Скачиваний:
71
Добавлен:
22.08.2013
Размер:
402.51 Кб
Скачать

Лекция 7

Пьезоэлектрический способ возбуждения и регистрации акустических волн

Наиболее распространенным способом возбуждения и регистрации упругих волн при УЗ контроле является пьезоэлектрический способ. Он основан на прямом и обратном пьезо-

эффекте.

Прямой пьезоэффект или эффект Кюри, открытый в 1880 году братьями Кюри, заключается в следующем. Если пьезоэлектрическую пластину с нанесенными на ее поверхность электродами, называемую пьезоэлементом, деформировать — сжимать или растягивать, в определенных направлениях, то она электрически поляризуется. На электродах появляются заряды, величина которых зависит от приложенного механического напряжения.

Обратный пьезоэффект заключается в деформация пьезоэлемента под действием электрического напряжения, приложенного к электродам.

Прямой пьезоэффект используется для регистрации УЗ-волн, обратный — для возбуждения.

Пьезоэлектрическими свойствами обладают многие природные анизотропные кристаллические диэлектрики — кварц, турмалин, сегнетова соль и др., примерно 1500 минералов. Для практических целей наибольшее применение получили кристаллический кварц и искусственные материалы — пьезокерамика, на основе цирконата-титаната свинца, обозначаемая аббревиатурой ЦТС, с указанием номера-марки материала. Отметим, что природный материал обладает пьезоэффектом, если его кристаллическая решетка не обладает центром симметрии.

Отличительная особенность пьезопреобразователей — высокая эффективность преобразования механической энергии в электрическую и наоборот, а также конструктивная простота.

Основы пьезоэлектричества

Используя основные принципы термодинамики, рассмотрим основные соотношения, описывающие пьезоэффект. Для этого рассмотрим изменение энергии пьезоэлектрического кристалла при малых изменения параметров, определяющих его состояние.

1. Изменение энергии обусловлено изменением тепловых, электрических и механических параметров. Для единицы объема пьезоэлектрика можно записать:

dU dσ+Tij dSij + Ek dDk ,

(1)

де ϑ — температура; σ — энтропия; Tij — тензор напряжения; Sij — тензор деформации;

E — вектор напряженности электрического поля; D — вектор электрической индукция,

D 0 E + P ;

P — вектор поляризации. По повторяющимся индексам подразумевается

суммирование.

Таким образом, можно записать U =U (σ;S; D). Независимыми парамет-

рами являются σ, S и D , причем

 

 

ϑ=(U ∂σ)S , D ;

Tij =(U Sij )σ, D ;

Ek =(U Dk )σ, S .

(2)

2. Перейдем от энергии U к термодинамическому потенциалу J J =U Ek Dk ,

тогда для дифференциала потенциала J можно записать

 

 

dJ dσ+Tij dSij + Ek dDk Ek dDk Dk dEk

dσ+Tij dSij Dk

dEk . (3)

Таким образом,

J = J (σ;S; E), и независимыми параметрами являются σ,

S и E , при-

чем

 

 

 

 

ϑ=(J ∂σ)S , E ;

Tij =(J Sij )σ, E ;

Dk = −(J Ek )σ, S .

(4)

3. Перейдем к термодинамическому потенциалу F , называемому свободной энерги-

ей,

F = J Tij Sij =U Ek Dk Tij Sij ,

 

 

тогда для дифференциала F получим

 

 

dF dσ− Dk

dEk Sij dTij .

 

(5)

Для свободной энергии

F = F (σ;T; E), и независимыми параметрами являются σ, T и

E . Из (5) следует

 

 

 

 

ϑ=(F ∂σ)T , E ;

Sij = −(F Tij )σ, E ;

Dk = −(F Ek )σ,T .

(6)

4. Введя термодинамический потенциал H , называемый энтальпией,

 

H =U Tij Sij . Нетрудно видеть, что дифференциал энтальпии равен

 

dH dσ−Sij dTij + Ek dDk .

