2.4.Лабораторные занятия

1. 1

Электронные устройства для получения и измерения высокого вакуума

2. 2

Формирование и управление электронными и ионными пучками.

3. 3

Устройства электронно-лучевого нагрева

4. 4

Лазерная диагностика плазмы.

1.

Розанов Л.Н. Вакуумная техника: Учебник для вузов. 3-е изд. – М.: Высшая школа, 2007. – 391 с.

2.

Пипко А.Н., Плисковский В.Я., Пенчко Е.А. Конструирование и расчет вакуумных систем. 3-е изд. – М.: Энергия, 1979, - 504 с.

3.

Вакуумная техника: Справочник / Под общ.ред. Е.С.Фролова, В.Е.Минайчева. – М.: Машиностроение, 1985. - 360 с.

4.

Сырчин В.К., Назаров Г.В., Ануфриенко В.В. Лабораторный практикум по курсу «Техпроцессы и оборудование микроэлектроники». Часть 2. – М.: МИЭТ, 2002. – 60 с.

Сырчин В.К. Теоретические основы вакуумной техники. Учебно-методическая разработка для СРС. Файл СРС1_МЭ_ВТ.doc. - М.: МИЭТ, каф. МЭ, 2007.– 65с.

Сырчин В.К. Вакуумные насосы. Учебно-методическая разработка для СРС. Файл СРС2_МЭ_ВТ.doc. - М.: МИЭТ, каф. МЭ, 2007.– 65 с.

Сырчин В.К. Расчет вакуумных систем технологического оборудования. Пособие для практических занятий. Файл СРС3_МЭ_ВТ.doc. - М.: МИЭТ, каф. МЭ, 2007.– 30 с.

Сырчин В.К. Методические указания по выполнению курсовой работы по дисциплине «Вакуумная техника». Файл СРС4_МЭ_ВТ.doc. - М.: МИЭТ, каф. МЭ, 2007.– 11 с.

Сырчин В.К. Комплект раздаточного материала к курсу лекций по дисциплине

«Вакуумная техника». Файл СРС5_МЭ_ВТ.doc.- М.:МИЭТ, каф.МЭ, 2007.–35с.

№

Содержание

18. 1.

Вакуумное оборудование в науке и технике. История развития вакуумной техники. Области применения вакуумной техники. Основные понятия кинетической теории газов: распределения молекул газа по скоростям, плотность, давление, основные газовые законы, длина свободного пути молекул.

Л.1, с. 5-23; Л.2, с. 6-24; Л.3, с. 5-13.

Видеоматериалы

Электронные ресурсы: Иллюстративный материал, Л. 5, с. 2.

19. 2.

Явления переноса в разреженных газах (вязкость, перенос теплоты, диффузия).

Л.1, с. 50-60; Л.2, с. 25-29; Л.3, с. 13-22.

Видеоматериалы

Электронные ресурсы: Иллюстративный материал, Л. 5, с. 2-3.

20. 3-4.

Сорбционные явления в вакууме. Энергия взаимодействия. Сорбция и десорбция. Конденсация и испарение. Растворимость газов в твердых телах.

Л.1, с. 23-42; Л.3, с. 37-79.

Видеоматериалы

Электронные ресурсы: Иллюстративный материал, Л. 5, с. 3-8.

21. 5.

Электрические явления в вакууме. Процессы взаимодействия электронов с газом. Условия ионизации молекул. Газовые разряды в вакууме. Условия возбуждения газового разряда. Проводимость ионизированного газа. Применение электрических явлений в вакууме в технологическом оборудовании.

Л.1, с. 42-47; Электронные ресурсы: Л1, с. 56-65.

Видеоматериалы

Электронные ресурсы: Иллюстративный материал, Л. 5, с. 9-11.

22. 6-7.

Теоретические основы процесса откачки. Основные понятия процесса откачки. Основное уравнение вакуумной техники. Режимы течения газов. Проводимость элементов вакуумных систем: отверстий, трубопроводов, элементов коммутации (местные сопротивления).

Л.1, с. 60-70; 88-90; Л.2, с. 33-44; Л.3, с. 88-124.

Видеоматериалы

Электронные ресурсы: Иллюстративный материал, Л. 5, с. 11-13.

23. 8-9.

Классификация откачных средств. Основные параметры вакуумных насосов. Механические насосы объемного действия: поршневые, вращательные, мембранные. Расчет насосов объемного действия. Откачка паров воды. Механические молекулярные насосы: двухроторные, турбомолекулярные. Элементы расчета молекуляр-ных насосов.

Л.1, с. 151-175; Л.2, с. 151-227; Л.3, с. 249-266; 279-283.

