
- •Датчики и микро-эвм
- •Технология изготовления датчиков
- •Основные виды технологии изготовления объемных и пленочных датчиков, совместимых с микроэлектроникой
- •Современные кремниевые технологии
- •Тонкопленочные элементы интегральных схем
- •Толстопленочная технология интегральных схем
- •Датчики в промышленной технике измерений и робототехнике
- •Датчики в автомобиле и в бытовых приборах
- •Электропечь
- •Посудомоечная машина
- •Стиральный автомат
- •Электропечь
- •Стиральный автомат
- •Холодильные и морозильные камеры
- •Датчики температуры из платины и никеля
- •Термопары
- •Кремниевые датчики температуры
- •Интегральные датчики температуры
- •Температурный контроллер
- •Терморезисторы с отрицательным ткс
- •Терморезисторы с положительным ткс
- •Датчик уровня на основе терморезистора с положительным ткс
- •Измерение разности температур и калибровка датчиков
- •Датчики на основе тензометров
- •Кремниевые датчикидавления
- •Электронный барометр
- •Зависимость давления воздуха от высоты
- •Высотомер
- •Датчики расхода и скорости
- •Терморезисторный анемометр
- •Датчик расхода
- •Датчик направления
- •Термокондуктометрические ячейки
- •Теплопроводность некоторых газов при 0°с и 100°с
- •Топливная и термохимическая (каталитическая) ячейки
- •Анализатор выхлопных газов
- •Полупроводниковые датчики
- •Датчики природного газа и алкоголя
- •Конденсационный гигрометр на основе хлорида лития
- •Емкостные датчики влажности
- •Измерительные схемы и калибровка датчиков влажности
- •Датчики магнитного поля
- •Магниторезистивные датчики
- •Датчики Холла
- •Датчики Виганда
- •Оптические датчики
- •Фотодиоды
- •Фоторезисторы
- •Тепловые приемники излучения
- •Оптические датчики положения
- •Датчики изображения на основе приборов с зарядовой связью
- •Оптические датчики шероховатости
- •Датчики ик-излучения
- •Волоконно-оптические датчики
Интегральные датчики температуры
Рис. 7.11. Схема внутренних соединений кремниевого датчика
Представителем предварительно калиброванных интегральных датчиков температуры является кремниевый датчик. На рис. 7.11 показана схема внутренних соединений датчика, изготовленного на основе биполярной техники. В данном случае в качестве измеряемой величины используется напряжение Uве между базой и эмиттером кремниевого транзистора, которое при известной ширине запрещенной зоны описывается уравнением UBЕ = E + kT/e ln(IC/In), где Е — ширина запрещенной зоны, IС — плотность тока, k — постоянная Больцмана, е — элементарный заряд (1,602*10-19 Кл), n— коэффициент, характеризующий температурную зависимость диффузии носителей заряда.
Рис. 7.12. Схема включения и характеристика интегрального датчика температуры (STP 35):
Uout — выходное напряжение.
Измерительные схемы с датчиками этого типа выполняются чрезвычайно просто (рис. 7.12). С помощью добавочного сопротивления R1 устанавливается максимальный ток, меньший 5 мА, чтобы ограничить самонагрев датчика. Рабочее напряжение не нуждается в стабилизации и может находиться в диапазоне от 6 до 24 В. В этом случае чувствительность измеряемого на выходе напряжения составляет 10 мВ/°С. Усиленное в 100 раз выходное напряжение показывает абсолютную температуру по шкале Кельвина (0°С = 273°К и 20°С = 293°К). Датчики могут быть изготовлены разных классов точности в зависимости от некомпенсированной погрешности в измерении температуры.
Рис. 7.13. Схемы согласования датчика температуры (STP 35) с нагрузочным сопротивлением RL: Rcal — калибровочное сопротивление; Uout — выходное напряжение.
Оптимальный выбор (рис. 7.13) добавочного сопротивления RA зависит от диапазона измерения температуры ∆T = Tmах – Tmin и сопротивления нагрузки (например, внутреннего сопротивления измерительного прибора), Сопротивление нагрузки может быть рассчитано следующим образом: RA = (UCCmin – UOUTmax)/(ISmin + ILmax), где UCCmin — минимальное напряжение питания, UOUTmax — максимальное напряжение на выходе, ISmin — минимальный ток датчика, ILmax — максимальный ток нагрузки.