 

(7)

Следовательно, H = H (σ;T; D), независимыми параметрами являются σ, T и D . Из (7)

следует

 

 

 

 

ϑ=(H ∂σ)T , D ;

Sij = −(H Tij )σ, D ;

Ek =(H Dk )σ,T .

(8)

Соотношения (1) – (8) описывают состояние пьезоэлектрика для разных сочетаний независимых механических и электрических параметров, см. столбцы 2 и 3 табл. 5.1.

Дифференциалы термодинамических потенциалов U , J , F и H являются полными, поэтому их вторые смешанные производные не зависят от порядка дифференцирования. Например, из (2) следует

∂ ∂D

U S

ij )}

=

∂ ∂S

ij

(U D )

=

(

T

D

=

(

E

S

ij )σ, D

= −h

. (9)

{

k (

 

σ

{

k }σ

 

ij

k )σ, S

 

k

 

k i j

 

Вообще говоря,

hk i

j является функцией Sij

и D , то есть hk i j = hk i j (Sij ; D).

Однако в сла-

бых механических и электрических полях, а именно такие используются в измерительной технике, можно считать hk i j =const . Эти коэффициенты, зависящие от тепловых парамет-

ров, например от температуры, называются пьезомодулями. Индексы пьезомодулей прини-

мают значения k,i, j =1,2,3 . Из симметрии тензора деформации Si j = S j i следует симмет-

рия hk i j = hk j i . Отсюда следует, что в общем случае число независимых пьезомодулей со-

ставляет 3×6 =18 . Однако в зависимости от степени симметрии кристалла на компоненты тензора пьезомодулей могут быть наложены дополнительные связи. Из-за этого число независимых пьезомодулей может быть существенно меньшим.

Таким образом, из (9) следует, что при постоянной электрической индукции D в ре-

зультате деформации пьезоматериала возникает электрическое поле E — прямой пьезоэф-

фект. Действительно, интегрируя при постоянных σ и D по Sij последнее равенство в (9),

получим

Ek = −hk i j Sij .

(10)

Аналогично, при постоянной деформации — зажатом пьезоэлементе, электрическое поле внутри материала создает механическое напряжение Tij — обратный пьезоэффект. Интегри-

руя при постоянных σ и Si j

предпоследнее равенство в (9) по Dk , находим

Tij = −hk i j Dk .

(11)

Если в пьезокристалле существуют дополнительная деформация и электрические поля, то в соотношения (10) и (11) необходимо добавить соответствующие слагаемые, а именно, взаимосвязь электрической индукции с напряженностью электрического поля в (10) и взаимосвязь компонентов тензора деформации с компонентами тензора напряжения — обобщен-

ный закон Гука. Поэтому полные соотношения для описания пьезоэффекта в переменных Sij

и D имеют вид

 

 

 

 

 

 

 

T =cD

 

S

l m

h

 

 

D

;

ij

i j l m

 

k i j

 

k

 

E S

D h

S

ij

,

(12)

k

k l

 

l

 

k i j

 

 

 

где ciDj l m — компоненты тензора упругих характеристик пьезоматериала, определенные при

постоянной электрической индукции D ; βkS l — компоненты тензора обратного тензору ди-

электрических постоянных пьезоматериала, определенные при постоянной деформации по-

следнего. Следовательно, Ti j =Ti j (Sl m ; D) и E = E(D;Sij ).

Еще раз подчеркнем, что линейные соотношения (12) описывают пьезоэффект в слабых механических и электрических полях, в которых пьезомодули можно считать независящие от механических и электрических полей.

Повторив аналогичные рассуждения для остальных термодинамических потенциалов, можно получить уравнения для описания пьезоэффекта и в других переменных. Они указаны

в6-ой графе табл. 5. 1.

Вуравнения пьезоэффекта входят тензоры пьезомодулей, тензоры упругости и податливости, тензоры диэлектрической проницаемости и обратные к ним, определенные при различных условиях.

