Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:

Семестровый план / 5 курс / ПРОЕКТИРОВАНИЕ И ТЕХНОЛОГИЯ ЭЛЕКТРОННОЙ КОМПОНЕНТНОЙ БАЗЫ ИТС-55М

.doc
Скачиваний:
46
Добавлен:
05.06.2015
Размер:
58.88 Кб
Скачать

УЧЕБНАЯ ДИСЦИПЛИНА

«Проектирование и технология электронной компонентной базы»

  1. ИНФОРМАЦИОННОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ ДИСЦИПЛИНЫ

    1. ЛИТЕРАТУРА

Основная литература:

  1. Щука А.А. Наноэлектроника. – М.: Физматкнига, 2007. – 464 с.

  2. Старостин В.В. Материалы и методы нанотехнологии: учебное пособие/ под общ. ред. Л.Н. Патрикеева. – М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2008. – 431 с.

  3. Мартин-Дуарт Дж.М., Мартин-Палма Р.Дж., Агулло-Руеда Ф. Нанотехнологии для микро- и оптоэлектроники. – М.: Техносфера, 2009. – 368 с.

  4. Киреев В.Ю. Введение в технологии микроэлектроники и наноэлектроники. – М.: ФГУП «ЦНИИХМ», 2008. – 428 с.

  5. Симонов Б.М., Заводян А.В. Технологические основы микроэлектроники. В 2-х частях. - М.:МИЭТ, 2009

Дополнительная литература:

  1. Драгунов В.П., Неизвестный И.Г., Гридчин В.А. Основы наноэлектроники: Учеб. пособие. 2-е изд., испр. И доп. – Новосибирск: Изд-во НГТУ, 2004. – 496 с.

  2. Нанотехнологии в полупроводниковой электронике/ Отв. Редактор А.Л. Асеев. – Новосибирск: Изд-во СО РАН, 2004. – 368 с.

  3. Нанотехнологии в электронике/ Под ред. чл. корр. РАН Чаплыгина Ю.А. – М.: Техносфера, 2005. – 448 с.

  4. Лозовский В. Н., Константинова Г. С., Лозовский С. В. Нанотехнология в электронике. Введение в специальность: Учебное пособие. 2-е изд., испр. - СПб.: Издательство «Лань», 2008. – 356 с.

Периодические издания:

  1. Нано- и микросистемная техника;

  2. Российские нанотехнологии;

  3. Известия вузов: Электроника;

  4. Микроэлектроника. Серия «Полупроводниковые приборы»;

  5. Радиоэлектроника;

  6. Физика и техника полупроводников.

    1. ЭЛЕКТРОННЫЕ РЕСУРСЫ

Российский электронный наножурнал http://nanojournal.ru/

Симонов Б.М. Технология и конструироание интегральных микросхем: Уч. Материалы для СРС. – http://www.mocnit.miet.ru/oroks-miet/srs.shtml

  1. СОДЕРЖАНИЕ ДИСЦИПЛИНЫ

2.1. ЛЕКЦИОННЫЕ ЗАНЯТИЯ

Содержание

Возникновение и развитие микро- и наноэлектроники. Предмет и задачи курса. Основные термины и определения.

Направления и тенденции развития микроэлектроники. Пределы развития микроэлектроники

Переход от микро- к нанотехнологиям. Перспективы развития наноиндустрии

Размерные эффекты. Простейшие низкоразмерные объекты. Энергетические спектры низкоразмерных объектов

Современные методы формирования наноструктур.

Эпитаксиальные методы формирования наноструктур. Молекулярно-лучевая эпитаксия.

Химические методы получения наноструктур.

Методы зондовой нанотехнологии.

Методы исследования наноструктур.

Полупроводниковые гетероструктуры: гетеропереходы, гетероструктуры, сверхрешетки.

Структура, методы получения и разделения фуллеренов. Применение фуллеренов.

Квантовые наноструктуры. Нанотрубки и их свойства. Применение нанотрубок.

Фотонные кристаллы и полимерные материалы. Органические проводники и полупроводники. Плёнки поверхностно-активных веществ.

Основы квантовой и оптической электроники.

Основные тенденции развития элементной базы наноэлектроники.

Проблемы, связанные с проектированием и моделированием элементов и приборов на основе наноструктур.

Принципы создания нанотранзисторов.

    1. ЛАБОРАТОРНЫЕ ЗАНЯТИЯ

№ п/п

Содержание лабораторных работ

1

Изучение конструкций, параметров и характеристик полупроводниковых микросхем.

2

  1. Изучение конструкции и топологии гибридных интегральных микросхем.

3

  1. Изучение технологии полу­проводниковых ИМС с диэлектрической и комбинированной изоляцией.

4

Технологии изготовления гибридных микросхем.

5

  1. Изучение технологии изготовления гибридных толстопленочных интегральных микросхем.

6

  1. Технологии изготовления полупроводниковых микросхем на биполярных транзисторах.

7

  1. Технологические процессы изготовления МДП интегральных схем

8

  1. Технологические процессы сборки и монтажа бескорпусных полупроводниковых БИС.