Например, для диапазона измерения температуры ∆T = 0...100°С, напряжения питания 8...14 В и внутреннего сопротивления используемого измерительного прибора RL = 10 кОм получаются следующие значения: UCCmin = 8 В, UOUTmax = 3,73 В, ILmin = 2,73 В/10 кОм = 0,273 мА, ILmax = 3,73 В/10 кОм = 0,373 мА.
На основании этого добавочное сопротивление составит RA = (8 В – 3,73 В)/(0,4 мА + 0,373 мА) = 5,524 кОм.
Максимальный ток датчика равен тогда ISmax = (14 В – 2,73 В)/5,524 кОм ≈ 2 мА.
Максимально возможное изменение тока датчика от 0,4 мА до 2 мА вызывает погрешность, равную лишь 0,15°С. Для более точных измерений потребуется стабилизация напряжения питания.
Температурный контроллер
Рис. 7.14. Внутренние соединения температурного контроллера на основе интегральной схемы LM 3911 фирмы National Semiconductor: а — структурная схема; б — корпус датчика (вид сверху); NС — свободные выводы; ОР — операционный усилитель.
Другим интересным примером датчиков температуры является температурный контроллер (например, типа LM 3911). Его способ действия аналогичен действию датчика типа STP 35 с напряжением на выходе, непосредственно указывающим абсолютную температуру по шкале Кельвина, деленную на 100 (т.е. на шкале прибора 3,93 В соответствуют 393°К). Датчик обладает чувствительностью 10 мВ/К. Схема внутренних соединений и расположение выводов на корпусе с двухрядным размещением контактов показаны на рис. 7.14. Такой датчик можно применять в различных вариантах, два из которых описаны ниже.
Рис. 7.15.Схема включения температурного контроллера с градуированным выходом 10 мВ/°С.
При подключении по варианту, показанному на рис. 7.15, можно, например, довольно просто использовать его как термометр с градуировкой по шкале Цельсия. Настроечным потенциометром сопротивлением 5 кОм выходное напряжение калибруется в градусах Цельсия. Чувствительность на выходе составляет также 10 мВ/°С.
Рис. 7.16. Измерение разности температур двумя датчиками
Простой дифференциальный термометр на основе двух датчиков показан в качестве второю примера на рис. 7.16. С помощью этой схемы можно определять разность температур между точками Т1 и Т2. При равенстве температур, т.е. при Т1 = Т2 настроечным потенциометром (100 кОм) выходное напряжение UА устанавливается равным нулю. Калибровка чувствительности осуществляется путем изменения отношения (R1 + R2)/R1 с помощью настроечного потенциометра R2.
Рис. 7.17. Температурно-частотный преобразователь, состоящий из терморезистора и КМОП-мультивибратора.
Прямое преобразование аналоговой измеренной характеристики (температуры) в цифровой выходной сигнал представляет особый интерес в связи с применением ЭВМ, поскольку отпадает, например, необходимость в дорогостоящих аналого-цифровых преобразователях. Кроме того, передача сигнала в цифровой форме надежнее, чем в аналоговой. На рис. 7.17 представлена простая схема температурно-частотного преобразователя. Датчик температуры R(T) в сочетании с конденсатором С1 образует RС-цепочку с зависящей от температуры постоянной времени для КМОП-мультивибратора. Переменная выходная частота f вычисляется по формуле f = 1/2,2C1R(T).
Зависимость выходной частоты f от температуры для различных датчиков иллюстрируется рис. 7.18.
|
|
|
NТС |
– термо-резистор с отрицатель-ным ТКС; | |
MFW |
– метало-пленочный резистор; | |
BВD |
– диод с внутренним униполяр-ным барьером. |
Рис. 7.18. Зависимость выходной частоты f от температуры для различных датчиков
Кремниевый датчик температуры имеет почти линейную характеристику в отличие от терморезисторов с отрицательным ТКС и диодов с внутренним униполярным барьером (BBD), включаемых встречно для компенсации температурной зависимости сопротивления.