Уравнения пьезоэффекта в разных переменных

 

 

 

 

 

 

 

Независимые

 

Зависимые меха-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Термодинамический

 

механические и

 

нические и

 

 

Пьезомодули

 

 

 

 

 

 

Уравнения пьезоэффекта

 

потенциал

 

 

 

 

электрические

 

электрические

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

параметры

 

параметры

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1

 

2

 

 

 

 

 

 

3

 

 

 

 

4

 

 

 

 

 

 

 

 

 

5

 

 

 

 

 

 

 

 

 

6

 

 

 

 

 

 

 

 

 

энергия

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Tij =(∂U Sij )

 

 

;

(∂2U SijDk )

 

=(∂Tij Dk )

 

 

 

=

 

Tij = ciDjl m Sl m hk i j Dk ;

 

U =U

; S; D)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

σ, D

 

 

 

σ

 

 

 

 

σ, S

 

 

1.

 

 

 

 

 

 

 

Sij ; D

 

 

 

 

Ek =(∂U Dk )σ, S .

 

 

 

 

=(∂Ek Sij )σ, D = −hk i j

E S

D h

 

S

ij

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

k

k l

 

l

 

k i j

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

J = J ; S; E)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Tij =(∂J Sij )

σ, E

;

(∂2 J Sij Ek )

σ

=(∂Tij Ek )

σ, S

=

 

T = cE

 

S

 

e

 

E

 

;

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

l m

 

k

2.

 

 

 

Sij ; E

 

 

 

 

Dk = −(∂U Ek )σ, S

 

 

 

= −(∂Dk Sij )σ, E = −ek i j

ij

i jl m

 

 

k i j

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

D = εS

E +e

 

S

ij

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

k

k l

 

l

 

k i j

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

свободная энергия

 

 

 

 

 

 

 

 

Sij = −(∂F Tij

 

)

 

;

−(∂2 F TijEk

)

 

=(∂Sij Ek

)

 

 

=

Sij = siEjl mTl m +dk i j Ek ;

 

F = F

;T; E)

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

σ, E

 

 

 

 

σ

 

 

 

 

σ,T

 

3.

 

 

 

 

 

 

 

Tij ; E

 

 

 

 

Dk = −(∂F Ek )σ,T

 

 

 

 

=(∂Dk Tij )σ, E = dk i j

D = εT

E +d

T

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

k

k l

 

l

 

 

k i j ij

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

энтальпия

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Sij = −(∂H Tij )σ, D ;

(∂2 H Tij Dk )

σ

= −(∂Sij Dk

)σ

,T

=

S

ij

= sD

 

T

+ g

 

 

D ;

4.

H = H ;T; D)

 

 

 

Tij ; D

 

 

 

 

Ek = (∂H Dk )σ,T

 

 

=(∂Ek Tij )

 

 

 

 

 

i jl m l m

 

 

k i j

k

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

= −gk i j

Ek Tk l Dl gk i jTij

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

σ, D

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Примечание:

Sl m )

 

 

; ciDjl m =(∂Ti j

Sl m )

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

ciEjl m =(∂Ti j

σ, E

σ, D

— тензоры упругости, определенные соответственно при постоянной напряженности и индукции электриче-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

siEjl m =(∂Si j Tl m )

 

; siDjl m =(

 

Tl m )

 

 

ского поля;

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

σ, E

Si j

σ, D

— тензоры податливости, определенные соответственно при постоянной напряженности и индукции элек-

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

εkSl = (∂Dk

El )σ, S ; εTk l

= (∂Dk

El )σ,T

 

 

 

 

трического поля;

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

— тензоры диэлектрической проницаемости, определенные соответственно при постоянной деформации и посто-

 

βkSl = (∂Ek

Dl )σ, S ; βTk l

= (∂Ek

Dl )σ,T

 

 

янном механическом напряжении;

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

— тензоры обратные тензорам диэлектрической проницаемости, определенные соответственно при постоянной

 

деформации и постоянном механическом напряжении.

 

Очевидно, некоторые из них не являются независимыми, например, пары тензоров

cE

и sE

 

,

а также

e

 

 

и d

k i j

. Действительно, рассмотрим первые уравнения из пар

i j l m

 

 

i j l m

 

 

 

 

 

k i j

 

 

 

уравнений, приведенных во второй и третьей строках шестой графы табл. 5.1:

 

T

 

=cE

 

S

l m

e

E

 

 

 

(13)

 

ij

 

i j l m

 

k i j k

 

 

 

и

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

S

ij

= sE

 

T

+d

k i j

E

k

.