Видеоматериалы

Электронные ресурсы: Иллюстративный материал, Л. 5, с. 13-23.

24. 10.

Струйные вакуумные насосы: бустерные пароструйные, диффузион-ные паромасляные. Конструкции и принцип работы насосов. Теоретические основы процесса откачки. Основные характеристики и рабочие жидкости.

Л. 1 с. 175-191; Л.2, с. 227-263; Л.3, с. 269-279.

Видеоматериалы

Электронные ресурсы: Иллюстративный материал, Л. 5, с. 24-29.

25. 11-12.

Насосы поверхностного действия (сорбционные). Электрофизичес-кие средства откачки: геттерные и геттерно-ионные испарительные, геттерно-ионные распылительные. Низкотемпературные средства откачки: криоадсорбционные и криоадсорбционные насосы. Тепловой расчет крионасосов.

Л.1 с. 193-218; Л.2, с. 264-286; 287-311; Л.3, с. 283-312.

Видеоматериалы

Электронные ресурсы: Иллюстративный материал, Л. 5, с. 30-35

26. 13-14.

Узлы и элементы вакуумных систем. Требования к конструкцион-ным материалам. Вакуумные соединения: неразборные, разборные. Устройства для передачи движения в вакуум. Коммутационные элементы. Электрические вакуумные вводы. Смотровые окна.

Л.1, с. 301-339; Л.2, с. 56-70; 70-95; 107-150; Л.3, с. 152-248.

Видеоматериалы

Раздаточный материал.

27. 15-16.

Измерение полного давления разреженных газов и парциальных давлений. Классификация вакуумметров: жидкостные, деформа-ционные, компрессионные, тепловые, ионизационные. Принципы работы и схемные решения приборов для измерения парциальных давлений. Масс-спектрометры: циклотрон, хронохрон, омегатрон, квадрупольный, фарвитрон.

Л.1, с. 94-128; Л.2, с. 312-324; 324-332; Л.3, с. 342-410.

Видеоматериалы

Раздаточный материал.

28. 17.

Контроль герметичности вакуумных систем. Методы измерения потока натекания. Методы течеискания: опрессовкой, погружением в жидкость, химический, радиоактивный, капиллярно-люминесцен-тный, манометрический, галоидный, масс-спектрометрический. Особенности методов и методика течеискания.

Л.1, с. 141-150; Л.2, с. 332-347; Л.3, с. 411-442.

Видеоматериалы

Раздаточный материал.

№

Содержание

9. 1.

Применение газовых законов в вакуумной технике. ПЗ по разделу курса «Физика разреженных газов».

Л. 1, с. 11-12; Л. 2, с. 21-22. 2 часа.

10. 2.

Расчет проводимости элементов вакуумных систем. ПЗ по разделу курса «Теоретические основы процесса откачки».

Л. 1, с. 60-67; Л. 3, с. 88-126. 4 часа.

11. 3.

Проектный и поверочный расчет вакуумной системы. ПЗ по разделу курса «Теоретические основы процесса откачки».

Л. 3, с. 88-126; 130-136. 5 часов.

12. 4.

Изучение методики расчета крионасосов. ПЗ по разделу курса «Техника получения вакуума».

Л.1, с. 121-128. Конспект лекций. 2 часа.

13. 5.

Расчет на прочность элементов вакуумных систем. ПЗ по разделу курса «Узлы и элементы вакуумных систем».

Л.4, с. 198-205. Конспект лекций. 4 часа.

№

Содержание

1. 1.

Изучение принципа действия и устройства механического форвакуумного насоса и определение его характеристик методом постоянного давления.

Л.4, с. 3-17. 4 часа.

Видеоматериалы

Раздаточный материал.

2. 2.

Изучение принципа действия и устройства высоковакуумного насоса и определение его характеристик методом постоянного объема.

Л.4, с. 3-17. 4 часа.

Видеоматериалы

Раздаточный материал.

3. 3.

Изучение принципа действия и устройства тепловых и ионизационных вакуумметров.

Л.1, с. 136-155; Л.2, с. 312-324. 4 часа.

Видеоматериалы

Раздаточный материал.

4. 4.

Изучение методики течеискания.

Л.1, с. 173-185; Л.2, с. 332-347; Л.3, с. 411-442. 4 часа.

Видеоматериалы

Раздаточный материал.

«Проектно-поверочный расчет вакуумной системы технологической установки». Подготовлено 23 варианта заданий.

№

Темы ЭМИРС

Используемый ПП

1

«Теоретические основы вакуумной техники».

Тестовый опрос с исполь-зованием системы OROKS