
- •Датчики и микро-эвм
- •Технология изготовления датчиков
- •Основные виды технологии изготовления объемных и пленочных датчиков, совместимых с микроэлектроникой
- •Современные кремниевые технологии
- •Тонкопленочные элементы интегральных схем
- •Толстопленочная технология интегральных схем
- •Датчики в промышленной технике измерений и робототехнике
- •Датчики в автомобиле и в бытовых приборах
- •Электропечь
- •Посудомоечная машина
- •Стиральный автомат
- •Электропечь
- •Стиральный автомат
- •Холодильные и морозильные камеры
- •Датчики температуры из платины и никеля
- •Термопары
- •Кремниевые датчики температуры
- •Интегральные датчики температуры
- •Температурный контроллер
- •Терморезисторы с отрицательным ткс
- •Терморезисторы с положительным ткс
- •Датчик уровня на основе терморезистора с положительным ткс
- •Измерение разности температур и калибровка датчиков
- •Датчики на основе тензометров
- •Кремниевые датчикидавления
- •Электронный барометр
- •Зависимость давления воздуха от высоты
- •Высотомер
- •Датчики расхода и скорости
- •Терморезисторный анемометр
- •Датчик расхода
- •Датчик направления
- •Термокондуктометрические ячейки
- •Теплопроводность некоторых газов при 0°с и 100°с
- •Топливная и термохимическая (каталитическая) ячейки
- •Анализатор выхлопных газов
- •Полупроводниковые датчики
- •Датчики природного газа и алкоголя
- •Конденсационный гигрометр на основе хлорида лития
- •Емкостные датчики влажности
- •Измерительные схемы и калибровка датчиков влажности
- •Датчики магнитного поля
- •Магниторезистивные датчики
- •Датчики Холла
- •Датчики Виганда
- •Оптические датчики
- •Фотодиоды
- •Фоторезисторы
- •Тепловые приемники излучения
- •Оптические датчики положения
- •Датчики изображения на основе приборов с зарядовой связью
- •Оптические датчики шероховатости
- •Датчики ик-излучения
- •Волоконно-оптические датчики
Оптические датчики шероховатости
Контроль качества поверхности деталей при автоматизированном производстве оказывается возможным благодаря применению линейных датчиков изображения (или последовательного ряда фотодиодов). На рис. 10.28 иллюстрируется принципиальное устройство датчика шероховатости. Действие этого датчика основано на измерении светорассеяния.
Пучок света, испускаемый ИК-светодиодом (λ0 = 810 нм), фокусируется объективом на детали. Световое пятно на поверхности детали обычно имеет размер около 1,8 мм, а в специальных случаях — 0,2...4 мм. В зависимости от качества поверхности обследуемого объекта в зоне светового пятна происходит рассеяние света, который с помощью светоделительной пластинки направляется на датчик изображения. Дисперсия распределения рассеянного света дает характеристику оптической шероховатости поверхности 5лг: SN = g∑(i – iср)2pi, где i – номер фотодиода, pi — интенсивность, регистрируемая i-м фотодиодом, iср — номер фотодиода, усредненного по интенсивности, g — нормирующий множитель.
Рис.
10.28. Принцип действия датчика шероховатости.
а)
б)
в)
Рис. 10.29. Внешний вид поверхности деталей, обработанных различным образом (а), соответствующие картины рассеяния света на датчике изображения (б) и кривые распределения рассеянного света (в).
На рис. 10.29 изображены поверхности различного качества, характерные для деталей, изготовленных точением, шлифованием и прокаткой. При точении и шлифовании получается равномерный бороздчатый профиль, тогда как прокатанная поверхность имеет нерегулярный рельеф. Это различие отчетливо проявляется в характере светорассеяния, так как в противоположность точеной и шлифованной поверхности прокатанная поверхность имеет центросимметричное распределение интенсивности рассеянного света.
Оптические характеристики шероховатости SN точеной и шлифованной поверхностей, определенные по кривым распределения светорассеяния (рис. 10.29) отличаются незначительно (72 и 78 соответственно), тогда как для прокатанной поверхности SN = 48.
Датчики ик-излучения
Рис.10.30. Характеристики спектральной чувствительности различных датчиков ИК-излучения.
Для ИК-диапазона от 0,8 до 12 мкм существует множество датчиков излучения (рис. 10.30) на основе селенида свинца (PbSe), сульфида свинца (PbS), арсенида индия (InAs), антимонида индия (InSb) и германия, а также пироэлектрические детекторы.
Важной областью применения таких детекторов является обнаружение людей (например, при защите от взлома помещений и зданий). При рассмотрении спектрального состава ИК-излучения, испускаемого человеком при температуре тела около 36,4°С (рис. 10.31) можно отметить отчетливый максимум в области длин волн около 10 мкм. Для этого спектрального диапазона могут быть приняты во внимание только широкополосные ИК-датчики типа пироэлектрических детекторов.
Рис. 10.31. Распределение интенсивности (I) ИК-излучения, испускаемого лампой накаливания и человеческим телом.
Пироэлектрический эффект возникает в результате смещения зарядов в некоторых кристаллах при их нагреве (рис. 10.32), однако, в данном случае не возникает постоянного напряжения.
Рис. 10.32. Пироэлектрический эффект (перераспределение зарядов в нагретом кристалле).
При резком воздействии ИК-излучения на пироэлектрический детектор, вызывающем его нагрев, напряжение или ток (в зависимости от вида схемы) изменяются лишь кратковременно, а затем спадают до нуля даже и при сохраняющемся действии облучения (см. рис. 10.33).
Эквивалентную схему пироэлектрического детектора можно представить в виде параллельного (при измерении тока) или последовательного (при измерении напряжения) соединения конденсатора и генератора (источника тока или напряжения), как показано на рис. 10.34.
Чувствительность, как по току, так и по напряжению зависит от частоты падающего излучения (рис. 10.35). Ниже 10 Гц предпочтительно усиление по напряжению, тогда как в случае высокочастотных широкополосных сигналов более целесообразно усиление по току.
При обнаружении людей (при их передвижении) сигнал находится в области нескольких герц, так что в этом случае применимо усиление по напряжению.
Рис. 10.33. Возбуждение и ответный сигнал пироэлектрического детектора
Рис. 10.34. Эквивалентная схема пироэлектрического детектора.
Рис 10.35 Частотная характеристика пироэлектрического детектора с различными схемами усиления: FET — усилитель на полевом транзисторе.
Рис. 10.36. Устройство пироэлектрического датчика в металлическом корпусе со встроенным предусилителем сигнала. Справа в кружке дано увеличенное изображение подключения электродов.
На рис. 10.36 полностью показано устройство датчика с интегральным предусилителем на основе полевого транзистора и с нагрузочным сопротивлением в миниатюрном исполнении.
Кроме использования в пассивных оградительных системах, такого рода датчики находят применение в схемах контроля за работой горелок, в пожарных извещателях, системах контроля окружающей среды, газоанализаторах, установках для измерения получения и в реле близости.