 

(14)

 

 

 

 

i j l m l m

 

 

 

 

 

Подставив (14) в соотношение (13), получим

Tij =ciEj n p snEpl mTl m +ciEj l mdk l m Ek ek i j Ek =

=ciEj n p snEpl mTl m +(ciEj l mdk l m ek i j )Ek .

Поскольку компоненты тензора Tij и вектора E независимы, то равенство будет выполнено при условии:

ciEj n p snEpl m ilδj m ; ek i j =ciEj l mdk l m .

Из первого соотношения вытекает, что тензоры ciEj l m и siEj l m являются обратным по отно-

шению друг к другу. Второе выражение позволяет определить пьезомодуль ek i j через пье-

зомодуль dk i j . Кроме того,

dk l m =(ciEj l m )1 ek i j = siEj l mek i j .

Очевидно, что аналогичным образом можно получить соотношения, связывающие компоненты других тензоров параметров в уравнениях пьезоэффекта.

Все уравнения пьезоэффекта удобно свести в таблицу.

 

T

 

 

0

cE,D

e

p i j

h

p i j

T

 

 

 

S

ij

 

 

 

 

 

 

i j l m

 

 

 

 

 

l m

 

 

 

 

 

 

sE,D

0

d

p i j

g

p i j

S

 

 

 

 

 

 

i j

=

 

i j l m

 

 

 

 

 

l m

.

E

 

 

g

 

h

 

0

βS ,T

 

E

 

 

 

k l m

 

p

 

 

 

k

 

 

 

 

k l m

 

 

 

 

k p

 

 

 

 

 

 

D

 

 

 

d

k l m

e

εS ,T

 

0

 

Dp

 

 

 

 

k

 

 

 

k l m

 

k p

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Например, если в качестве независимых переменных выбрать деформацию S и на-

пряженность электрического поля E , то в вектор-столбце правой части соотношения полагаем Tl m =0 и Dp =0 , а в левой части считаем Si j =0 и Ek =0 , тогда получим

Tij =ciEj l mSl m ek i j Ek ;

Dk =ek i j Sij kS p Ep .

Аналогично, если независимые переменные механические напряжения T и электрическая индукция D , находим

Sij = siDj l mTl m + g pi j Dp ;

Ek = −gk l mTl m Tk p Dp ,

и т.п.

Довольно часто используется упрощенная матричная запись Фойта уравнений пьезо-

эффекта.

В ее основе лежат следующие соображения. Тензоры Ti j и Si j симметричны

Ti j =Tj i

и Si

j = S j i , (i, j =1,2,3). Независимыми являются только 6 компонент этих тен-

зоров, например,

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

S

S

S

 

 

 

S

S

6

S

5

 

 

 

 

11

12

13

 

 

 

1

 

 

 

 

S = S21

S2 2

S23

S6

S2

S4

,

 

 

 

S32

 

 

 

 

 

S4

 

 

 

 

 

S31

S33

 

S5

S3

 

то есть выполнена следующая замена индексов

(11)(1); (22)(2); (33)(3);

(23)=(32)(4); (13)=(31)(5);

(12)=(21)(6). (15)

Аналогичная замена индексов проводится для тензора Ti j , тогда, в силу симметрии тензоров

Ti j и Si j , справедливы соотношения

Ti j =ci j l mSl m =cj il mSl m =ci j ml Sml =cj i ml Sml .

Следовательно, из 81 коэффициента ci j l m не все являются независимыми. Используя прави-

ло замены индексов (15), обобщенный закон Гука можно записать в виде

Tα =cαβSβ ; (α, β=1,2,...6),

где cαβ — матрица размером 6 ×6 . Из этой формы записи тензора упругости следует, тен-

зор упругости может содержать не более 36 независимых компонентов, причем их число уменьшается с увеличением степени симметрии кристалла.

