Учебная дисциплина

1.

Степаненко И.П. Основы микроэлектроники: Учебное пособие для вузов. - М.-СПБ: Лаборатория базовых знаний,2003-488с.

2.

Симонов Б.М., Заводян А.В., Грушевский А.М. Конструкторско-технологические аспекты разработки интегральных схем и микросборок.- М.:МИЭТ,1998-167с.

3.

Богданович Б.Ю., Графутин В.И., Калугин В.В., Нестерович А.В., Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П., Чаплыгин Ю.А. Технологии и методы исследования структур КНИ.-М.: МИЭТ, МИФИ, 2003-288с.

4.

Коледов Л. А. технология и конструкции микросхем, микропроцессоров и микросборок. - М.: Радио и связь, 1989 -400с.

1.

Симонов Б.М. Технология и конструирование интегральных микросхем: Уч. Материалы для СРС. – http://www.mocnit.miet.ru/oroks-miet/srs.shtml

2.

Сайт www.flipchips.com

Климов И.В. «Технология СБИС».- htpp://sbis.karelia.ru/ /index.htm

Курс «Интегральные микросхемы».-

http://dssplab.karelia.ru/~ivash/ims/INDEX.HTM

Видеофильм «Изготовление интегральных схем»

Видеофильм «Как изготовить транзистор (МОП)»

Видеофильм «Технология изготовления микросхем на основе тонких и толстых плёнок»

Видеофильм «Изготовление тонкоплёночных микросхем»

Видеофильм «Толстоплёночная технология в микроэлектронике. Пасты»

Видеофильм «Кремний, монокристалл, электроника»

Видеофильм «Производственный корпус (фирма «Филлипс»)»

Видеофильм «Работа в чистых помещениях (фирма «Филлипс»)»

Видеофильм «Современное производство БИС»

№

Содержание

32. 1, 2

Электроника, ее роль в жизни общества. Микроэлектроника, элементная база изделий микроэлектроники. Групповой характер технологических процессов производства изделий микроэлектроники.

Л.1, с.7-13; Л.2, с.3-4; Л.3, с.3-6; Л.4, с.3-8; конспект лекций.

Интернет -ресурсы

ЭР2, 3

1. 3,4

Разновидности микросхем. Обозначения микросхем. Микросборки.

Элементы полупроводниковых микросхем на биполярных транзисторах. Элементы коммутации.

Л.1, с.13-24, 125-151,227-233,235-244; Л.2, с.75-98,169-171; Л.3, с.73-89,244-247, 258-271; Л.4, с. 19-32, 46-57; конспект лекций.

Интернет -ресурсы

ЭР1, 2, 4

2. 5,6

Общая характеристика производства изделий микроэлектроники. Основные направления технологии микроэлектроники, основные понятия, типы производства. Типовые технологические процессы изготовления полупроводниковых ИС с изоляцией элементов p-n переходом.

Л.1, с. 169-171, 218 -226; Л.3, с.11-25, 63-70; Л.4, с. 6-8, 205-212; 274-288, 292-297, конспект лекций.

Контрольная работа.

Интернет -ресурсы

ЭР1, 2.

Видеоматериалы

ЭР10, 11, 12

3. 7,8

Типовые технологические процессы изготовления полупроводниковых ИС с изоляцией элементов диэлектриком.

Л.1, с.223 -226; Л.3, с.126-128; Л.4, с.212-217; конспект лекций.

Интернет -ресурсы

ЭР2, 3, 4

4. 9,10

Типовые технологические процессы изготовления полупроводниковых ИС с комбинированной изоляцией элементов.

Л.1, с.223 -226; Л.4, с.217-231; конспект лекций.

Интернет -ресурсы

ЭР1, 2.

5. 11,12

Полевые транзисторы интегральных схем. Разновидности МДП- транзисторов. КМДП-структуры. Сравнение полевых и биполярных транзисторов.

Л.1, с.100-124, 247-258; Л.2, с.99-108; Л.4, с.87-114; конспект лекций.

Контрольная работа.

Интернет -ресурсы

ЭР1, 2., 3

6. 13,14

Типовые технологические процессы изготовления полупроводниковых ИС на МДП-транзисторах,

Л.1, с.252 -256; Л.4, с.232-252, 301-313, 353-370; конспект лекций.

Интернет -ресурсы

ЭР1, 2., 3, 4

Видеоматериалы

ЭР7, 8, 9

7. 15,16

Типовые технологические процессы пленочной технологии.

Л.1, с.205 -211, 223-226; Л.4, с.255-263, 267-273, 313-342, конспект лекций.

Интернет -ресурсы

ЭР2, 3, 4

8. 17

Характеристика операций сборочно-монтажной группы. Операции контроля. Качество изделий микроэлектроники. Проблемы повышения качества и эффективности производства. Контроль качества.

Л.1, с.203 -205, 471-480; Л.4, с.297-301,370-380; конспект лекций.

Контрольная работа.

Интернет -ресурсы

ЭР1, 2

Видеоматериалы

ЭР13