Семестровый план / 5 курс / Проектирование микросистем ИТС-54

1. В. Варадан, К.Виной, К.Джозе. ВЧ МЭМС и их применение, 2004

2. Изучение параметров и характеристик микромеханических устройств вибрационного типа: лаб. раб. №1: метод. Указания к лаб. практикуму по курсу «Элементы микросистемной техники», под редакции Тимошенкова С.П..- М.: МИЭТ,2010.

Б.Ю.Семенов. Силовая электроника: от простого к сложному.

http://www.radioscanner.ru/files/electronics/file5614/

Ron Mancini. OpAmpsForEveryOne.

http://focus.ti.com/lit/an/slod006b/slod006b.pdf

№

Содержание

1. 1

Объемная и поверхностная технологии микрообработки кремния. Материалы, области применения, достоинства и недостатки.

2. 2

Соединение слоев внутри микросистемы. LIGA-технология.

3. 3

Чувствительные элементы для микросистем. Пьезорезистивные и емкостные. Резонансные и пьезоэлектрические.

4. 4

Металлы в микросистемах. Термовакуумное напыление, ионное распыление.

5. 5

Полупроводники в микросистемах. Свойства, выращивание, осаждение.

6. 6

Формирование тонких пленок.

7. 7

Полимеры в микросистемах.

8. 8

Корпуса, назначение и применение. Виды корпусов и технологии монтажа микросистем

9. 9

Типовые схемные конфигурации одиночных биполярных каскадов в линейном режиме. Токовые зеркала. Дифференциальные каскады.

10. 10

Операционные усилители (ОУ). Основные параметры, простейшие схемы. Выполнение арифметических операций с помощью ОУ.

Интернет -ресурсы

Э.2

11. 11

Инструментальные усилители. Усилители Нортона. Типовые схемные конфигурации.

Интернет -ресурсы

Э.2

12. 12

Стабильность схем на ОУ. Внешняя и внутренняя компенсация ОУ. Шумы в ОУ.

Интернет -ресурсы

Э.2

13. 13

Условия самовозбуждения систем с обратной связью. Генераторы на основе ОУ.

Интернет -ресурсы

Э.2

14. 14

Активные фильтры на ОУ.

Интернет -ресурсы

Э.2

15. 15

Основы силовой электроники. Элементная база, основные параметры, расчет конструкций.

Интернет -ресурсы

Э.1

16. 16

Типовые схемы импульсных стабилизаторов напряжения. Области применения и способы расчета.

Интернет -ресурсы

Э.1

17. 17

Основные способы съема сигнала с емкостных сенсоров. Типовые схемотехнические решения.