Используя обозначения Фойта, пьезомодули можно записать в виде

epi j =epβ ; hpi j = hpβ; g pi j = g pβ; dpi j = dpβ , (p =1,2,3; β=1,2,...6).

Рассмотрим колебания пьезоэлемента в форме пластины. Если длина волны много больше характерных размеров пластины — длины или толщины, в зависимости от формы колебаний, то можно считать, что Tα, Sα const во всем объеме пьезоэлемента. В этом слу-

чае уравнения пьезоэффекта часто записывают в форме:

Ek = −gk βTβ ; Ek = −hk βSβ ; Sα = dk αEk ; Tα =ek αEk .

В такой записи легко определить взаимосвязь между пьезомодулями. Например, последовательная подстановка дает

Ek = −gk βTβ = −gk βel βEl ,

отсюда находим связь между пьезомодулями e и g :

gk βel β k l .

Аналогично,

Ek = −hk βSβ = −hk βdl βEl ,

откуда следует

hk βdl β k l .

Последовательной подстановкой получаем

Ek = −gk βTβ = −gk βcβαSα = −gk βcβαdl αEl ,

следовательно, связь между пьезомодулями d , g и тензором упругости c :

gk βcβαdl α k l .

Далее

Sα = sαβTβ = sαβek βEk = dk αEk ,

таким образом,

sαβek β = dk α .

И наконец,

Tα =cαβSβ =cαβdk βEk =ek αEk ,

поэтому

cαβdk β =ek α .

Еще раз подчеркнем, что в зависимости от симметрии кристалла число отличных от нуля пьезомодулей может быть различно.

Покажем, что кристаллы с центром симметрии не могут обладать пьезоэффектом. Действительно, при преобразовании системы координат компоненты пьезомодулей изменяются по закону

ei j k liαmj αnk el m n ,

где αli — матрица преобразования системы координат. Если имеется центр симметрии, то есть при преобразовании x → −x; y → −y; z → −z , описываемыми соотношениями

αli = −δi l ,

пьезомодули остаются теми же. Поэтому

ei j k =(1)3 δilδj mδk nel m n =(1)3 ei j k = −ei j k ,

следовательно,

ei j k =0 .

Как правило, в качестве пьезоэлементов используют пьезокристаллы, вырезанные определенным образом относительно кристаллографических осей.

Например, у кристаллического кварца в силу симметрии кристалла отличны от нуля пьезомодули d11 и d14 , а также другие пьезомодули с этими же индексами. Следовательно,

пьезокварц может быть использован для возбуждения и регистрации продольных и сдвиговых колебаний.

Стержни из кварца вырезают вдоль оси X , а пластины — перпендикулярно к ней, причем электроды наносят на поверхности, перпендикулярные этой оси. Вырезанные подоб-

ным образом пьезоэлементы называют преобразователем X -среза. Кристаллы Y -среза служат для возбуждения и регистрации сдвиговых колебаний.

Пластины пьезокерамики из ЦТС изготавливают так, что ось поляризации направлена по оси Z и ориентирована перпендикулярно к граням, на которые нанесены электроды. По-

этому как и у X -кварца, у пластинах ЦТС при колебаниях по толщине ориентация механических напряжений и электрических полей совпадает. У пьезокерамики из ЦТС отличен от нуля пьезомодули с индексами «33», например d33 и т.п.

Рассмотрим две пластины пьезокварца плотно прижатые друг к другу с зафиксиро-

ванными поверхностями. Если h — толщина пластин, то

U1 = E1h ; T1 =e11E1 =e11 U1 h ;

E2 = −g11T1 = −g11e11U1 h ;

U2 = E2h .

Отношение

U2 U1 = −g11e11 = −d11h11 = K 2

называется коэффициентом электромеханической связи, который характеризует эффективность преобразования электрической энергии в механическую.

Можно показать, что

K 2 =U2 U1 WМ WЭ ,

где WМ , WЭ — механическая и электрическая энергия кварцевой пластины.

Соседние файлы в папке 4_Konspekt