μp ni (B+1)
B=μn / μp =2.5
ρ = 1.2 *106 Ом*см